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    Fuzzy reasoning model for semiconductor process fault detection using wafer acceptance test data
    31.
    发明申请
    Fuzzy reasoning model for semiconductor process fault detection using wafer acceptance test data 失效
    使用晶圆验收测试数据进行半导体工艺故障检测的模糊推理模型

    公开(公告)号：US20050137736A1

    公开(公告)日：2005-06-23

    申请号：US10739857

    申请日：2003-12-18

    申请人： Shuo-Huei Lin ,  Ruenn-Sheng Peng ,  Yi-Ju Chen ,  K.R. Hsiao

    发明人： Shuo-Huei Lin ,  Ruenn-Sheng Peng ,  Yi-Ju Chen ,  K.R. Hsiao

    IPC分类号： G05B23/02 ,  G06F19/00 ,  H01L21/00

    CPC分类号： H01L21/67253 ,  G05B23/0281 ,  G05B2219/1112 ,  G05B2223/02

    摘要： System and method for detecting suspicious process faults. A preferred embodiment comprises determining a strength relationship between wafer acceptance test (WAT) parameters and process steps. The strength relationships indicate the affect of a failed process step on the value of a WAT parameter. Thus, if a WAT parameter is not within the parameters set in the WAT, then the suspicious process steps that caused the failure are the process steps that had a strength relationship with the failed WAT parameter. Furthermore, in a preferred embodiment, negative inferences are determined and utilized to determine a degree of suspiciousness. The degree of suspiciousness is used to determine a total degree of suspiciousness.

    摘要翻译： 检测可疑过程故障的系统和方法。 优选实施例包括确定晶片接受测试（WAT）参数和处理步骤之间的强度关系。 强度关系表示失败的过程步骤对WAT参数的值的影响。 因此，如果WAT参数不在WAT中设置的参数内，则导致失败的可疑进程步骤是与失败的WAT参数具有强度关系的进程步骤。 此外，在优选实施例中，确定并利用负推论来确定可疑程度。 怀疑程度用于确定总体怀疑程度。