公开(公告)号：KR1020110075377A

公开(公告)日：2011-07-06

申请号：KR1020090131818

申请日：2009-12-28

申请人： 재단법인 포항산업과학연구원 ,  세종공업 주식회사

发明人： 김흥락 ,  서호철 ,  이경일

IPC分类号： G01L19/06 ,  G01L19/14 ,  G01L7/08 ,  G01L9/04

CPC分类号： G01L19/06 ,  G01L9/0042 ,  G01L9/04 ,  G01L19/142

摘要： PURPOSE: A pressure sensor package structure is provided to selectively apply a silicon semiconductor core chip diaphragm and a metal strain gage diaphragm with one pressure sensor package only. CONSTITUTION: A pressure sensor package structure includes a base(120), a diaphragm, a signal processing unit, an outer housing package(160), and a screw part. The base is connected to a measured object. The diaphragm is supported by the base and senses an applied pressure. The signal processing unit changes the amount of deformation of the diaphragm to an electric signal. The outer housing package protects the diaphragm and the signal processing unit from external shock. The screw part is connected with a plastic package for setting a silicon chip diaphragm on the base. The screw part is coupled with a metal strain gage diaphragm.

摘要翻译： 目的：提供压力传感器封装结构，以仅选择性地施加硅半导体芯片隔膜和金属应变计隔膜。 构成：压力传感器封装结构包括基座（120），隔膜，信号处理单元，外壳体封装（160）和螺钉部分。 基座连接到被测对象。 隔膜由基座支撑并感测施加的压力。 信号处理单元将隔膜的变形量改变为电信号。 外壳包装保护隔膜和信号处理单元免受外部冲击。 螺丝部分与塑料包装连接，用于在基座上设置硅片隔膜。 螺钉部分与金属应变计隔膜结合。

公开(公告)号：KR100941996B1

公开(公告)日：2010-02-11

申请号：KR20090095891

申请日：2009-10-09

申请人： GFTEK CO LTD

发明人： KIM KWAN WOO ,  HONG YOUNG KEUN

IPC分类号： G01L9/04 ,  H01L21/00

CPC分类号： G01L9/04 ,  G01L9/0042 ,  G01L9/0051 ,  G01R19/10

摘要： PURPOSE: A semiconductor pressure sensor is provided to improve sensing precision by forming sensing electrodes on a ceramic substrate with a thick film printing method. CONSTITUTION: A semiconductor pressure sensor includes four sensing resistances(Ra,Rb,Rc,Rd) which are arranged in an X shape on a diaphragm(10) and bridge-wired so as to detect the pressure applied to the diaphragm. The sensing resistances include four terminals, two of them are input terminals and the others are output terminals.

摘要翻译： 目的：提供一种半导体压力传感器，通过在陶瓷衬底上形成感光电极，以厚膜印刷方式，提高感测精度。 构成：半导体压力传感器包括四个感测电阻（Ra，Rb，Rc，Rd），它们在膜片（10）上以X形排列并桥接，以便检测施加到隔膜的压力。 感测电阻包括四个端子，其中两个是输入端子，另一个是输出端子。

公开(公告)号：KR1020160092614A

公开(公告)日：2016-08-05

申请号：KR1020150013211

申请日：2015-01-28

申请人： (주) 에이직솔루션 ,  정효빈

发明人： 정효빈

IPC分类号： G01D21/02 ,  G01H1/00 ,  G01L1/22 ,  G01L9/04 ,  G01G3/14 ,  G01H17/00 ,  H02N11/00 ,  G08C17/02

CPC分类号： G01D21/02 ,  G01G3/14 ,  G01H1/00 ,  G01H17/00 ,  G01L1/22 ,  G01L9/04 ,  G08C17/02 ,  H02N11/002

摘要： 본발명은다채널멀티센서장치에있어서, 다채널로드셀부와 SAW 센서부를포함하는멀티센서부; 상기멀티센서부로부터입력되는신호를에너지로변환하는에너지하베스팅부; 상기하베스팅부로터에너지를공급받아동작하며, 상기멀티센서부로부터입력되는신호를디지털신호로변환하는디지털신호처리부; 및상기디지털신호처리부의출력신호를처리하여소정의포맷에따라외부로전송하는디지털통신부를포함한다. 이에의해센서로입력되는신호를하베스팅하여구동전원을생성함으로써전원을교체하거나외부에서전원을공급하지않고도자체구동이가능하며, 압력센서, 하중센서, SAW 센서등 다양한센서를다채널로운용하여구조물의이상유무를정확히진단할수 있다.

