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公开(公告)号：JP6317547B2
公开(公告)日：2018-04-25
申请号：JP2013053240
申请日：2013-03-15
Applicant: 株式会社SCREENホールディングス
IPC: H01L21/304
CPC classification number: B05D1/005 , B05C9/12 , B05D3/02 , B05D3/0254 , B05D3/0493 , B05D5/08 , H01L21/67051 , H01L21/67057 , H01L21/6708 , H01L21/67086 , H01L21/6715
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公开(公告)号：JP6305926B2
公开(公告)日：2018-04-04
申请号：JP2014541120
申请日：2012-11-02
Applicant: コーニング インコーポレイテッド
Inventor： クリントン,ジョエル エドワード , フェケティー,カーティス ロバート , グゥ,ユンフォン
CPC classification number: C23C18/1262 , B05C7/04 , B05D3/0493 , B05D7/22 , C23C18/02 , C23C18/125
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公开(公告)号：JP2017524753A
公开(公告)日：2017-08-31
申请号：JP2016570258
申请日：2015-06-04
Applicant: ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
Inventor： イン，ウェイジュン , イェーガー，ゲイリー・ウィリアム , フラナガン，ケビン・ワーナー , サイモン，デイビッド・アンドリュー , ボーデン，ユージーン・ポーリング , ミスナー，キャスリン・アマンダ
IPC: C09J179/00 , C08G73/06 , C08L79/00 , C08L79/08 , C09J179/08 , C09J201/00 , H01B3/30
CPC classification number: C09J165/00 , B05D3/0254 , B05D3/0493 , C08G61/12 , C08G61/128 , C08G73/0655 , C08G2261/12 , C08G2261/312 , C08L79/04 , C09K5/14 , C08L79/08
Abstract: 電気機械の巻線又はコア積層体を接着するための硬化性組成物を提供する。硬化性組成物は、(A)約10重量%〜約25重量%の多官能性シアン酸エステルと、(B)約35重量%〜約65重量%の第1の二官能性シアン酸エステル又はそのプレポリマーと、(C)約15重量%〜約40重量%の第2の二官能性シアン酸エステル又はそのプレポリマーとを含む。電気機械の部品を封入するための硬化性組成物も提供する。また、関連方法も提供する。【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6170171B2
公开(公告)日：2017-07-26
申请号：JP2015541240
申请日：2013-11-12
Applicant: メンリッケ ヘルス ケア アーベー , MOELNLYCKE HEALTH CARE AB
Inventor： グリーナー,ブライアン
CPC classification number: A61B5/443 , A61B5/742 , A61F13/00055 , A61F13/00068 , A61F13/42 , A61L15/26 , A61L15/56 , B05D1/02 , B05D1/18 , B05D1/28 , B05D3/0254 , B05D3/0493 , C08G18/14 , C08G18/7621 , C08G18/7657 , C08G18/7664 , C08J9/365 , C08K5/0041 , C08K5/18 , C09D7/007 , C09D7/41 , G01N31/222 , A61B2560/0412 , A61F2013/422 , C08G2101/00 , C08J2201/036 , C08J2207/10 , C08J2375/04 , C08K2201/013
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公开(公告)号：JPWO2015178193A1
公开(公告)日：2017-04-20
申请号：JP2015540940
申请日：2015-05-01
Applicant: 株式会社シンクロン
CPC classification number: B05B13/0221 , B05B9/04 , B05B15/0418 , B05B15/1222 , B05B17/04 , B05D1/02 , B05D3/0493 , B05D5/083 , B05D2203/35 , C03C17/30 , C03C2217/76 , C03C2218/15
