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公开(公告)号:TWI563351B
公开(公告)日:2016-12-21
申请号:TW100137962
申请日:2011-10-19
Applicant: 恩特葛瑞斯公司 , ENTEGRIS, INC.
Inventor: 巴金 珍妮佛M , BRAGGIN, JENNIFER M. , 乾志穗 , INUI, SHIHO , 周偉立 , CHOW, WAILUP , 吳愛文 , WU, AIWEN
CPC classification number: F04B49/065 , F04B53/20 , F04D13/06 , H01L21/67017
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公开(公告)号:TW201636753A
公开(公告)日:2016-10-16
申请号:TW104141535
申请日:2015-12-10
Applicant: 力威磁浮技術有限公司 , LEVITRONIX GMBH
Inventor: 史達克力 賽門 , STOCKLI, SIMON , 卡拉 安德利亞 , KALAPOS, ANDREAS , 珊特納 派翠克 , ZENTNER, PATRICK , 柏卡特 喬格 , BURKART, JURG
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635 , F04B49/065 , G05D7/0676 , G05D7/0682
Abstract: 本發明係關於一種用來設定一流體(F)之可預先決定的體積流(VS)的流量調節器(1),其包含一第一感測器(SF1,SP1),用來決定該流體(F)的一第一流動參數(KF1,KP1)的第一實際數值(IW1)、一預壓力調節器(pre-pressure regulator)(2),用來設定在該預壓力調節器(2)的一預壓力出口(22)處的一可預先決定的預壓力(PV)、以及一迴轉泵形式的調節泵(3)。就此而言,該流體(F)可在設備壓力(PA)的操作狀態下經由一流入管線(20)及一預壓力入口(21)而被引導至該預壓力調節器(2)且可在該預壓力(PV)下經由一設置在該預壓力出口(22)和該調節泵(3)之間的流動連接管線(4)而被進一步引導至該調節泵(3)。它的特徵在於,該預壓力出口(22)以流動連通的方式經由該流動連接管線(4)被連接至該調節泵(3)的一高壓連接管線(31),該連接的方式讓該流體(F)可從該預壓力調節器(2)被供應至該調節泵(3)而且可再被引導離開該調節泵(3)經由一低壓連接管線(32)進入一流出管線(5),其中該調節泵(3)的轉速可在使用一取決於該第一流動參數(KF1,KP1)的該第一實際數值(IW1)的第一所想要的數值(SW1)之下以 一種一抵抗該預壓力(PV)的限制壓力(PB)可被該調節泵(3)產生的方式用一調節控制器(6)來加以設定,該設定的方式讓該流體(F)的該可預先決定的體積流(VS)可被設定於該流出管線(5)內。此外,本發明亦關於一種設定一可預先決定的體積流(VS)的方法。
Abstract in simplified Chinese: 本发明系关于一种用来设置一流体(F)之可预先决定的体积流(VS)的流量调节器(1),其包含一第一传感器(SF1,SP1),用来决定该流体(F)的一第一流动参数(KF1,KP1)的第一实际数值(IW1)、一预压力调节器(pre-pressure regulator)(2),用来设置在该预压力调节器(2)的一预压力出口(22)处的一可预先决定的预压力(PV)、以及一掉头泵形式的调节泵(3)。就此而言,该流体(F)可在设备压力(PA)的操作状态下经由一流入管线(20)及一预压力入口(21)而被引导至该预压力调节器(2)且可在该预压力(PV)下经由一设置在该预压力出口(22)和该调节泵(3)之间的流动连接管线(4)而被进一步引导至该调节泵(3)。它的特征在于,该预压力出口(22)以流动连通的方式经由该流动连接管线(4)被连接至该调节泵(3)的一高压连接管线(31),该连接的方式让该流体(F)可从该预压力调节器(2)被供应至该调节泵(3)而且可再被引导离开该调节泵(3)经由一低压连接管线(32)进入一流出管线(5),其中该调节泵(3)的转速可在使用一取决于该第一流动参数(KF1,KP1)的该第一实际数值(IW1)的第一所想要的数值(SW1)之下以 一种一抵抗该预压力(PV)的限制压力(PB)可被该调节泵(3)产生的方式用一调节控制器(6)来加以设置,该设置的方式让该流体(F)的该可预先决定的体积流(VS)可被设置于该流出管线(5)内。此外,本发明亦关于一种设置一可预先决定的体积流(VS)的方法。
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公开(公告)号:TW201632727A