摘要翻译： 本发明涉及一种多通道传感器装置，包括：多传感器单元，包括多通道测力传感器单元和表面声波传感器单元; 能量收集单元，用于将从多传感器单元接收的信号转换成能量; 数字信号处理单元，通过从采集单元接收能量来操作，并将从多传感器单元接收的信号转换为数字信号; 以及数字通信单元，用于处理数字信号处理单元的输出信号，以预定格式将输出信号发送到外部。 因此，多通道传感器装置能够在没有外部电源的情况下独立地操作，并且不需要通过收集接收到传感器的信号来产生驱动功率来替换电源，并且能够精确地诊断故障 通过操作诸如压力传感器，重量传感器，SAW传感器等各种传感器的多通道的结构。

公开(公告)号：KR101479733B1

公开(公告)日：2015-01-06

申请号：KR1020130169039

申请日：2013-12-31

申请人： 전자부품연구원

发明人： 조남규

IPC分类号： G01L9/00 ,  G01L9/12 ,  G01L9/04

CPC分类号： G01L9/0055 ,  G01L9/04 ,  G01L9/12

摘要： 압력센서가 제공되며, 본 발명의 일 실시예에 따른 압력센서는 하우징, 하우징의 중앙에 위치하며 압력에 기초하여 변형되는 원통형 실린더 구조를 포함하는 압력부, 하우징과 압력부 위에 위치하는 제1 지지부, 제1 지지부 위에 위치하는 하부전극, 하부전극과 마주보며 하부전극 위에 이격되어 위치하는 상부전극, 하우징에 연결되며 상부전극을 지지하는 제2 지지부, 그리고 제2 지지부 위에 위치하며 압력부의 스트레인을 감지하는 스트레인 게이지를 포함하는 압력센서를 포함한다.

摘要翻译： 提供了一种压力传感器，其根据压力使两个电极之间的间隙规则地变形。 根据本发明的实施例的压力传感器包括：壳体; 位于所述壳体的中心的压力部分，并且包括基于所述压力变形的气缸结构; 位于壳体和压力部分上方的第一支撑部分; 位于所述第一支撑部分上方的下电极; 面向下电极的上电极并且定位成与下电极隔开; 连接到壳体并支撑上电极的第二支撑件; 以及位于第二支撑部分上并感测压力部分的应变的应变计。

公开(公告)号：KR1020100116515A

公开(公告)日：2010-11-01

申请号：KR1020090082436

申请日：2009-09-02

申请人： 세종공업 주식회사

发明人： 김규준 ,  서호철 ,  김태완 ,  반현석

IPC分类号： G01L9/04 ,  G01L19/00

CPC分类号： G01L9/04 ,  G01L9/0041 ,  G01L19/0007 ,  G01L19/0654

摘要： PURPOSE: A pressure sensor having semi-permeable membrane and an installation member thereof are provided to improve durability and increase the accuracy of the pressure sensing regardless of outside temperature condition. CONSTITUTION: A pressure sensor having semi-permeable membrane(100) comprises a housing(10), a connection unit(20), and a connector(30). A hollow(11) is formed inside the housing. The connection unit comprises a pressure inlet(25) for the inflow of fluid. The connector is installed at the other end of the housing. One end of the pressure inlet of the connection unit faces to the outside and the other end faces to the hollow of the housing. A semi-permeable film(28) is formed at one end of the pressure inlet.

摘要翻译： 目的：提供具有半透膜的压力传感器及其安装构件，以提高耐久性，并提高压力感测的精度，而不管外部温度条件如何。 构成：具有半透膜（100）的压力传感器包括壳体（10），连接单元（20）和连接器（30）。 在壳体内部形成有中空部（11）。 连接单元包括用于流体流入的压力入口（25）。 连接器安装在外壳的另一端。 连接单元的压力入口的一端面向外部，另一端面向壳体的中空部。 在压力入口的一端形成半透膜（28）。

公开(公告)号：KR1020100104888A

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：KR1020090023588

申请日：2009-03-19

申请人： 한국산업기술대학교산학협력단

发明人： 정영훈 ,  윤원수 ,  진송완

IPC分类号： G01L9/04 ,  G01L7/02 ,  G01L9/14

CPC分类号： G01L9/04 ,  G01L9/14 ,  G02F1/13

摘要： PURPOSE: A pressure distribution measurement test piece is provided to measure the parallelism between a backlight and a bonding head. CONSTITUTION: A pressure distribution measurement test piece comprises a backup plate, a settling part, test piece bodys(31,31a,32a,32b,33a,33b) and deformable parts(34a,34b,35a). The settling part is settled in the backup plate. The test piece body moves the backup plate and is pressurized with the bonding head. The deformable part interlinks the settling part and test piece body. The test piece body moves to eh backup plate by the pressurizing of the bonding head. The deformation part is transformed according to the test piece body.