Abstract: 耐久性を備えた薄膜を低コストで成膜する方法を提供する。成膜装置(1)は、基板(100)が内部下方に配置される真空容器(11)と、該容器(11)内を排気する真空ポンプ(15)と、容器(11)外部に設けられた、成膜剤溶液(21)を貯蔵する貯蔵容器(23)と、成膜剤溶液(21)を吐出可能となる吐出部(19)を一端に持つノズル(17)と、貯蔵容器(23)内に貯蔵される成膜剤溶液(21)の液面を加圧する加圧手段(ガス供給源(29)など)を含む。成膜剤溶液(21)として、第1材料(S1)と該S1の蒸気圧(P1)よりも高い蒸気圧(P2)を持つ第2材料(S2)とを含む2種類以上の材料からなり、第1材料の濃度が0.01重量%以上の溶液を用いる。この成膜剤溶液(21)を、P2以上の圧力(但し、P2より一桁以上高い圧力を除く)の雰囲気下で、基板に0.05〜0.3MPaの吐出圧で吐出する。
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公开(公告)号：JP2016533039A
公开(公告)日：2016-10-20
申请号：JP2016542626
申请日：2014-09-04
Applicant: ぺムヴィックス コーポレーションFemvix Corp. , ぺムヴィックス コーポレーションFemvix Corp. , キム、オク リュルKIM,Ok Ryul , キム、オク リュルKIM,Ok Ryul , キム、オク ミンKIM,Ok Min , キム、オク ミンKIM,Ok Min
IPC: H01L21/683 , H02N13/00
CPC classification number: H01L21/6833 , B05D1/02 , B05D3/0493 , H01L21/6831 , H02N13/00
Abstract: 本発明は、ベース基材と、静電気力を用いてウェーハを吸着する吸着部と、前記吸着部を前記ベース基材に貼り付ける貼着層と、前記貼着層の露出面をカバーするように配備された貼着層浸食防止コーティング層と、を備え、前記貼着層浸食防止コーティング層は、流量が一定に統制された輸送ガスに連続的に定量供給されるセラミックパウダーが0〜50℃及び真空状態の条件下で噴射コーティングされる方式により製造されて気孔及び亀裂がないことを特徴とする静電チャック」及び「(a)静電気力を用いてウェーハを吸着する吸着部をベース基材に貼り付ける貼着層を形成するステップと、(b)流量が一定に統制された輸送ガスにセラミックパウダーを連続的に定量供給して0〜50℃及び真空状態の条件下で噴射コーティングする方式により製造されて前記貼着層の露出面をカバーし、気孔及び亀裂がない貼着層浸食防止コーティング層を形成するステップと、を含むことを特徴とする静電チャックの製造方法、を提供する。【選択図】図1
Abstract translation: 本发明包括基底基板，用于通过利用静电力吸附晶片的吸附单元，所述佩戴粘贴膏吸入部到基体材料层，以覆盖键合耐磨层的暴露表面 包括部署粘合剂层耐腐蚀涂层的层，其中所述层压粘附层耐腐蚀涂层的层，陶瓷粉末流速被连续地分配到输送气体被控制为恒定0至50℃和 用于通过使用静电卡盘“和”（a）中的静电力吸附晶片基底基板吸附单元，其特征在于不存在气孔和裂纹是由被注入涂覆在真空条件下该方法产生的 形成淀积层粘结膏，通过的喷出涂覆有（b）中的流率被连续地分配到0至50℃，真空输送气体中的陶瓷粉末的方法被控制为的条件下，恒定 生产 它覆盖所述接合耐磨层的暴露表面，以提供该方法包括形成无气孔和裂纹一个粘合剂层耐腐蚀涂层的静电吸盘的制造方法，所述[ .The
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公开(公告)号：JP2016137487A
公开(公告)日：2016-08-04
申请号：JP2016034923
申请日：2016-02-25
Applicant: ヒソン カタリスツ コーポレイション
CPC classification number: B01J37/0215 , B01J3/03 , B01J35/04 , C10G1/02 , C10G1/10 , B05D3/0493 , B05D7/22
Abstract: 【課題】排気ガスの後処理に適用される触媒スラリーを複数のチャンネルが長手方向に形成されたモノリシック触媒支持体に定量的にコーティングする方法を提供。 【解決手段】触媒スラリーを床が上下に移動する定量容器に投入する工程、触媒支持体の下端および容器の上端が水平になるように触媒支持体を容器上部に移動させる工程、触媒支持体の下端および容器の上端を外部と密閉させる工程、容器の底を上方に移動させる工程と、真空適用工程を含む、触媒支持体の定量的コーティング方法。 【選択図】図3a
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种定量涂布具有在纵向形成的多个通道的整体式催化剂载体的方法，其中催化剂浆料用于废气的后处理。溶剂：催化剂载体的定量涂布方法包括 用于将催化剂浆料输入到具有可垂直移动的地板的确定容器中的步骤，用于将催化剂载体移动到容器上部以使得催化剂载体的底部边缘和容器的顶部边缘变得水平的步骤，用于密封的步骤 催化剂载体的底部边缘和容器的顶部边缘从外部移动，将容器的底部移动到上侧的步骤和真空施加步骤。选择的图示：图3a
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8.发明专利
公开(公告)号：JP2015187273A