公开(公告)日:2016-09-16
申请号:TW105102332
申请日:2016-01-26
Applicant: 羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
Inventor: 芙羅 席亞曼德 , FLO, SIAMEND , 阿爾蓋爾 托斯頓 , ALLGEIER, THORSTEN , 葛雀 安德亞斯 , GUTSCHER, ANDREAS , 庫許 安德亞 , KRUSCH, ANDREA , 毛爾 華爾特 , MAEURER, WALTER
CPC classification number: F04B49/06 , F02D41/20 , F02D41/2464 , F02D41/3082 , F02D2041/2037 , F02D2041/2051 , F02D2041/2055 , F02D2041/2058 , F04B17/04 , F04B17/044 , F04B19/22 , F04B35/045 , F04B49/065 , F04B53/14 , F04B53/16 , F04B2201/0201 , F04B2203/0401 , F04B2203/0402
Abstract: 一種操作藉由電磁體的線圈(1)驅動之活塞泵(10)的方法,其中該活塞泵(10)的活塞(2)可藉由該電磁體在氣缸中(3)進行運動,以便進行泵送,其中在接通時間內,對該線圈(1)施加電壓(U),使得電流流過該線圈(1)並對該活塞(2)進行加速,其中藉由控制裝置(11)施加該電壓,其中對該線圈(1)之電氣狀態變數(I,U)的時間曲線進行定性偵測並對該曲線或由此所導出的曲線進行分析,以便對該活塞(2)碰觸止動件(8)進行識別。本發明亦有關於一種控制裝置以及一種活塞泵。
Abstract in simplified Chinese: 一种操作借由电磁体的线圈(1)驱动之活塞泵(10)的方法,其中该活塞泵(10)的活塞(2)可借由该电磁体在气缸中(3)进行运动,以便进行泵送,其中在接通时间内,对该线圈(1)施加电压(U),使得电流流过该线圈(1)并对该活塞(2)进行加速,其中借由控制设备(11)施加该电压,其中对该线圈(1)之电气状态变量(I,U)的时间曲线进行定性侦测并对该曲线或由此所导出的曲线进行分析,以便对该活塞(2)碰触止动件(8)进行识别。本发明亦有关于一种控制设备以及一种活塞泵。
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公开(公告)号:TW201631260A
公开(公告)日:2016-09-01
申请号:TW105101864
申请日:2016-01-21
Applicant: 住友重機械工業股份有限公司 , SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
Inventor: 谷津貴裕 , YATSU, TAKAHIRO
IPC: F04B37/08
CPC classification number: F04B37/085 , F04B41/00 , F04B49/065 , F04B2205/00
Abstract: 本發明提供一種低溫泵系統、低溫泵控制裝置及低溫泵再生方法,其課題在於縮短低溫泵的再生時間。本發明的低溫泵系統具備:低溫泵(10);從前述低溫泵(10)排出冷凝物的排出處理且包含進行前述低溫泵(10)的粗抽的排出處理之再生順序,並依據該再生順序控制前述低溫泵(10)之再生控制部(102);前述再生控制部(102)具備:運算前述低溫泵(10)的粗抽中的前述低溫泵(10)內的壓力下降率之壓力下降率運算部(114);及檢測前述粗抽中的前述壓力下降率的縮小之壓力下降率監視部(116)。
Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种低温泵系统、低温泵控制设备及低温泵再生方法,其课题在于缩短低温泵的再生时间。本发明的低温泵系统具备:低温泵(10);从前述低温泵(10)排出冷凝物的排出处理且包含进行前述低温泵(10)的粗抽的排出处理之再生顺序,并依据该再生顺序控制前述低温泵(10)之再生控制部(102);前述再生控制部(102)具备:运算前述低温泵(10)的粗抽中的前述低温泵(10)内的压力下降率之压力下降率运算部(114);及检测前述粗抽中的前述压力下降率的缩小之压力下降率监视部(116)。
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公开(公告)号:TW201623796A
公开(公告)日:2016-07-01
申请号:TW104125050
申请日:2015-08-03
Applicant: 日本皮拉工業股份有限公司 , NIPPON PILLAR PACKING CO., LTD.
