公开(公告)号：JP6549313B2

公开(公告)日：2019-07-24

申请号：JP2018511813

申请日：2016-04-13

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 池内 昭朗 ,  羽根田 茂 ,  星野 吉延

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01J37/20

公开(公告)号：JP2018206662A

公开(公告)日：2018-12-27

申请号：JP2017112415

申请日：2017-06-07

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 榎本 裕久 ,  鈴木 渡 ,  小柳 宗和 ,  羽根田 茂 ,  菊池 秀樹

IPC: H01J37/16 ,  H01J37/20

Abstract: 【課題】環境音などの外乱が装置に作用して試料ステージを振動させたときに、この試料ステージの振動を低減させる支持部材の剛性を維持したまま減衰を付与する技術を提供する。 【解決手段】本開示による荷電粒子線装置は、試料を移動可能な試料ステージと、当該試料ステージの振動を減衰する減衰部と、試料ステージと減衰部とを収容する試料室と、を備える。当該荷電粒子線装置では、試料ステージと減衰部とは水平に配置されている。また、試料ステージは、減衰部と筐体の第1側面との間に挟まれて支持される構成をなし、減衰部の筐体の内部には、複数の摩擦体が充填されている。 【選択図】図2

公开(公告)号：JPWO2017179145A1

公开(公告)日：2019-02-14

申请号：JP2016061871

申请日：2016-04-13

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 池内 昭朗 ,  羽根田 茂 ,  星野 吉延

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01J37/20

Abstract: 観察視野を容易に探索可能な試料ホルダを提供するために、位置合わせ用パターンを有する試料支持部材115を搭載することにより位置合わせされるザグリ部が形成された第1上面と第1上面を水平に回転させるための回転軸とを備えた試料搭載部137と、試料搭載部が上下動可能な開口部と開口部の周辺の第2上面とを備えた試料台部141と、導電性を有し試料台部の第2上面の方向へ押し下げることにより試料搭載部に搭載された試料支持部材の上面と試料台部の第2上面とが同じ高さとなる試料カバー部140と、を有する試料ホルダとする。

公开(公告)号：JP5788719B2

公开(公告)日：2015-10-07

申请号：JP2011128897

申请日：2011-06-09

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 桃井 康行 ,  高橋 要 ,  羽根田 茂

IPC: H01J37/22 ,  H01L21/68 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/20242 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/20292 ,  H01J2237/28

公开(公告)号：JP5840404B2

公开(公告)日：2016-01-06

申请号：JP2011153631

申请日：2011-07-12

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 柴原 匡 ,  羽根田 茂 ,  坂本 直樹 ,  田ノ口 亮斗 ,  桃井 康行

IPC: H01J37/20 ,  H01L21/027 ,  G05D3/12

公开(公告)号：JP5747129B2

公开(公告)日：2015-07-08

申请号：JP2014522459

申请日：2013-04-12

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 桃井 康行 ,  羽根田 茂 ,  坂本 直樹 ,  柴原 匡 ,  田ノ口 亮斗

IPC: H01J37/20 ,  G05D3/12

CPC classification number: H01J37/20 ,  G02B21/06 ,  G02B21/26 ,  G05B19/402 ,  G05D3/12 ,  H01J37/28 ,  H01J37/292 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/20264