公开(公告)日：2015-10-29
申请号：JP2015090880
申请日：2015-04-27
Applicant: アルケマ フランス
Inventor： ナヴァロ, クリストフ , シュバリエ, ザビエル , ニコレ, セリア
IPC: C08J3/20 , C08J5/18 , C08F293/00 , C08J7/00
CPC classification number: B05D3/046 , B05D3/0254 , B05D3/0493 , C08F2/001 , C08F297/026 , C09D153/00 , G03F1/68 , G03F7/00 , G03F7/0002
Abstract: 【課題】ブロックコポリマーとブロックの一つの(コ)ポリマーのブレンドから得られる形態を特徴付ける周期を制御する方法を提供する。 【解決手段】ブロックコポリマーの合成であって、前記合成の産物が、ブロックコポリマー及びブロックの一つの(コ)ポリマーを含むようにする合成と、ブロックコポリマーと(コ)ポリマーのブレンドの溶液の、表面上への堆積と、溶媒の蒸発と、アニーリングとを含む方法により周期を制御するブロックコポリマーの組成物の合成方法。 【選択図】なし
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种控制表征由嵌段共聚物和嵌段共聚物的（共））共聚物形成的形态的时间的方法。方法：在合成嵌段共聚物组合物的方法中， 时间段由以下方法控制，该方法包括：合成嵌段共聚物，使得合成产物包含嵌段共聚物和其中一个嵌段的（共）聚合物; 将嵌段共聚物和（共）聚合物的共混物的溶液沉积在表面上; 蒸发溶剂; 和退火。
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公开(公告)号：JP5582672B2
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：JP2006505171
申请日：2004-04-16
Inventor： ハリス ミヒャエル , デッターベック ディーター , ロックス エグベルト , クロイツァー トーマス
CPC classification number: B01J35/04 , B01J37/0215 , B05D3/0493 , B05D7/22
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10.发明专利
公开(公告)号：JP2014513031A
公开(公告)日：2014-05-29
申请号：JP2013558555
申请日：2012-03-14
Applicant: ペトロチェラミクス ソシエタ ペル アチオニ
Inventor： ヴァッレ、マッシミリアーノ
CPC classification number: B05D3/0218 , B05D3/0493 , B05D2203/30 , B05D2259/00 , B05D2401/30 , C04B35/565 , C04B35/573 , C04B35/63476 , C04B35/63496 , C04B35/76 , C04B35/806 , C04B41/85 , C04B2235/3817 , C04B2235/3826 , C04B2235/3852 , C04B2235/408 , C04B2235/425 , C04B2235/48 , C04B2235/5244 , C04B2235/5248 , C04B2235/5252 , C04B2235/5256 , C04B2235/526 , C04B2235/5427 , C04B2235/5436 , C23C16/4481 , F16D65/12 , F16D69/023 , F16D2065/1316 , F16D2065/1332 , F16D2069/008 , F16D2069/0491 , F16D2200/0047 , F16D2200/0069 , F16D2250/0046 , F27B9/028 , F27B9/045 , F27B9/36 , F27B14/04 , F27B14/14 , F27B17/0016 , F27D5/0068 , F27D7/06
Abstract: 第一の多孔性材料８で作った部品１を第二の材料２で処理する方法であって、この第二の材料が液体状態にあるとき、前記第二の材料２が、所定の温度範囲ＤＴｉ及び所定の浸透圧力の領域Ｄｐｉにある場合に浸透に適している方法であり、−部品１及び第二の材料２を収容するのに適し、部品１中に第二の材料２を浸透させる温度及び圧力に耐えることが可能である坩堝４を準備するステップ；坩堝を密閉して、坩堝の内部に室６を作り出すのに適した、坩堝４用のカバー５を準備するステップ；この第二の材料がまだ液体状態にないとき、前記坩堝室６内に、部品１及び第二の材料２を配置するステップ；−その後、カバー５で坩堝４を密閉するステップ；−第一の多孔性材料中に第二の材料を浸透させるのに適していない圧力（ｐａ又はｐａ１）において、第一の多孔性材料で作った前記部品１中に浸透させるのに適したものとするため前記第二の材料２を液化するのに適した所定の温度Ｔ２まで、坩堝内に収容した部品１及び第二の材料２の温度を上昇させ、−その後、以前の圧力（ｐａ又はｐａ１）よりも低い所定の圧力値ｐ２まで、圧力を低下させ、第一の多孔性材料８で作った前記部品１中への第二の材料２の浸透を可能にするステップを含む上記方法。
