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公开(公告)号:TW202026643A
公开(公告)日:2020-07-16
申请号:TW108140216
申请日:2019-11-06
申请人: 日商羅姆股份有限公司 , ROHM CO., LTD. , 美商凱歐尼克斯公司 , KIONIX, INC.
发明人: 山謬爾森 布萊恩湯姆士 , SAMUELSON, BRIAN THOMAS , 德肯 理查艾倫 , DEKEN, RICHARD ALAN , 山城洋 , YAMASHIRO, YO
IPC分类号: G01P15/18 , G01P15/125
摘要: 本文描述了具有RMS輸出的加速度計。例如,示例加速度計可以包括MEMS裝置和ASIC。MEMS裝置包括具有響應於物體加速度而改變的屬性的結構。ASIC至少部分地基於屬性的改變來決定物體的加速度。ASIC包括類比電路系統、ADC和韌體。類比電路系統測量屬性的變化,並生成表示屬性變化的類比信號。ADC將類比信號轉換為數位信號。韌體包括RMS韌體。RMS韌體對數位信號的表示執行RMS計算,以提供表示物體加速度量的RMS值。
简体摘要: 本文描述了具有RMS输出的加速度计。例如,示例加速度计可以包括MEMS设备和ASIC。MEMS设备包括具有响应于物体加速度而改变的属性的结构。ASIC至少部分地基于属性的改变来决定物体的加速度。ASIC包括模拟电路系统、ADC和固件。模拟电路系统测量属性的变化,并生成表示属性变化的模拟信号。ADC将模拟信号转换为数码信号。固件包括RMS固件。RMS固件对数码信号的表示运行RMS计算,以提供表示物体加速度量的RMS值。
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公开(公告)号:TW202026642A
公开(公告)日:2020-07-16
申请号:TW108135323
申请日:2019-09-27
发明人: 賴恩浩 , LAI, EN HAO , 楊基 , YANG, CHI , 簡上傑 , CHIEN, SHANG CHIEH , 陳立銳 , CHEN, LI JUI , 鄭博中 , CHENG, PO CHUNG
摘要: 本案提供一種方法,包括以下步驟:利用來自液滴照明模組的光照射極紫外光刻工具的極紫外光源中的靶液滴。偵測由靶液滴反射及/或散射的光。執行粒子影像測速以監視極紫外光源內部的一或多個流動參數。
简体摘要: 本案提供一种方法,包括以下步骤:利用来自液滴照明模块的光照射极紫外光刻工具的极紫外光源中的靶液滴。侦测由靶液滴反射及/或散射的光。运行粒子影像测速以监视极紫外光源内部的一或多个流动参数。
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公开(公告)号:TWM597009U
公开(公告)日:2020-06-11
申请号:TW109203051
申请日:2020-03-18
申请人: 財團法人船舶暨海洋產業研發中心 , SHIP AND OCEAN INDUSTRIES R&D CENTER , 長岡機電股份有限公司 , NAGA OKA MACHINERY CO., LTD.
发明人: 高涵鈞 , KAO, HAN-CHUN , 林鴻熙 , LIN, HUNG-HSI , 陳聖樺 , CHEN, SHENG-HUA , 林育緯 , LIN, YU-WEI , 林忠敬 , LIN, CHUNG-CHING , 鄭威軍 , CHENG, WEI-CHUN , 許孝友 , HSU, HSIAO-YU , 蔡振中 , TSAI, CHEN CHUNG , 陳文振 , CHEN, WEN-CHENG , 曹常俊 , TAUR, CHARNG JIANN
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公开(公告)号:TW202018299A
公开(公告)日:2020-05-16
申请号:TW108133763
申请日:2019-09-19
申请人: 美商美國亞德諾半導體公司 , ANALOG DEVICES, INC.
