公开(公告)号：US6011627A

公开(公告)日：2000-01-04

申请号：US56457

申请日：1998-04-07

申请人： Vincent P. Mulligan ,  Robert F. Florence, Jr. ,  Charles R. Tompkins, Jr. ,  Wing-Fung Yuen

发明人： Vincent P. Mulligan ,  Robert F. Florence, Jr. ,  Charles R. Tompkins, Jr. ,  Wing-Fung Yuen

IPC分类号： G01B11/03 ,  H01L21/00 ,  G01B11/14

CPC分类号： H01L21/67259

摘要： A universal mapping tool and method for mapping workpieces, such as semiconductor devices, is disclosed and described. The tool comprises a fixed and a movable gripping means adapted to mount a wide range of workpieces, means for optically locating the physical center of the workpiece fiducials mounted on the gripping means, and means for interpreting and storing the data obtained in the mapping operation.

摘要翻译： 公开并描述了用于映射工件的通用映射工具和方法，例如半导体器件。 该工具包括适于安装大范围工件的固定和可移动夹持装置，用于光学地定位安装在夹持装置上的工件基准的物理中心的装置，以及用于解释和存储在映射操作中获得的数据的装置。