公开(公告)号：KR102482946B1

公开(公告)日：2022-12-28

申请号：KR1020217002916

申请日：2019-06-13

IPC分类号： G02F1/13 ,  G03F7/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

摘要： 본개시내용은일반적으로기판들을로딩, 처리및 언로딩하기위한방법및 장치에관한것이다. 처리시스템은포토리소그래피시스템에결합된로드/언로드시스템을포함한다. 로드/언로드시스템은제1 높이및 제1 폭을갖는제1 세트의트랙들, 및제1 높이및 제1 폭과는다른제2 높이및 제2 폭을갖는제2 세트의트랙들을포함한다. 미처리기판이제1 트레이상에서제1 세트의트랙들을따라리프트핀 로더로부터척으로이송되는한편, 처리된기판은제2 트레이상에서제2 세트의트랙들을따라척으로부터리프트핀 로더로이송된다. 제1 트레이가처리중에척 상에기판과함께유지되는동안, 로드/언로드시스템은처리된기판을언로딩하고미처리기판을제2 트레이상에로딩하도록구성된다.

公开(公告)号：KR102472501B1

公开(公告)日：2022-12-01

申请号：KR1020190016066

申请日：2019-02-12

IPC分类号： G03F7/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683

摘要： 임프린트장치는몰드를사용하여기판상의임프린트재에패턴을형성하는임프린트처리를상기기판의샷 영역각각에대해행하도록동작가능하다. 장치는몰드와기판사이의위치정렬을제어하도록구성되는제어기를포함한다. 제어기는몰드와기판사이의위치어긋남에따라기판스테이지의이동량에미리정해진추가량을추가하여구한목표위치를결정하고, 결정된목표위치를향한스테이지의이동을개시하며, 검출된위치어긋남이스테이지의이동동안허용범위내에들어가는타이밍에경화디바이스에의해임프린트재의경화를개시한다.

公开(公告)号：KR102471802B1

公开(公告)日：2022-11-28

申请号：KR1020197001060

申请日：2017-07-18

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F1/70 ,  G03F7/00 ,  G02B5/20

摘要： 이포토마스크는, 멀티렌즈로이루어지는투영렌즈를구비한스캔방식의투영노광에사용하는포토마스크로서, 상기멀티렌즈의접속부 (36a) 를포함하는스캔노광에의해전사되는영역 (SA2) 에존재하는상기포토마스크의복수의패턴 (Cnn) 의선폭이, 상기접속부 (36a) 를포함하지않는스캔노광에의해전사되는영역 (SA1) 에존재하는상기포토마스크의상기패턴 (Cnn) 과동형의패턴의선폭에대하여보정된선폭이다.

公开(公告)号：KR102467423B1

公开(公告)日：2022-11-15

申请号：KR1020190027526

申请日：2019-03-11

IPC分类号： G03F7/105 ,  C09B11/24 ,  G03F7/027 ,  G03F7/028 ,  G03F7/00 ,  G02B5/20 ,  G02F1/1335

摘要： 본발명에따른청색염료를포함하는착색경화성수지조성물은화학식 1로표시되는청색염료, 화학식 2로표시되는자색염료및 청색안료를포함하는착색제; 및화학식 3으로표시되는반복단위를포함하고, 유리전이온도가 0℃이상인제1 수지및 화학식 4로표시되는반복단위를포함하고, 유리전이온도가 0℃미만인제2 수지를포함하는알칼리가용성수지;를포함하고, 상기화학식 1로표시되는청색염료는상기착색제전체 100 중량부에대하여 20 내지 40 중량부로포함되며, 상기화학식 2로표시되는자색염료는상기착색제전체 100 중량부에대하여 5 내지 25 중량부로포함되고, 상기청색안료는상기착색제전체 100 중량부에대하여 40 내지 60 중량부로포함되는것을특징으로한다.

公开(公告)号：KR102459131B1

公开(公告)日：2022-10-27

申请号：KR1020210153591

申请日：2021-11-10

IPC分类号： G03F7/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/78 ,  H01L21/76 ,  H01L21/67

公开(公告)号：KR102458551B1

公开(公告)日：2022-10-25

申请号：KR1020190018407

申请日：2019-02-18

IPC分类号： G03F7/00 ,  G03F7/20

公开(公告)号：KR102456389B1

公开(公告)日：2022-10-19

申请号：KR1020180167543

申请日：2018-12-21

IPC分类号： G03F7/105 ,  G03F7/075 ,  C09B47/08 ,  G03F7/00

公开(公告)号：KR102454617B1

公开(公告)日：2022-10-17

申请号：KR1020177020232

申请日：2015-12-18

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F7/40 ,  G03F7/00 ,  G02B5/00 ,  G02B5/18 ,  G02B5/20

公开(公告)号：KR102452936B1

公开(公告)日：2022-10-11

申请号：KR1020220002564

申请日：2022-01-07

IPC分类号： G03F7/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

公开(公告)号：KR102442297B1

公开(公告)日：2022-09-13

申请号：KR1020207025298

申请日：2019-03-14

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/105 ,  G03F7/20 ,  G03F7/26 ,  G03F7/00 ,  G02B5/20 ,  G02F1/1335 ,  H01L27/146

摘要： 유기용제를포함하는현상액으로현상하여네거티브형패턴을형성하기위하여이용되는감광성조성물로서, 색재와, 산의작용에의하여유기용제에대한용해성이저하되는수지와, 광산발생제를포함하는감광성조성물에관한것이다. 이감광성조성물을이용한막, 패턴의형성방법, 컬러필터, 고체촬상소자, 및화상표시장치에관한것이다.