公开(公告)号：US20160251795A1

公开(公告)日：2016-09-01

申请号：US14777573

申请日：2014-03-18

Applicant: XEROS LIMITED

Inventor： Simon Paul WELLS ,  Gareth Evan Lyn JONES

IPC: D06F39/08 ,  D06F37/04 ,  D06F35/00 ,  D06F39/02

CPC classification number: D06F39/083 ,  D06F21/14 ,  D06F35/00 ,  D06F35/006 ,  D06F37/04 ,  D06F37/065 ,  D06F39/02 ,  D06F58/02 ,  D06F2226/00 ,  D06F2232/00

Abstract: The invention provides an apparatus and method for use in the treatment of substrates, whereby the apparatus comprises housing means having mounted therein a rotatably mounted drum (17), access means through which said substrates may be loaded into said drum (17), and a multiplicity of solid particulate material delivery means.

Abstract translation: 本发明提供了一种用于处理基板的装置和方法，其中装置包括壳体装置，其中安装有可旋转地安装的滚筒（17），可将所述基板装载到所述滚筒（17）中的进入装置，以及 固体颗粒材料输送装置的多样性。