公开(公告)号：US20100039727A1

公开(公告)日：2010-02-18

申请号：US12192338

申请日：2008-08-15

申请人： David S. Kuo ,  Kim Y. Lee

发明人： David S. Kuo ,  Kim Y. Lee

IPC分类号： G11B5/596

CPC分类号： G11B5/02 ,  B82Y10/00 ,  G11B5/743 ,  G11B5/746 ,  G11B2005/0005

摘要： A recording system for magnetic storage devices, including a beam column for generating a beam, a platform for moving a magnetic storage medium relative to the beam, and a signal generator for sequentially, or in a continuously alternating manner, deflecting the beam. In turn, the beam is directed according to displacement of dots on the extent of the magnetic storage medium such that dots of a plurality of dot groupings can be written to on the extent during a single pass of the beam column above the extent.

摘要翻译： 用于磁存储装置的记录系统，包括用于产生光束的光束柱，用于相对于光束移动磁存储介质的平台以及用于顺序地或以连续交替的方式偏转光束的信号发生器。 反过来，光束根据磁存储介质的范围上的点的位移被引导，使得多个点分组的点可以在光束柱的单次通过高于该范围的程度上被写入。

公开(公告)号：US07506429B2

公开(公告)日：2009-03-24

申请号：US11053118

申请日：2005-02-07

申请人： Howard Gordon Zolla ,  Edward Hin Pong Lee ,  Kim Y. Lee ,  Tsann Lin ,  Chun-Ming Wang

发明人： Howard Gordon Zolla ,  Edward Hin Pong Lee ,  Kim Y. Lee ,  Tsann Lin ,  Chun-Ming Wang

IPC分类号： G11B5/127 ,  H04R31/00

CPC分类号： B82Y25/00 ,  B82Y10/00 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/313 ,  G11B5/3163 ,  G11B5/3903 ,  G11B5/3909 ,  G11B2005/3996 ,  Y10T29/49032 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49048 ,  Y10T29/49052

摘要： A magnetoresistive sensor having a well defined track width and method of manufacture thereof.

摘要翻译： 具有良好限定的轨道宽度的磁阻传感器及其制造方法。

公开(公告)号：US07413845B2

公开(公告)日：2008-08-19

申请号：US10831412

申请日：2004-04-23

申请人： Kim Y. Lee ,  Dennis Richard McKean

发明人： Kim Y. Lee ,  Dennis Richard McKean

IPC分类号： G03F7/00

CPC分类号： G03F7/405 ,  G03F7/0392 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/3163 ,  Y10T29/49021

摘要： Methods of forming a component of a thin film magnetic head and improving the plating of a component of a thin film magnetic head are provided. The methods include the use of a high activation energy chemically amplified photoresist (CARS) that is contacted with a low pH high saturation magnetic moment plating solution to form a magnetic head component that is essentially free of plating defects. The methods find utility in hard disk drive applications, such as in the manufacture of magnetic poles for the write head of a hard disk drive.

摘要翻译： 提供了形成薄膜磁头的部件并改善薄膜磁头的部件的电镀的方法。 这些方法包括使用与低pH高饱和磁矩电镀溶液接触的高活化能化学放大光致抗蚀剂（CARS），以形成基本上没有电镀缺陷的磁头组分。 该方法可用于硬盘驱动器应用，例如用于制造用于硬盘驱动器的写头的磁极。

公开(公告)号：US20080113157A1

公开(公告)日：2008-05-15

申请号：US11595894

申请日：2006-11-13

申请人： Kim Y. Lee ,  Hong Ying Wang ,  Shih-Fu Lee ,  David S. Kuo ,  Koichi Wago ,  Dieter K. Weller

发明人： Kim Y. Lee ,  Hong Ying Wang ,  Shih-Fu Lee ,  David S. Kuo ,  Koichi Wago ,  Dieter K. Weller

IPC分类号： G03F7/00 ,  B32B3/00

CPC分类号： G03F7/095 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0017 ,  Y10T428/24355

摘要： A method of fabricating a master stamper/imprinter for manufacturing a patterned recording medium by nano-imprint lithography comprises steps of: (a) providing a substrate having a surface; (b) forming a layer of a hybrid resist material on the surface, the resist layer having an exposed upper surface; (c) subjecting selected areas of the exposed upper surface of the resist layer to an energy beam to form therein a latent image of a topographical pattern to be formed in the resist layer and having a correspondence to a pattern to be formed in a patterned recording medium; and (d) developing the latent image into the topographical pattern in the resist layer, wherein only those areas of the resist layer which have received an energy beam exposure dose between a positive-tone threshold dose D0p and a negative-tone threshold dose D0n are developed.

