Saved successfully
Save failed
Saved Successfully
Save Failed
公开(公告)号:JP6097832B2
公开(公告)日:2017-03-15
申请号:JP2015528014
申请日:2013-07-22
Applicant: 株式会社日立製作所
Inventor: 本棒 享子 , 大橋 健也 , 伊藤 将宏 , 池田 光晴 , 福間 剛士 , 小林 成貴 , 尾形 奨一郎
IPC: G01Q60/30 , G01N33/20 , G01Q30/14 , G01N17/00
CPC classification number: G01N17/006 , G01N17/02 , G01Q30/14 , G01Q60/30