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公开(公告)号：JP2019140018A
公开(公告)日：2019-08-22
申请号：JP2018023741
申请日：2018-02-14
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/20
Abstract: 【課題】XYステージを高速に移動させる場合であっても像揺れを低減できる荷電粒子線装置を提供する。 【解決手段】試料が配置されるXYステージと、前記試料へ荷電粒子線を照射する荷電粒子線源と、前記荷電粒子線の照射によって前記試料から放出される荷電粒子を検出する検出器と、前記検出器から出力される検出信号に基づいて前記試料のSEM画像を生成する画像生成部と、を備える荷電粒子線装置であって、前記XYステージの移動開始点と移動終了点に基づいて制御パラメータを設定し、前記XYステージを移動させる駆動部を前記制御パラメータにより制御する制御部をさらに備えることを特徴とする。 【選択図】図5
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公开(公告)号：JP5881377B2
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：JP2011245064
申请日：2011-11-09
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
CPC classification number: H01J37/20 , H01L21/68 , H01J2237/0216 , H01J2237/20221 , H01J2237/20264 , H01J2237/20285
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公开(公告)号：JP2015162396A
公开(公告)日：2015-09-07
申请号：JP2014037689
申请日：2014-02-28
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
CPC classification number: H01J37/20 , G01B9/02021 , G01B9/02027 , G01N23/2204 , G01B15/00 , H01J2237/20292 , H01J2237/2817
Abstract: 【課題】 本発明は、試料室の小型化とレーザ干渉計による高精度な位置検出の両立を目的とする荷電粒子線装置およびステージ装置の提供を目的とする。 【解決手段】 上記目的を達成するため、本発明では試料を搭載するための試料ステージと、当該試料ステージの位置を検出する第1の位置検出装置を備えたステージ装置であって、前記第1の位置検出装置が検出可能なステージ移動範囲の一部に、前記試料ステージが位置するときに、前記試料ステージの位置を検出する第2の位置検出装置と、当該第2の位置検出装置によって得られる位置検出結果に基づいて、前記第1の位置検出装置のオフセット量を調整する制御装置を備えたステージ装置、およびそれを用いた荷電粒子線装置を提案する。 【選択図】 図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种满足样品室的压实和高精度位置检测的带电粒子束装置和载物台装置。解决方案：包括用于安装样品的样品台的载物台装置和用于检测样品的第一位置检测器 样品台的位置还设置有第二位置检测器，用于当其位于可由第一位置检测器检测的载物台移动范围的一部分中时，用于检测样品台的位置;以及控制器，用于调节 基于由第二位置检测器获得的位置检测结果，第一位置检测器的偏移量。 还提出了使用平台装置的带电粒子束装置。
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公开(公告)号：JP2019145305A
公开(公告)日：2019-08-29
申请号：JP2018027793
申请日：2018-02-20
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/20
Abstract: 【課題】XY方向及びZ方向に移動可能であって軽量かつ高剛性なステージ装置、及びそれを備える荷電粒子線装置を提供する。 【解決手段】試料を搭載するチャックと、XY方向に移動するXYステージと、Z方向に移動するZステージと、を備えるステージ装置であって、前記Zステージは、前記XYステージに固定され、XY面に対して傾いた傾斜面を有する傾斜部と、前記傾斜面の上を移動する移動部と、前記移動部に固定され、前記XY面と平行な面が設けられるテーブルと、を有することを特徴とする。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2018041528A
公开(公告)日：2018-03-15
申请号：JP2014249500
申请日：2014-12-10
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01L21/027 , H01L21/68 , H01J37/20
Abstract: 【課題】 本発明は、リニアモータの発熱の変動により生じるステージの温度分布の変化を抑制することで、位置制御の精度を向上させたステージ装置およびそれを用いた荷電粒子線装置の提供を目的とする。 【解決手段】 上記目的を達成するため、リニアモータのコイルとテーブルを接続する箇所の間にヒータを設置し、コイルの発熱量の低下をヒータで補うことで、温度変化を抑制するとともに、ヒータが発熱する時とコイルが発熱する時のいずれであってもステージに形成される温度分布を同じにし、温度分布で決まるステージの熱変形状態を変化させないことで、ステージの位置計測の精度を向上させる。 【選択図】 図4
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公开(公告)号：JP2019067546A
公开(公告)日：2019-04-25
申请号：JP2017189401
申请日：2017-09-29
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
Abstract: 【課題】駆動源から伝達する熱の影響を効果的に低減するステージ装置を提供する。 【解決手段】真空チャンバー内に配置されるステージ装置であって、試料と共に移動するテーブル2と、テーブル2を特定方向に案内するガイドレール7と、テーブル2に接続され、ガイドレール7上をテーブル2と共に移動するスライドユニット9aと、テーブル2とスライドユニット9aの間に配置されるペルチェモジュール10aを備え、ペルチェモジュール10aは2面の伝熱面を持ち、一方の伝熱面はテーブル2に接触し、他方の伝熱面はスライドユニット9aに接触するように構成する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2017098273A
公开(公告)日：2017-06-01
申请号：JP2014033536
申请日：2014-02-25
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/20 , H01L21/027 , H01L21/68
CPC classification number: H01J37/20 , H01L21/67253 , H01L21/68 , H01L21/68785 , H02K41/02 , H01J2237/2002 , H01J2237/20221 , H01J2237/20271 , H01J2237/20278 , H01J2237/2801 , H01J2237/2817 , H02K16/00 , H02K9/22
Abstract: 【課題】 本発明は、リニアモータの発熱による温度上昇で生じるステージの熱変形を効果的に抑制するステージ装置およびそれを用いた荷電粒子線装置の提供を目的とする。 【解決手段】 上記目的を達成するために、テーブル(2)とテーブルを所定の方向に駆動するリニアモータ(5、6)を備えたステージ装置であって、テーブルと前記リニアモータの可動子を部品(8、10)によって接続し、部品10にはスライドユニット(16)を取り付けてベースに固定されたレールで移動を拘束し、同時に、そのスライドユニットは部品(8)がテーブルと接合している箇所の垂直下部に配置することで、テーブルの熱変形を抑制する。 【選択図】 図1
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