公开(公告)号：US20120013895A1

公开(公告)日：2012-01-19

申请号：US12836051

申请日：2010-07-14

申请人： Joseph F. BORCHARD ,  William H. WELLMAN

发明人： Joseph F. BORCHARD ,  William H. WELLMAN

IPC分类号： G01B11/26

CPC分类号： G02B27/62 ,  G02B5/08 ,  G02B7/021 ,  G02B13/0045

摘要： Various embodiments provide an optical alignment apparatus that includes a mirror structure having a plurality of mirrors, the mirror structure being configured for mounting a lens. The plurality of mirrors are arranged so as to redirect a collimated beam of radiation into the lens at different angles so as to measure one or more alignment parameter of the lens.

摘要翻译： 各种实施例提供一种光学对准装置，其包括具有多个反射镜的反射镜结构，该镜结构被配置为安装透镜。 多个反射镜被布置成将准直的辐射束以不同的角度重定向到透镜中，以便测量透镜的一个或多个对准参数。