摘要翻译： 目的：提供压力分布测量试件，以测量背光和粘合头之间的平行度。 构成：压力分布测量试件包括支撑板，沉降部分，试件体（31,31a，32a，32b，33a，33b）和可变形部分（34a，34b，35a）。 沉降部分落在后备板上。 试片体移动支撑板，并用粘合头加压。 可变形部分将沉降部分和试件体相互连接。 试件体通过接合头的加压而移动到支承板。 变形部分根据试件体变形。

公开(公告)号：KR1020170120040A

公开(公告)日：2017-10-30

申请号：KR1020170050471

申请日：2017-04-19

申请人： 센사타 테크놀로지스, 인크

发明人： 즈비체알버트페르난트 ,  클레이센베르네르존페테르 ,  쟈콥프랑크헨드리 ,  비에르스마데데헤드제르

IPC分类号： G01L9/04 ,  G01L1/22 ,  G01L19/14 ,  G01L5/16

CPC分类号： G01L9/04 ,  G01L1/22 ,  G01L9/0051 ,  G01L9/0055

摘要： 디바이스내 유체압력측정을위한압력센서제조방법이개시된다. 압력센서는밀봉구조물및 막을가진포트요소를포함한다. 4개의스트레인게이지가막에부착될것이다. 게이지들은휘트스톤브리지에사용되어유체압력을감지할수 있다. 제 1 유한요소과정은동일한압축스트레인으로막 중심축주위로제 1 윤곽(C1)을결정하고, 동일한인장스트레인으로막 중심축주위로제 2 윤곽(C2)을결정하며, 유체압력이막에가해질때 제 1 윤곽상의스트레인이제 2 윤곽상의스트레인과반대이다. 제 2 유한요소과정은, 휘트스톤브리지의출력에서최고에러신호와최저에러신호간의차이가압력센서에작용하는기생힘의영향하에최소이도록, 제 1 및제 2 윤곽상에서스트레인게이지의 4개의위치를결정한다.

摘要翻译： 公开了一种制造用于测量装置中的流体压力的压力传感器的方法。 压力传感器包括密封元件和带膜的端口元件。 四个应变计将连接到膜上。 可以在惠斯通电桥中使用测量仪来检测流体压力。 第一有限元过程，以确定在相同的压缩应变的第一轮廓（C1）上方的膜中心chukju，并确定相同的拉伸应变在所述第二轮廓（C2），当流体压力被施加到权利要求的膜刚刚中心chukju 1轮廓应变现在与两个轮廓上的应变相反。 第二有限元方法中，确定所述四个应变计的的位置，以便与至少作用于压力传感器，在惠斯登电桥的输出中的寄生力的影响下的最小误差信号之间的差，最大误差信号，在第一mitje 2轮廓 的。

公开(公告)号：KR1020150052599A

公开(公告)日：2015-05-14

申请号：KR1020130134245

申请日：2013-11-06

申请人： 전자부품연구원

发明人： 조남규

IPC分类号： G01L9/04 ,  G01L19/14

CPC分类号： G01L9/04 ,  G01L9/0055 ,  G01L19/145

摘要： 압력센서가제공되며, 압력에기초하여변형되는제1 부분과제1 부분의수평선상에서제1 부분을지지하는제2 부분을포함하는다이아프램(diaphragm), 제1 부분위에위치하고다이아프램에적용되는스트레인을감지하는스트레인게이지(strain gauge), 제2 부분위에위치하며스트레인게이지와전기적으로연결되어있으며스트레인게이지외측의수평방향에위치하는제1 회로기판, 제1 회로기판위에위치하며제1 회로기판과전기적으로연결되어있는제2 회로기판을포함하는제1 하우징, 그리고제2 회로기판의전기적신호를외부로전달하는제1 전극로드를포함하는제2 하우징을포함한다.

