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1.发明授权Ellipsometer or polarimeter and the like system with multiple detector element detector in environmental control chamber including secure sample access 有权椭圆光度计或偏振计等具有环境控制室中多个检测器元件检测器的系统，包括安全的样品存取公开(公告)号：US07253900B1
公开(公告)日：2007-08-07
申请号：US10962353
申请日：2004-10-09
IPC分类号： G01J4/00
CPC分类号： G01J4/04 , G01J3/0286 , G01J3/0294 , G01N21/211 , G01N2021/213
摘要： A spectrophotometer, ellipsometer or polarimeter or the like system with a spectroscopic source of wavelengths and a detector with multiple detector elements for simultaneous monitoring of a number of wavelengths in an environmental control chamber which optionally provides for secured sample entry, and methodology of use.
摘要翻译： 分光光度计，椭偏仪或偏振计等具有波长光谱源的系统和具有多个检测器元件的检测器，用于同时监测环境控制室中的多个波长，其可选地提供安全的样品入口和使用方法。
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2.发明授权Non-destructive approach to ellipsometric monitoring of a film coating on the inner surface of a tube shaped sample 有权在管状样品的内表面上的薄膜涂层的椭圆测量的非破坏性方法公开(公告)号：US07768660B1
公开(公告)日：2010-08-03
申请号：US11897401
申请日：2007-08-30
IPC分类号： G01J4/00
CPC分类号： G01N21/211 , G01N21/55
摘要： Disclosed is the use of a focused electromagnetic beam which is caused to impinge on the top surface of a tube shaped sample, to investigate a film coating on its inner surface during fabrication thereof and/or thereafter.
摘要翻译： 公开了使用被聚焦的电磁束撞击在管状样品的顶表面上，以在其制造期间和/或之后研究其内表面上的膜涂层。
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公开(公告)号：US07385697B2
公开(公告)日：2008-06-10
申请号：US10849740
申请日：2004-05-20
申请人： John A. Woollam , