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    荷電粒子線装置
    1.
    发明专利
    荷電粒子線装置 有权
    充电颗粒光束装置

    公开(公告)号：JP2015088417A

    公开(公告)日：2015-05-07

    申请号：JP2013228343

    申请日：2013-11-01

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 牧 信行 ,  桃井 康行 ,  鈴木 浩之

    IPC: H01J37/28 ,  H01J37/20

    CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/0216 ,  H01J2237/16

    Abstract: 【課題】設置環境の温度変化により荷電粒子線装置で生じる試料ドリフトを高精度に計測し、設置環境の温度変化によるドリフトを低減する。 【解決手段】荷電粒子線装置で、試料の観察・分析を行う場合には、試料ステージ150に搭載されて試料室111に配置された試料110を、長時間、試料室111に保持する必要がある。しかし、装置の環境温度が変化すると、試料ステージ150を支持するステージケース161の熱変形により試料ドリフトが発生し、試料上の同じ位置を維持できなくなる。そこで、ステージケース161の変形量を計測する変形量計測手段211と、ステージケース161の外面を加熱及び/又は冷却する加熱・冷却手段213と、この計測された変形量に基づいて、試料ステージ150に搭載された試料110に対する荷電粒子線の照射位置が環境雰囲気の温度変化によって移動しないように、加熱・冷却手段213を作動制御するドリフト補正回路212とを用いて、環境温度変化に起因する試料ドリフトの低減を実現する。 【選択図】図1

    Abstract translation: 要解决的问题：通过高精度地测量带电粒子束装置中产生的样本漂移，通过安装环境中的温度变化，减少安装环境温度变化引起的漂移。解决方案：当观察/分析样品时 带电粒子束装置中，需要在试样室111中长时间放置放置在试样台150上的情况下保持配置在试样室111内的试样110。 然而，如果设备的环境温度改变，则支撑样品台150的台架161的热变形引起样品偏移，并且不能再保持样品上的相同位置。 然后通过使用用于测量台壳161的变形量的变形量测量装置211，用于加热和/或冷却台壳161的外表面的加热/冷却装置213，减小由环境温度变化引起的样品漂移，以及 漂移校正电路212，用于对加热/冷却装置213进行操作控制，以便在被测量的变形的基础上不会使照射放置在样品台150上的样本110的位置移动，所述带电粒子束在环境气氛中随温度变化而变化 量。

    荷電粒子線装置、および試料ホルダの温度制御方法
    3.
    发明专利
    荷電粒子線装置、および試料ホルダの温度制御方法 审中-公开
    带电粒子束的装置，以及样品架的温度控制方法

    公开(公告)号：JP2017016810A

    公开(公告)日：2017-01-19

    申请号：JP2015130563

    申请日：2015-06-30

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 松家 大介 ,  牧 信行 ,  鈴木 浩之

    IPC: H01J37/20

    Abstract: 【課題】 本発明の目的は、広い可動範囲を持ち、取得画像に乱れを生じさせず、真空の試料室内において試料を冷却できるステージを提供することに関する。 【解決手段】 本発明は、試料ホルダを固定する試料台と、当該試料台を移動させるテーブルを有するステージを備えた荷電粒子線装置であって、ステージが、冷媒により冷却された冷却部を有し、試料台およびテーブルの少なくとも一部を当該冷却部と接触させることにより試料ホルダを冷却するものに関する。 本発明によれば、冷媒輸送管などによりステージの可動範囲が制約されることがなく、冷却部の振動がステージに伝搬することを防ぐことができ、試料室内を真空に維持しつつステージ上の試料を冷却できる。 【選択図】 図1

    Abstract translation: 本发明的目的具有宽范围的移动，而不获取的图像中引起湍流，提供台上的样品可以在真空的样品室进行冷却。 本发明涉及一种有机和样品基用于固定样品架，设置有具有用于移动样本台，台，冷却单元，其由制冷剂冷却的表的级的带电粒子束装置 和，至少上述试样台的一部分，并且该表涉及通过与冷却单元接触冷却样品保持器。 根据本发明，而不会因制冷剂输送管的可移动范围的阶段受到限制，可以从被传播到阶段能够防止所述冷却部的振动，在舞台上，同时保持样品室至真空 可将样品冷却。 点域1

    荷電粒子線装置および試料ステージの制御方法
    6.
    发明专利
    荷電粒子線装置および試料ステージの制御方法 审中-公开
    充电颗粒光束装置和样品阶段的控制方法

    公开(公告)号：JP2016192273A

    公开(公告)日：2016-11-10

    申请号：JP2015070622

    申请日：2015-03-31

    Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

    Inventor： 牧 信行 ,  鈴木 浩之

    IPC: H01J37/28 ,  H01J37/20

    Abstract: 【課題】 本発明の目的は、走査電子顕微鏡などの荷電粒子線装置における環境騒音、装置自身の振動による試料振動の低減、および試料ドリフトの低減に関する。 【解決手段】 本発明は、例えば、試料ホルダを制振材により支持する回転テーブルが停止しているときは、試料ホルダを回転ステージから開放し、また、回転ステージが回転するときは、試料ホルダを回転テーブルに固定するブレーキ機構に関する。また、例えば、回転テーブルが試料ステージに固定されているときは、試料ホルダを回転テーブルから開放し、また、回転テーブルが試料ステージから開放されているときは、試料ホルダを回転テーブルに固定するブレーキ機構に関する。 【選択図】 図6

    Abstract translation: 要解决的问题：为了减少诸如扫描电子显微镜的带电粒子束装置中的环境噪声，由装置本身的振动引起的样品振动和样品漂移。解决方案：本发明涉及一种用于释放样品的制动机构 当旋转台旋转时，其上由阻尼材料支撑样品架的转台停止并将样品保持器固定到转台上的旋转台架上。 本发明还涉及一种制动机构，当将转盘固定在样品台上时，可将转盘上的样品保持器从转盘中释放出来，并将样品架固定在旋转台上，同时转盘从样品台释放。选择的图示：图6

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