公开(公告)号：US06669810B1

公开(公告)日：2003-12-30

申请号：US09172289

申请日：1998-10-14

申请人： Toshiya Miyazaki ,  Toshihiro Hayami ,  Tadao Nakatsuka ,  Hiroyuki Tanaka ,  Toshiyuki Nakamura

发明人： Toshiya Miyazaki ,  Toshihiro Hayami ,  Tadao Nakatsuka ,  Hiroyuki Tanaka ,  Toshiyuki Nakamura

IPC分类号： C23F100

CPC分类号： B24B37/013 ,  H01J37/32935 ,  H01J37/32963 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/67253 ,  H01L22/26

摘要： A method for detecting an etching endpoint and a plasma etching apparatus and a plasma etching system using such a device are disclosed, in which time series data of a signal corresponding to the amount of light of the plasma light generated during the plasma etching process are arithmetically processed, so that the change of light amount is corrected and an etching endpoint is detected from the time series data after the correction.

摘要翻译： 公开了一种用于检测蚀刻终点的方法和使用这种器件的等离子体蚀刻装置和等离子体蚀刻系统，其中对应于在等离子体蚀刻工艺期间产生的等离子体光的光的信号的时间序列数据是算术的 对光量的变化进行校正，并根据校正后的时间序列数据来检测蚀刻终点。

公开(公告)号：US6149761A

公开(公告)日：2000-11-21

申请号：US472879

申请日：1999-12-28

申请人： Toshiya Miyazaki ,  Toshihiro Hayami ,  Tadao Nakatsuka ,  Hiroyuki Tanaka ,  Toshiyuki Nakamura

发明人： Toshiya Miyazaki ,  Toshihiro Hayami ,  Tadao Nakatsuka ,  Hiroyuki Tanaka ,  Toshiyuki Nakamura

IPC分类号： H01J37/32 ,  H01L21/00 ,  H01L21/66 ,  C23F1/02

CPC分类号： B24B37/013 ,  H01J37/32935 ,  H01J37/32963 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/67253 ,  H01L22/26

摘要： A method for detecting an etching endpoint and a plasma etching apparatus and a plasma etching system using such a device are disclosed, in which time series data of a signal corresponding to the amount of light of the plasma light generated during the plasma etching process are arithmetically processed, so that the change of light amount is corrected and an etching endpoint is detected from the time series data after the correction.

摘要翻译： 公开了一种用于检测蚀刻终点的方法和使用这种器件的等离子体蚀刻装置和等离子体蚀刻系统，其中对应于在等离子体蚀刻工艺期间产生的等离子体光的光的信号的时间序列数据是算术的 对光量的变化进行校正，并根据校正后的时间序列数据来检测蚀刻终点。

公开(公告)号：US5946702A

公开(公告)日：1999-08-31

申请号：US857266

申请日：1997-05-16

申请人： Toshiya Miyazaki

发明人： Toshiya Miyazaki

IPC分类号： G06F13/00 ,  G06F17/21 ,  G06F17/28

CPC分类号： G06F17/211 ,  B41B27/00 ,  G06F17/218 ,  H03M7/30

摘要： There is provided a document information transmitting apparatus and a document information receiving apparatus in a communication system having the document information transmitting apparatus for transmitting document information and the document information receiving apparatus for receiving and displaying document information, said document information transmitting apparatus and said document information receiving apparatus being connected to each other through a communication line, and a document information processing apparatus for processing document information regardless of the fact that the document information processing apparatus constitutes communication systems. At the transmitter end, a simplification possible character string is detected from among document information, and a control statement is inserted into the document information in association with the detected simplification possible character string. At the receiver end, simplified statements are generated and displayed referring to the control statement.

摘要翻译： 在具有用于发送文档信息的文档信息发送装置和用于接收和显示文档信息的文档信息接收装置，所述文档信息发送装置和所述文档信息的通信系统中提供文档信息发送装置和文档信息接收装置 通过通信线路彼此连接的接收设备，以及用于处理文档信息的文档信息处理设备，而不管文档信息处理设备构成通信系统的事实。 在发送端，从文档信息中检测出可简化的字符串，并且将控制语句与检测到的简化可能的字符串相关联地插入到文档信息中。 在接收端，使用控制语句生成并显示简化的语句。