公开(公告)号：US20050173992A1

公开(公告)日：2005-08-11

申请号：US10775720

申请日：2004-02-09

申请人： Pai Yang ,  Tim Teng ,  Kazuhiro Hirano ,  Bausan Yuan

发明人： Pai Yang ,  Tim Teng ,  Kazuhiro Hirano ,  Bausan Yuan

IPC分类号： H02K41/03 ,  H02P25/06 ,  H02K41/00 ,  H02P3/00 ,  H02P5/00

CPC分类号： H02P25/06 ,  H02K41/03 ,  H02K2201/18

摘要： A stage assembly (220) for moving a device (200) includes a stage (208), an attraction-only type actuator pair (426) that moves the stage (208), and a control system (24). In one embodiment, the actuator pair (426) includes a first electromagnet (436F), a first conductor (438F) and a first target (440F) having a first target surface (442F). The actuator pair also includes a second electromagnet (436S), a second conductor (438S) and a second target (440S) having a second target surface (442S). The first electromagnet (436F) is positioned at a first angle θ1 relative to a first target surface (442F) and the second electromagnet (436S) is positioned at a second angle θ2 relative to the second target surface (442S). The control system (24) directs a first current to one or more of the electromagnets based on at least one of the angles θ1, θ2. Further, one or more electromagnets (436) can include a first measurement point and a second measurement point. The control system (24) can direct current to the actuator pair (426) based on the relative distance between the first and second measurement points and the corresponding target surface (442).

摘要翻译： 用于移动装置（200）的平台组件（220）包括台（208），移动台（208）的仅吸引型致动器对（426）和控制系统（24）。 在一个实施例中，致动器对（426）包括具有第一目标表面（442F）的第一电磁体（436F），第一导体（438F）和第一靶（440F）。 致动器对还包括具有第二目标表面（442S）的第二电磁体（436S），第二导体（438S）和第二靶（440S）。 第一电磁体（436F）相对于第一目标表面（442F）位于第一角度θ1，并且第二电磁体（436S）位于第二角度θ 2 相对于第二目标表面（442S）。 控制系统（24）基于角度θ1，θ2 2中的至少一个将第一电流引导到一个或多个电磁体。 此外，一个或多个电磁体（436）可以包括第一测量点和第二测量点。 控制系统（24）可以基于第一和第二测量点与相应的目标表面（442）之间的相对距离将电流引导到致动器对（426）。