公开(公告)号：US20040190108A1

公开(公告)日：2004-09-30

申请号：US10401942

申请日：2003-03-27

Applicant: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.

Inventor： Chih-Chieh Yeh ,  Yuh-Hwa Chang ,  Ching-Heng Po ,  Hsin-Chieh Huang ,  Jiann-Tyng Tzeng

IPC: G02B026/00

CPC classification number: G02B26/0841

Abstract: A product comprising a micromirror comprising a reflective layer and a treatment layer overlying the reflective layer, and wherein the treatment layer comprises Ti.

Abstract translation: 一种包括微反射镜的产品，包括反射层和覆盖反射层的处理层，并且其中处理层包括Ti。