公开(公告)号：JP2015150635A

公开(公告)日：2015-08-24

申请号：JP2014025523

申请日：2014-02-13

Applicant: 株式会社東芝

Inventor： 川口 徹

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/24 ,  B24B37/26

CPC classification number: B24B37/26 ,  B24B37/22 ,  B24B37/24

Abstract: 【課題】研磨面に形成された凹部に異物が残りにくい研磨布および研磨布の製造方法を提供する。 【解決手段】本実施形態の研磨布は、研磨対象物と接する研磨面に凹部を有する研磨布であって、前記凹部の少なくとも底面に、撥水性および撥油性の材料がコーティングされている。本実施形態の研磨布の製造方法は、研磨対象物と接する研磨面に凹部を有する研磨布を製造する方法であって、前記凹部を含む前記研磨面の全体に撥水性および撥油性の材料をコーティングし、その後、前記研磨面のうち前記凹部以外の領域のコーティングを除去することにより、前記凹部の少なくとも底面に撥水性および撥油性の材料がコーティングされている研磨布を製造する。 【選択図】図2

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种抛光布，其中异物难以留在设置在抛光表面中的凹槽中，以及制造抛光布的方法。本发明的抛光布具有 在与抛光对象物接触的研磨面上的凹部，在该凹部的至少一个底面上涂布防水防油材料。 本实施方式的研磨布的制造方法与在研磨对象物的研磨面上具有凹部的研磨布的制造方法有关。 根据该方法，在具有凹部的整个研磨面上涂布防水防油材料，之后除去除了凹部以外的研磨面的区域上的涂层，由此研磨布 ，其中至少在凹部的底面上涂布防水和防油材料。