发明人: 張江龍 , ZHANG, JIANGLONG , 張欣 , ZHANG, XIN
IPC分类号: G01P15/18
摘要: 一種三軸加速度計,其係包括單一整合式質量塊,此整合式質量塊包括至少一橫向(XY)檢測質量塊及至少一垂向(Z)檢測質量塊。直向檢測質量塊為蹺蹺板式質量塊,位於該橫向檢測質量塊內。該直向檢測質量塊係透過一或多個扭力彈簧而以機械方式耦接於該橫向檢測質量塊,且該橫向檢測質量塊係透過一或多個橫向彈簧而以機械方式耦接於一或多個錨柱。至少一直向檢測質量塊可於該三軸加速度計之一或多個軸兩側為對稱設置,俾使該三軸加速度計具有平面對稱性。所述三軸加速度計較不易受到機械性串擾或噪音影響,且能夠以較小之封裝感測三個方向之加速度。
简体摘要: 一种三轴加速度计,其系包括单一集成式质量块,此集成式质量块包括至少一横向(XY)检测质量块及至少一垂向(Z)检测质量块。直向检测质量块为跷跷板式质量块,位于该横向检测质量块内。该直向检测质量块系透过一或多个扭力弹簧而以机械方式耦接于该横向检测质量块,且该横向检测质量块系透过一或多个横向弹簧而以机械方式耦接于一或多个锚柱。至少一直向检测质量块可于该三轴加速度计之一或多个轴两侧为对称设置,俾使该三轴加速度计具有平面对称性。所述三轴加速度计较不易受到机械性串扰或噪音影响,且能够以较小之封装传感三个方向之加速度。
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公开(公告)号:TW202014707A
公开(公告)日:2020-04-16
申请号:TW108128732
申请日:2019-08-13
申请人: 德商羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人: 吉澤爾 斯特凡 , KIESEL, STEFAN , 班特納 猶亨 , BEINTNER, JOCHEN , 寇斯特 莫尼卡 , KOSTER, MONIKA
IPC分类号: G01P15/097 , B81B7/02 , B81C1/00 , B81B3/00
摘要: 本發明提供一種微機械慣性感測器(100),其具有: 一基板(10); 至少兩個相同的z軸感測器芯(20,30),其各自具有一可移動的不對稱震動塊體(21a,21b,31a,31b),其中該等可移動的不對稱震動塊體(21a,21b,31a,31b)各自可繞一扭轉軸線(22,32)扭轉; 該微機械慣性感測器之特徵在於,該兩個z軸感測器芯(20,30)係安置於該基板(10)上,彼此偏移180°。
简体摘要: 本发明提供一种微机械惯性传感器(100),其具有: 一基板(10); 至少两个相同的z轴传感器芯(20,30),其各自具有一可移动的不对称震动块体(21a,21b,31a,31b),其中该等可移动的不对称震动块体(21a,21b,31a,31b)各自可绕一扭转轴线(22,32)扭转; 该微机械惯性传感器之特征在于,该两个z轴传感器芯(20,30)系安置于该基板(10)上,彼此偏移180°。
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公开(公告)号:TW202014282A
公开(公告)日:2020-04-16
申请号:TW108127741
申请日:2019-08-05
申请人: 日商IHI股份有限公司 , IHI CORPORATION
发明人: 中山幸 , NAKAYAMA, TAKAYUKI , 倉田優志 , KURATA, YUJI , 砂川拓哉 , SUNAKAWA, TAKUYA
摘要: 本發明之加速度導出裝置(D)係具備:把持輔助具(1),係將把持有試驗體(Y)的把持具(1g)從水平狀態保持為傾斜後的狀態,並且檢測出前述把持具的傾斜角度,而且可改變前述把持具的把持力;質量調節部(B),係調節前述試驗體的質量,以使隨著前述傾斜角度而變化之重力在傾斜方向的分力等於傾斜前施加於前述試驗體的重力;及加速度演算部(3b),係根據前述試驗體從前述把持具脫離時之前述傾斜角度、與作用於前述試驗體的重力加速度,而計算前述試驗體從前述把持具脫離時之前述試驗體的加速度。
简体摘要: 本发明之加速度导出设备(D)系具备:把持辅助具(1),系将把持有试验体(Y)的把持具(1g)从水平状态保持为倾斜后的状态,并且检测出前述把持具的倾斜角度,而且可改变前述把持具的把持力;质量调节部(B),系调节前述试验体的质量,以使随着前述倾斜角度而变化之重力在倾斜方向的分力等于倾斜前施加于前述试验体的重力;及加速度演算部(3b),系根据前述试验体从前述把持具脱离时之前述倾斜角度、与作用于前述试验体的重力加速度,而计算前述试验体从前述把持具脱离时之前述试验体的加速度。
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公开(公告)号:TWI688541B
公开(公告)日:2020-03-21
申请号:TW105140402
申请日:2016-12-07
申请人: 德商羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人: 雅木托 尤莉亞 , AMTHOR, JULIA , 阿美圖瓦布拉 瑪烏利 , AMETOWOBLA, MAWULI , 卡培 飛利浦 , KAPPE, PHILIP
IPC分类号: B81B7/02 , B81C1/00 , G01C19/5769 , G01P15/08
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公开(公告)号:TWI687705B
公开(公告)日:2020-03-11
申请号:TW107136739
申请日:2018-10-18
发明人: 哈波拉 托瑪斯 , HAPOLA, TUOMAS , 奈米恩 海基 , NIEMINEN, HEIKKI , 瑪堤卡 米可 , MARTIKKA, MIKKO , 琳德曼 艾瑞克 , LINDMAN, ERIK
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公开(公告)号:TWI676802B
公开(公告)日:2019-11-11
申请号:TW107117159
申请日:2018-05-21
申请人: 日商普瑞吉股份有限公司 , PRGR CO., LTD.
发明人: 三枝宏 , SAEGUSA, HIROSHI
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公开(公告)号:TWI676029B
公开(公告)日:2019-11-01
申请号:TW107139565
申请日:2016-05-20
发明人: 華特斯理查 , WATERS,RICHARD L. , 福瑞力克馬克 , FRALICK,MARK , 泰利查爾斯四世 , TALLY,IV,CHARLES HAROLD , 賈克斯約翰 , JACOBS,JOHN D.
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