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公开(公告)号：JP5750644B2
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：JP2011547286
申请日：2010-12-17
Applicant: アダマンド株式会社
IPC: H01L21/60
CPC classification number: B23K20/26 , B23K20/005 , H01L24/78 , B23K2201/40 , B23K2201/42 , H01L2224/05599 , H01L2224/45015 , H01L2224/45124 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/48464 , H01L2224/78301 , H01L2224/786 , H01L2224/78631 , H01L2224/851 , H01L2224/85181 , H01L2224/85399 , H01L24/85 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01013 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082
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公开(公告)号：JP6149235B2
公开(公告)日：2017-06-21
申请号：JP2016504055
申请日：2015-02-10
Applicant: 株式会社新川
Inventor： 高木 吉崇
IPC: H01L21/60
CPC classification number: H01L24/78 , B23K20/004 , H01L2224/78301 , H01L2224/78611 , H01L2224/78631 , H01L2924/00014
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公开(公告)号：JP6297553B2
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：JP2015523103
申请日：2013-07-01
Applicant: クリック アンド ソッファ インダストリーズ、インク.
Inventor： コロシモ、トーマス、ジェイ.、ジュニア , ブルンナー、ジョン、ダブリュー.
IPC: H01L21/60
CPC classification number: H01L24/43 , H01L24/48 , H01L24/78 , H01L24/85 , H01L24/97 , H01L2224/432 , H01L2224/45099 , H01L2224/451 , H01L2224/45139 , H01L2224/48091 , H01L2224/4845 , H01L2224/48465 , H01L2224/78301 , H01L2224/78611 , H01L2224/78621 , H01L2224/78631 , H01L2224/85045 , H01L2224/851 , H01L2224/85181 , H01L2224/85201 , H01L2224/85203 , H01L2224/85205 , H01L2224/85207 , H01L2224/85365 , H01L2924/00011 , H01L2924/00014 , H01L2924/00 , H01L2924/01049
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公开(公告)号：JPWO2015125672A1
公开(公告)日：2017-03-30
申请号：JP2016504055
申请日：2015-02-10
Applicant: 株式会社新川
IPC: H01L21/60
CPC classification number: H01L24/78 , B23K20/004 , H01L2224/78301 , H01L2224/78611 , H01L2224/78631 , H01L2924/00014 , H01L2224/45015 , H01L2924/207 , H01L2224/45099
Abstract: ワイヤテンショナ36には、ワイヤ28が貫通するワイヤ通路38が形成される。ワイヤ通路38は、圧縮気体が流入する流入口42と、流入口42より上側に設けられ、圧縮気体を排出する第1排出口44と、流入口42より上側に設けられ、ワイヤ通路38内の面積を縮小した第1縮流部46と、流入口42より下側に設けられ、ワイヤ通路38内の面積を縮小した第2縮流部48と、第2縮流部48よりボンディングツール側に設けられ、ボンディングツール側への圧縮気体の流れを縮小させる第3縮流部58とを含む。さらに、ワイヤ通路38は、第2縮流部48より下側に設けられ、圧縮気体を排出する第2排出口50を含む。これにより、ワイヤ28にテンションを付与しつつ、ワイヤ通路38の下端部38bから排出される圧縮空気を大幅に減少させることができる。これにより、ボンディングツール側への影響を抑制するワイヤテンショナを提供する。
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公开(公告)号：JPWO2011077681A1
公开(公告)日：2013-05-02
申请号：JP2011547286
申请日：2010-12-17
Applicant: アダマンド工業株式会社
IPC: H01L21/60
CPC classification number: B23K20/26 , B23K20/005 , B23K2201/40 , B23K2201/42 , H01L24/48 , H01L24/78 , H01L24/85 , H01L2224/05599 , H01L2224/45015 , H01L2224/45124 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/48464 , H01L2224/78301 , H01L2224/786 , H01L2224/78631 , H01L2224/851 , H01L2224/85181 , H01L2224/85399 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01013 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/00014 , H01L2924/00 , H01L2924/20752 , H01L2924/20753 , H01L2924/20754
Abstract: エアーテンション装置はワイヤーボンディング用金属線2を挿通可能な挿通孔3を有する挿通管4と、該挿通管4を挿着支持する支持体6と、挿通管4に設けられた気体導入路18を介して挿通孔3に圧縮気体を供給する圧縮気体供給装置7とを備え、挿通孔3は、第1の挿通孔10と、第1の挿通孔10の下方に位置し第1の挿通孔10よりも小径の細孔部17を有する第2の挿通孔11とからなり、細孔部17の孔径は、0.100〜0.070mmであり、かつ細孔部17の孔径に対する第1の挿通孔10の孔径の比が3.00以上、6.00未満となるように形成した。これにより、金属線2の損傷を防ぎ且つ所定の適切なテンションの付与を行う。