Inventor: 中野篤 , NAKANO, ATSUSHI , 永江慶士 , NAGAE, KEIJI
CPC classification number: F04B43/10 , F04B11/00 , F04B11/0025 , F04B43/0081 , F04B43/067 , F04B43/113 , F04B45/022 , F04B45/0336 , F04B49/065 , F04B49/22 , F04B2203/10 , F04B2205/13
Abstract: 本發明提供一種即使對既有的伸縮泵也能夠輕易地抑制從動作流體的吸入切換到吐出時所產生之衝撃壓力的伸縮泵裝置。該伸縮泵裝置,藉由對密閉的2個空氣室21、26的其中一方的空氣室26供給加壓空氣,使伸縮部13(14)進行伸長動作,以吸入移送流體,並藉由對另一方的空氣室21供給加壓空氣,使伸縮部13(14)進行收縮動作,以吐出移送流體。該伸縮泵裝置,具備:電動氣動調節器51(52),其調整供給到一方的空氣室26的加壓空氣的第1空氣壓以及供給到另一方的空氣室21的加壓空氣的第2空氣壓;以及控制部6,其以在伸縮部13(14)的伸長動作中的至少伸長結束時點第1空氣壓比第2空氣壓更低的方式,控制電動氣動調節器51(52)。
Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种即使对既有的伸缩泵也能够轻易地抑制从动作流体的吸入切换到吐出时所产生之冲击压力的伸缩泵设备。该伸缩泵设备,借由对密闭的2个空气室21、26的其中一方的空气室26供给加压空气,使伸缩部13(14)进行伸长动作,以吸入移送流体,并借由对另一方的空气室21供给加压空气,使伸缩部13(14)进行收缩动作,以吐出移送流体。该伸缩泵设备,具备:电动气动调节器51(52),其调整供给到一方的空气室26的加压空气的第1空气压以及供给到另一方的空气室21的加压空气的第2空气压;以及控制部6,其以在伸缩部13(14)的伸长动作中的至少伸长结束时点第1空气压比第2空气压更低的方式,控制电动气动调节器51(52)。
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公开(公告)号:TWI530617B
公开(公告)日:2016-04-21
申请号:TW100133456
申请日:2011-09-16
Applicant: 住友重機械工業股份有限公司 , SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
Inventor: 安東正道 , ANDO, MASAMICHI
CPC classification number: F04B37/08 , B01D8/00 , F04B49/065 , F25B2600/0253 , F25B2600/027
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公开(公告)号:TW201613657A
公开(公告)日:2016-04-16
申请号:TW104103170
申请日:2015-01-30
Applicant: 席諾芬有限公司 , CELLNOVO LTD.
Inventor: 西華 喬瑟夫 , CEFAI, JOSEPH , 夏普利 朱利安 , SHAPLEY, JULIAN , 鮑爾 馬修 , POWELL, MATTHEW
CPC classification number: A61M5/142 , A61M5/14224 , A61M5/14244 , A61M5/162 , A61M5/1723 , A61M2205/3337 , A61M2205/3368 , A61M2205/3569 , A61M2205/3584 , A61M2205/3673 , A61M2205/505 , A61M2205/8206 , A61M2205/8237 , A61M2209/086 , A61M2230/005 , A61M2230/201 , A61M2230/63 , F03G7/06 , F04B43/043 , F04B43/06 , F04B49/065
Abstract: 本發明係揭露一種致動器,包含一腔穴、一薄膜與一半導體元件。此腔穴包含一工作媒介,在工作媒介之相位從固相變液相時,工作媒介係可逆性地膨脹。薄膜與腔穴相鄰,使可膨脹之工作媒介的膨脹與收縮造成薄膜偏斜。半導體元件設於腔穴中。在第一模式中,半導體元件加熱工作媒介,以造成工作媒介變成液相,在第二模式中,半導體元件量測自身之溫度。利用同樣的半導體元件進行加熱與溫度偵測,並在一正確位置上量測溫度。
Abstract in simplified Chinese: 本发明系揭露一种致动器,包含一腔穴、一薄膜与一半导体组件。此腔穴包含一工作媒介,在工作媒介之相位从固相变液相时,工作媒介系可逆性地膨胀。薄膜与腔穴相邻,使可膨胀之工作媒介的膨胀与收缩造成薄膜偏斜。半导体组件设于腔穴中。在第一模式中,半导体组件加热工作媒介,以造成工作媒介变成液相,在第二模式中,半导体组件量测自身之温度。利用同样的半导体组件进行加热与温度侦测,并在一正确位置上量测温度。
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公开(公告)号:TW201612422A
公开(公告)日:2016-04-01
申请号:TW104115026
申请日:2015-05-12
Applicant: 通用電機股份有限公司 , GENERAL ELECTRIC COMPANY
Inventor: 瑞菲亞曼 蓋默 , REFAI-AHMED, GAMAL , 弗格爾 喬 , VOGEL, JOHN ANTHONY , 吉爾凡尼 克里斯汀 , GIOVANNIELLO, CHRISTIAN M.