摘要翻译： 提供一种压力传感器，包括：膜片，包括要被压力变换的第一部分和第二部分，以支撑第一部分的水平线上的第一部分; 位于第一部分上的应变计，以检测施加到隔膜的应变; 定位在第二部分上的第一电路板，电连接到应变计，并且位于应变片的外侧的水平方向上; 第一壳体，其位于所述第一电路板上并且包括电连接到所述第一电路板的第二电路板; 以及第二壳体，包括将第二电路板的电信号传输到外部的第一电极棒。

公开(公告)号：KR1020140046356A

公开(公告)日：2014-04-18

申请号：KR1020120114992

申请日：2012-10-16

申请人： 주식회사 오토산업

发明人： 박경만 ,  김시동

IPC分类号： G01L19/14 ,  G01L9/04 ,  H01L29/84

CPC分类号： G01L9/04 ,  G01L9/0044 ,  G01L9/0051

摘要： The present invention relates to a ceramic diaphragm type pressure sensor and, more specifically, to a ceramic diaphragm type pressure sensor capable of preventing the leakage of a medium, which is a pressure measuring target, because a ceramic diaphragm is not broken, and accomplishing excellent mass production. Also, the present invention can reduce the volume of the pressure sensor by simplifying a PCB and a flexible cable for connecting the sensor and a signal processing chip, and can make the sensor at low prices. The ceramic diaphragm type pressure sensor according to the present invention comprises: the rectangular-plated ceramic diaphragm having a surface on which strain gauges and a pattern formed of an electro-conductive substance are formed; a base plate facing the surface of the ceramic diaphragm on which the pattern is formed; and an adhesive layer formed along the outer circumference of the ceramic diaphragm and the base plate to attach the ceramic diaphragm and the base plate and to form a space for the strain gauges.

摘要翻译： 本发明涉及一种陶瓷膜片式压力传感器，更具体地说，涉及一种陶瓷膜片式压力传感器，其能够防止作为压力测量对象物的介质的泄漏，因为陶瓷膜片不破裂，并且实现优异 大量生产。 此外，本发明可以通过简化PCB和用于连接传感器和信号处理芯片的柔性电缆来减小压力传感器的体积，并且可以使传感器价格低廉。 根据本发明的陶瓷膜片式压力传感器包括：矩形电镀陶瓷膜片，其上形成有应变仪和由导电物质形成的图案的表面; 面对形成有图案的陶瓷膜的表面的基板; 以及沿着陶瓷膜片和基板的外周形成的粘合层，以附接陶瓷膜片和基板，并形成用于应变计的空间。

公开(公告)号：KR101267469B1

公开(公告)日：2013-05-31

申请号：KR1020120152978

申请日：2012-12-26

申请人： (주)센서시스템기술

发明人： 김영보

IPC分类号： G01L9/04 ,  G01L19/00

CPC分类号： G01L9/04 ,  G01L1/22 ,  G01L9/006

摘要： PURPOSE: A pressure sensor is provided to simultaneously form a strain gauge on an identical substrate by a semi-conductive process and to be used by sawing one by one, thereby reducing manufacturing costs. CONSTITUTION: A pressure sensor comprises a base(31), a diaphragm(33), a guide(35), a boss(37), and a strain gauge(39). The base is formed into a ring shape. The diaphragm is welded in one side of the base corresponding to the other side where pressure is applied so that a circular edge portion of the diaphragm is overlapped. The guide is formed in the diaphragm to have internal and external diameters of the base identical to that of the base. The boss is welded so that the upper surface of the boss is positioned on a central portion of the diaphragm where the upper surface of the guide is positioned. Both sides of the lower surface of a gauge substrate are welded on the upper surfaces of the strain gauge and the guide. The strain gauge includes a plurality of resistant bodies. [Reference numerals] (AA) Pressure

摘要翻译： 目的：提供压力传感器，通过半导体工艺在相同的基板上同时形成应变片，并通过一个接一个的锯切使用，从而降低制造成本。 构成：压力传感器包括基座（31），隔膜（33），引导件（35），凸台（37）和应变计（39）。 底座形成环形。 隔膜被焊接在与施加压力的另一侧对应的基部的一侧中，使得隔膜的圆形边缘部分重叠。 引导件形成在隔膜中，以使底座的内径和外径与基座的内径和外径相同。 焊接凸台使得凸台的上表面位于导向件的上表面所在的隔膜的中心部分上。 表面基板的下表面的两侧焊接在应变片和引导件的上表面上。 应变仪包括多个电阻体。 （标号）（AA）压力