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公开(公告)号：JP5881377B2
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：JP2011245064
申请日：2011-11-09
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
CPC classification number: H01J37/20 , H01L21/68 , H01J2237/0216 , H01J2237/20221 , H01J2237/20264 , H01J2237/20285
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：JP2016219178A
公开(公告)日：2016-12-22
申请号：JP2015100942
申请日：2015-05-18
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20
Abstract: 【課題】水平移動機構上に配置される試料昇降装置として、試料の大口径化にも容易に対応可能な、軽量かつ高剛性で、剛性の方向依存性の少ない試料昇降装置を実現する。 【解決手段】試料昇降装置は、試料が固定される試料台を昇降させる第1及び第2の昇降機構と、第1及び第2の昇降機構を個別に昇降駆動させる第1及び第2の駆動装置と、第1及び第2の駆動装置による第1及び第2の昇降機構の昇降動作を第1及び第2の制御信号により同期させる制御部とを有し、第1の昇降機構は、第1の駆動装置から与えられる第1の駆動入力を、当該入力方向とは異なる方向に減速した第1の駆動出力を発生させる第1の減速機構を有し、第2の昇降機構は、第2の駆動装置から与えられる第2の駆動入力を、当該入力方向とは異なる方向に減速した第2の駆動出力を発生させる第2の減速機構を有し、第1及び第2の駆動入力の向きは互いに異なり、かつ同一直線上ではない。 【選択図】図2
Abstract translation: 设置在水平移动机构A作为样品提升装置，这样也容易适应于大口径的样品，重量轻，刚性高的，为实现样品提升装置较少的方向依赖的刚度。 样品提升装置包括第一和第二升降机构用于升高和降低该样品被固定在样品台，第一和第二驱动，其中第一和第二升降机构单独地提升驱动器是 它包括一个装置，以及用于与根据第一和第二驱动第一和第二控制信号的第一和第二升降机构的竖直运动同步的控制单元，所述第一升降机构包括：第一 从第一驱动单元提供的第一驱动器输入具有产生在从该输入的方向不同的方向减速的第一驱动输出的第一减速机构，该第二升降机构具有第二 生成在从所述输入方向上，第一和第二驱动输入方向不同的方向减速的第二驱动输出从驱动器所提供的一个第二减速机构，所述第二驱动器输入的取向 不像对方，而不是在同一条直线上。 .The
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公开(公告)号：JP2016058341A
公开(公告)日：2016-04-21
申请号：JP2014186022
申请日：2014-09-12
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: H01J37/20
Abstract: 【課題】本発明の目的は、トップテーブルの荷重が弾性部材にかからず、高剛性、高精度、高再現精度な垂直移動ステージを提供することにある。 【解決手段】荷電粒子線装置用垂直移動ステージは、ベーステーブルと、試料を保持するトップテーブルと、前記トップテーブルの下面に固定されるローラ支持部及び前記ローラ支持部に支持されるローラと、前記トップテーブルの下面又は前記ローラ支持部に固定され、前記トップテーブルの荷重を受ける上側荷重受け部と、前記ベーステーブルと前記トップテーブルとの間に配置され、前記ベーステーブルと前記トップテーブルとの水平方向の相対位置を移動させる移動部と、前記ベーステーブルと前記トップテーブルとの垂直方向の相対位置を変化させる少なくとも2つの傾斜面を有し、前記ローラが前記傾斜面を回転するカム部と、前記移動部又は前記ベーステーブルの上面に固定され、前記トップテーブルの荷重を受ける下側荷重受け部と、を備える。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：尽管顶台的承载部分由弹性构件组成，但是尽管顶板的承载部分包括弹性构件，但是提供了具有高刚性，高精度和高再现精度的可垂直移动的台阶。解决方案：用于带电粒子束装置的可垂直移动台包括 ：一张桌子; 一张装有标本的桌子; 固定在顶台的底面上的辊支撑部; 由辊支撑部支撑的辊; 上承载部，其固定在所述顶台或所述滚子支承部的底面，并承受所述顶台的载荷; 移动部，其设置在所述基台和所述顶台之间，并且使所述基台和所述顶台在水平方向上的相对位置移动; 凸轮部，其包括至少两个倾斜平面，用于改变所述基台和所述顶台在垂直方向上的相对位置，并且所述辊沿着所述倾斜平面滚动; 以及下部承载部，其固定在基台的移动部或顶面，并承受顶台的载荷。图1
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公开(公告)号：JP2015191751A
公开(公告)日：2015-11-02
申请号：JP2014067398
申请日：2014-03-28
Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC: F16D65/18 , F16D55/00 , F16D65/095 , F16D63/00 , F16D121/28 , H01J37/20
Abstract: 【課題】 本発明は、試料を搭載するトップテーブルの微小振動を抑え、例えば荷電粒子装置であれば、観察像の像質あるいは寸法測定値の精度を向上することができるアクティブブレーキ、試料ステージ、及び荷電粒子装置の提供を目的とする。 【解決手段】 上記目的を達成するために本発明では、ブレーキパッド(1104)と、当該ブレーキパッドをブレーキレールに押圧する押圧部材(1105)および弾性ヒンジ(1103)を有する変位拡大機構(1110)を備えたアクティブブレーキであって、ブレーキパッドを支持する可撓性の板バネ(1102)を備え、ブレーキパッドの被押圧部(1114)、及び押圧部材の当該被押圧部との接触部の少なくとも一方に、前記ブレーキパッドの傾斜を許容する曲面、或いは斜面が設けたアクティブブレーキを提案する。 【選択図】 図11
Abstract translation: 要解决的问题：为了提供能够抑制用于安装样品的顶台的微小振动的主动制动器，并且在带电粒子束装置的情况下提高观察图像的图像质量或尺寸测量值的精度， 例如提供样品台和带电粒子束装置。解决方案：包括制动衬块（1104）和位移膨胀机构（1110）的主动制动器，其具有用于按压制动衬块的推动构件（1105） 制动轨和弹性铰链（1103）还包括柔性板簧（1102），并且在至少一个压制部分（1114）中设置有用于允许制动衬块倾斜的弯曲表面或斜面 所述制动片和所述按压部件与所述被按压部的接触部。
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