摘要翻译： 制造用于通过纳米压印光刻制造图案化记录介质的主压模/印刷机的方法包括以下步骤：（a）提供具有表面的基板; （b）在所述表面上形成混合抗蚀剂材料层，所述抗蚀剂层具有暴露的上表面; （c）使抗蚀剂层的暴露的上表面的选定区域能量束在其中形成要在抗蚀剂层中形成的形貌图案的潜像，并且与图案化记录中形成的图案对应 中; 并且（d）将潜像显影成抗蚀剂层中的形貌图案，其中只有已经接收了能量束曝光的抗蚀剂层的那些区域剂量在正音阈值剂量D 0 P 0和 开发出负色调阈值剂量D 0n 。

公开(公告)号：US07343666B2

公开(公告)日：2008-03-18

申请号：US10881782

申请日：2004-06-30

申请人： Kim Y. Lee ,  Jyh-Shuey Jerry Lo ,  Dennis Richard McKean

发明人： Kim Y. Lee ,  Jyh-Shuey Jerry Lo ,  Dennis Richard McKean

IPC分类号： G11B5/127 ,  H04R31/00

CPC分类号： G11B5/3163 ,  G11B5/3116 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49048 ,  Y10T29/49052

摘要： In one illustrative example, a method for use in making a magnetic write head includes the steps of forming a first pole piece layer of a first pole piece; forming a patterned resist over the first pole piece layer; electroplating a pedestal over the first pole piece layer within a channel of the patterned resist; electroplating a metal gap layer over the pedestal within the channel of the patterned resist; forming a resist channel shrinking film over the patterned resist; baking the resist channel shrinking film over the patterned to thereby reduce a width of the channel; removing the resist channel shrinking film; electroplating a second pole piece within the reduced-width channel of the patterned resist; removing the patterned resist; and milling the pedestal, using the second pole piece as a mask, to form a central notched pedestal having side walls with angled slopes.

摘要翻译： 在一个说明性示例中，用于制造磁写头的方法包括以下步骤：形成第一极片的第一极片层; 在所述第一极片层上形成图案化抗蚀剂; 在图案化的抗蚀剂的通道内的第一极片层上电镀一个基座; 在图案化的抗蚀剂的通道内的基座上方电镀金属间隙层; 在图案化的抗蚀剂上形成抗蚀剂通道收缩膜; 在图案上烘烤抗蚀剂通道收缩膜，从而减小通道的宽度; 去除抗蚀剂通道收缩膜; 在图案化的抗蚀剂的减小宽度的通道内电镀第二极片; 去除图案化的抗蚀剂; 并使用第二极片作为掩模铣削基座，以形成具有倾斜斜面的侧壁的中心凹口底座。

公开(公告)号：US07211195B2

公开(公告)日：2007-05-01

申请号：US10633765

申请日：2003-08-04

申请人： Marie-Claire Cyrille ,  Kim Y. Lee ,  Jui-Lung Li ,  Chun-Ming Wang

发明人： Marie-Claire Cyrille ,  Kim Y. Lee ,  Jui-Lung Li ,  Chun-Ming Wang

IPC分类号： B44C1/22

CPC分类号： G11B5/3906

摘要： A method for providing a liftoff process using a single layer resist and chemical mechanical polishing and sensor formed therewith are disclosed. Chemical mechanical polishing is combined with liftoff using only a single resist layer to allow the removal of leftover fencing on the side of a lifted resist pattern.

摘要翻译： 公开了一种使用单层抗蚀剂提供剥离工艺的方法和由其形成的化学机械抛光和传感器。 化学机械抛光与仅使用单个抗蚀剂层的剥离相结合，以允许在提升的抗蚀剂图案侧面去除剩余的栅栏。

公开(公告)号：US07186348B2

公开(公告)日：2007-03-06

申请号：US10882883

申请日：2004-06-30

申请人： Tsung Yuan Chen ,  David Patrick Druist ,  Quang Le ,  Kim Y. Lee ,  Chun-Ming Wang ,  Howard Gordon Zolla

发明人： Tsung Yuan Chen ,  David Patrick Druist ,  Quang Le ,  Kim Y. Lee ,  Chun-Ming Wang ,  Howard Gordon Zolla

IPC分类号： G11B5/187

CPC分类号： G11B5/3163 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3116 ,  Y10T29/49032

摘要： A method for fabricating a magnetic head with a trapezoidal shaped pole piece tip is described. The body of the main pole piece is deposited, then one or more layers for the pole piece tip are deposited. A bed material is deposited over the pole piece tip material. A void is formed in the bed material over the area for the pole piece tip. The void is filled with an ion-milling resistant material such as alumina preferably using atomic layer deposition or atomic layer chemical vapor deposition. The excess ion-milling resistant material and the bed material are removed. The result is an ion-milling mask formed over the area for the pole piece tip. Ion milling is then used to remove the unmasked material in the pole piece tip layer and to form a beveled pole piece tip and preferably a beveled face on the main pole piece.

