ガスセルの製造方法、磁気計測装置の製造方法、およびガスセル

    公开(公告)号:JP2018004430A

    公开(公告)日:2018-01-11

    申请号:JP2016131380

    申请日:2016-07-01

    Inventor: 宮澤 達徳

    Abstract: 【課題】セルの内壁に形成するコーティング材の膜を所望の膜厚で安定的に形成でき、高精度で計測可能なガスセルの製造方法および磁気計測装置の製造方法を提供する。 【解決手段】ガスセル10の製造方法は、主室14と、主室14と連通するリザーバー16と、リザーバー16に設けられた開口18と、を有するセル12のリザーバー16にコーティング材32を含む保持部材30を配置する配置工程と、前記開口を封止部材で封止して前記セルを密封する封止工程と、保持部材30を加熱してセル12内でコーティング材32の蒸気を発生させる加熱工程と、セル12を冷却してセル12の内壁にコーティング材32を成膜する成膜工程と、を含むことを特徴とする。 【選択図】図9

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