IPC: F04B49/06 , F04F7/00 , H01L23/473
CPC classification number: F04B49/065 , F04B43/04 , F04B45/047 , F04F7/00 , H01L23/467 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 一種振動式流體推進器包括一殼體,其具有至少一致動器元件設置於其上,該致動器元件回應一施加至其上的波形電壓而振動,使得一在該殼體內的艙室內的體積增加及減少,用以將流體夾帶(entrain)至該艙室內或將流體從該艙室射出。一控制系統被操作性地連接至該致動器元件以產生將被施加至該致動器元件的該電壓,用以主動地控制該致動器元件的運動。該控制系統被程式化,用以設定一回應於將被施加的目標電壓及頻率所產生之用於該振動式流體推進器的操作參數的基線值(baseline value)、監視該振動式流體推進器在操作期間在該目標電壓及頻率下的操作、指認該操作參數偏離該基線值的偏移、及根據該操作參數的任何誤差來修正該被提供給該致動器元件的電壓及頻率。
Abstract in simplified Chinese: 一种振动式流体推进器包括一壳体,其具有至少一致动器组件设置于其上,该致动器组件回应一施加至其上的波形电压而振动,使得一在该壳体内的舱室内的体积增加及减少,用以将流体夹带(entrain)至该舱室内或将流体从该舱室射出。一控制系统被操作性地连接至该致动器组件以产生将被施加至该致动器组件的该电压,用以主动地控制该致动器组件的运动。该控制系统被进程化,用以设置一回应于将被施加的目标电压及频率所产生之用于该振动式流体推进器的操作参数的基线值(baseline value)、监视该振动式流体推进器在操作期间在该目标电压及频率下的操作、指认该操作参数偏离该基线值的偏移、及根据该操作参数的任何误差来修正该被提供给该致动器组件的电压及频率。
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公开(公告)号:TW201509542A
公开(公告)日:2015-03-16
申请号:TW103143961
申请日:2013-12-12
Applicant: 東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
Inventor: 高柳康治 , TAKAYANAGI, KOJI , 嶺川幸江 , MINEKAWA, YUKIE , 吉田勇一 , YOSHIDA, YUICHI , 吉原孝介 , YOSHIHARA, KOUSUKE , 寺下裕一 , TERASHITA, YUICHI , 古庄智伸 , FURUSHO, TOSHINOBU , 佐佐卓志 , SASA, TAKASHI
IPC: B05C11/10 , B05D3/00 , H01L21/027 , G03F7/16
CPC classification number: H01L21/67017 , F04B43/0081 , F04B49/065 , F04B2205/503 , H01L21/6715
Abstract: 本發明之目的在於用一個過濾器獲得與設置複數個過濾器的情況同樣的過濾效率,同時防止處理量降低。 為了達成上述目的,本發明根據控制部101的控制信號,使光阻液L經過過濾器52並將其吸入泵70,使泵所吸入之光阻液的一部分從吐出噴嘴7吐出,使剩下的光阻液回到過濾器的一次側的供給管路51b,使與吐出量相等的補充量加入回流量而合流,並使所合流之光阻液以對應吐出量與回流量之比率的合流的次數實行光阻液的吐出與過濾器的過濾。
Abstract in simplified Chinese: 本发明之目的在于用一个过滤器获得与设置复数个过滤器的情况同样的过滤效率,同时防止处理量降低。 为了达成上述目的,本发明根据控制部101的控制信号,使光阻液L经过过滤器52并将其吸入泵70,使泵所吸入之光阻液的一部分从吐出喷嘴7吐出,使剩下的光阻液回到过滤器的一次侧的供给管路51b,使与吐出量相等的补充量加入回流量而合流,并使所合流之光阻液以对应吐出量与回流量之比率的合流的次数实行光阻液的吐出与过滤器的过滤。
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公开(公告)号:TWI468228B
公开(公告)日:2015-01-11
申请号:TW102145879
申请日:2013-12-12
Applicant: 東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
Inventor: 高柳康治 , TAKAYANAGI, KOJI , 嶺川幸江 , MINEKAWA, YUKIE , 吉田勇一 , YOSHIDA, YUICHI , 吉原孝介 , YOSHIHARA, KOUSUKE , 寺下裕一 , TERASHITA, YUICHI , 古庄智伸 , FURUSHO, TOSHINOBU , 佐佐卓志 , SASA, TAKASHI
IPC: B05C11/10 , B05D3/00 , H01L21/027 , G03F7/16
CPC classification number: H01L21/67017 , F04B43/0081 , F04B49/065 , F04B2205/503 , H01L21/6715
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