公开(公告)号：JP2019067546A

公开(公告)日：2019-04-25

申请号：JP2017189401

申请日：2017-09-29

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 西岡 明 ,  中川 周一 ,  松島 勝 ,  水落 真樹 ,  小川 博紀 ,  渡部 成夫 ,  高橋 宗大 ,  加藤 孝宜

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/20

Abstract: 【課題】駆動源から伝達する熱の影響を効果的に低減するステージ装置を提供する。 【解決手段】真空チャンバー内に配置されるステージ装置であって、試料と共に移動するテーブル2と、テーブル2を特定方向に案内するガイドレール7と、テーブル2に接続され、ガイドレール7上をテーブル2と共に移動するスライドユニット9aと、テーブル2とスライドユニット9aの間に配置されるペルチェモジュール10aを備え、ペルチェモジュール10aは2面の伝熱面を持ち、一方の伝熱面はテーブル2に接触し、他方の伝熱面はスライドユニット9aに接触するように構成する。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2015191751A

公开(公告)日：2015-11-02

申请号：JP2014067398

申请日：2014-03-28

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 高橋 宗大 ,  水落 真樹 ,  中川 周一 ,  前田 周作 ,  松島 勝 ,  柴田 信雄 ,  小川 博紀

IPC: F16D65/18 ,  F16D55/00 ,  F16D65/095 ,  F16D63/00 ,  F16D121/28 ,  H01J37/20

Abstract: 【課題】 本発明は、試料を搭載するトップテーブルの微小振動を抑え、例えば荷電粒子装置であれば、観察像の像質あるいは寸法測定値の精度を向上することができるアクティブブレーキ、試料ステージ、及び荷電粒子装置の提供を目的とする。 【解決手段】 上記目的を達成するために本発明では、ブレーキパッド(1104)と、当該ブレーキパッドをブレーキレールに押圧する押圧部材(1105)および弾性ヒンジ(1103)を有する変位拡大機構(1110)を備えたアクティブブレーキであって、ブレーキパッドを支持する可撓性の板バネ(1102)を備え、ブレーキパッドの被押圧部(1114)、及び押圧部材の当該被押圧部との接触部の少なくとも一方に、前記ブレーキパッドの傾斜を許容する曲面、或いは斜面が設けたアクティブブレーキを提案する。 【選択図】 図11

Abstract translation: 要解决的问题：为了提供能够抑制用于安装样品的顶台的微小振动的主动制动器，并且在带电粒子束装置的情况下提高观察图像的图像质量或尺寸测量值的精度， 例如提供样品台和带电粒子束装置。解决方案：包括制动衬块（1104）和位移膨胀机构（1110）的主动制动器，其具有用于按压制动衬块的推动构件（1105） 制动轨和弹性铰链（1103）还包括柔性板簧（1102），并且在至少一个压制部分（1114）中设置有用于允许制动衬块倾斜的弯曲表面或斜面 所述制动片和所述按压部件与所述被按压部的接触部。