公开(公告)号：US06204549B1

公开(公告)日：2001-03-20

申请号：US09138441

申请日：1998-08-21

申请人： Guenter Igel ,  Joachim Krumrey

发明人： Guenter Igel ,  Joachim Krumrey

IPC分类号： H01L2900

CPC分类号： H01L23/62 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： The invention relates to an overvoltage protection device and to a method for fabricating such a device. A substrate (1) is provided with a first electrode layer (2), above which extends a second electrode layer (3) which is separated from the first electrode layer (2) by a distance (d) determined by the thickness of a spacing layer (4). The spacing layer (4) has an opening (5) which forms a cavity (6) between the electrode layers (2, 3).

摘要翻译： 本发明涉及一种过电压保护装置及其制造方法。 衬底（1）设置有第一电极层（2），其上延伸有第二电极层（3），第二电极层（3）与第一电极层（2）分离距离（d），距离（d）由间隔 层（4）。 间隔层（4）具有在电极层（2,3）之间形成空腔（6）的开口（5）。