Patent search ap:("株式会社日立ハイテクノロジーズ") AND inv:"首藤亨" Page 1

1.

发明专利
ステージ装置および荷電粒子線装置有权

公开(公告)号：JP6101603B2

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：JP2013177475

申请日：2013-08-29

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 小川博紀 , 水落真樹 , 中川周一 , 柴田信雄 , 橘内浩之 , 高橋宗大 , 首藤亨 , 桃井康行 , 井上智博

IPC: H01J37/28 , H01J37/24 , H01J37/244 , H01J37/147 , G01B11/00 , H01J37/20

2.

发明专利
Zステージ装置及び荷電粒子線装置有权
Title translation: Z载物台装置和带电粒子射线装置

公开(公告)号：JP5694885B2

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：JP2011187216

申请日：2011-08-30

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 小川博紀 , 小山昌宏 , 水落真樹 , 首藤亨

IPC: H01L21/027 , G03F7/20 , H01J37/20

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