摘要翻译： 描述了制造具有梯形极片尖端的磁头的方法。 沉积主极片的主体，然后沉积用于极片尖端的一个或多个层。 床材料沉积在极片末端材料上。 在用于极片尖端的区域上的床材料中形成空隙。 空隙填充有耐离子碾磨材料，例如氧化铝，优选使用原子层沉积或原子层化学气相沉积。 除去过量的抗离子碾磨材料和床料。 结果是在极片尖端的区域上形成离子铣削掩模。 然后使用离子铣削去除极片末端层中的未掩模材料，并且在主极片上形成斜面极片末端，并且优选地形成斜面。

公开(公告)号：US07133263B2

公开(公告)日：2006-11-07

申请号：US10323339

申请日：2002-12-17

申请人： Edward Hin Pong Lee ,  Kim Y. Lee ,  Tsann Lin

发明人： Edward Hin Pong Lee ,  Kim Y. Lee ,  Tsann Lin

IPC分类号： G11B5/33 ,  G11B5/127

CPC分类号： G11B5/3906 ,  Y10T29/49021 ,  Y10T29/49048

摘要： A self aligned magnetoresistive sensor having a narrow and well defined track width and method of manufacture thereof.

摘要翻译： 具有窄且良好限定的轨道宽度的自对准磁阻传感器及其制造方法。

公开(公告)号：US07086139B2

公开(公告)日：2006-08-08

申请号：US10836136

申请日：2004-04-30

申请人： Kim Y. Lee ,  Jyh-Shuey Jerry Lo

发明人： Kim Y. Lee ,  Jyh-Shuey Jerry Lo

IPC分类号： G11B5/127 ,  G11B5/187

CPC分类号： G11B5/1878 ,  Y10T29/49021 ,  Y10T29/49032 ,  Y10T29/49039 ,  Y10T29/49041 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49052

摘要： A pedestal is formed over a first pole piece layer and insulator materials are formed to surround it. A gap layer made of a non-magnetic insulator or metal is then formed over the pedestal and the insulator, followed by the optional formation of a seed layer. A second pole piece is formed over the gap layer with or without the seed layer by forming a patterned resist using E-beam lithography and electroplating second pole piece materials within the patterned resist. After milling to remove side portions of the gap layer and the optional seed layer, a chemical etch is performed to remove a top portion of the insulator materials. The pedestal is then notched and trimmed by ion milling using the second pole piece as a mask to form a central notched structure. Since the second pole piece is precisely centered over the pedestal prior to notching, the pedestal is notched symmetrically to form a notched structure having side walls with angled slopes.

摘要翻译： 在第一极片层上形成基座，并且形成绝缘体材料以围绕它。 然后在基座和绝缘体上形成由非磁性绝缘体或金属制成的间隙层，随后可选地形成种子层。 通过在图案化的抗蚀剂内使用电子束光刻和电镀第二极片材料形成图案化的抗蚀剂，形成具有或不具有种子层的间隙层上的第二极片。 在研磨以除去间隙层和任选种子层的侧面部分之后，进行化学蚀刻以去除绝缘体材料的顶部。 然后通过使用第二极片作为掩模的离子铣削将基座切口并修整以形成中心的切口结构。 由于第二极靴在开槽之前精确地位于基座上方，因此基座被对称地切口以形成具有斜边的侧壁的凹口结构。

公开(公告)号：US06220914B1

公开(公告)日：2001-04-24

申请号：US09449201

申请日：1999-11-24

申请人： Kim Y. Lee ,  Tai-Hon Philip Chang ,  Marian Mankos ,  C. Neil Berglund

发明人： Kim Y. Lee ,  Tai-Hon Philip Chang ,  Marian Mankos ,  C. Neil Berglund

IPC分类号： H01J902

CPC分类号： H01J37/3174 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/70375 ,  H01J1/34 ,  H01J37/073 ,  H01J2237/31779

摘要： A photocathode having a gate electrode so that modulation of the resulting electron beam is accomplished independently of the laser beam. The photocathode includes a transparent substrate, a photoemitter, and an electrically separate gate electrode surrounding an emission region of the photoemitter. The electron beam emission from the emission region is modulated by voltages supplied to the gate electrode. In addition, the gate electrode may have multiple segments that are capable of shaping the electron beam in response to voltages supplied individually to each of the multiple segments.

摘要翻译： 具有栅极的光电阴极，使得所得电子束的调制独立于激光束而实现。 光电阴极包括透明基板，光电发射器和围绕发光体的发射区域的电分离的栅电极。 来自发射区域的电子束发射由供给栅电极的电压调制。 此外，栅电极可以具有多个段，其能够响应于单独提供给多个段中的每一个的电压而使电子束成形。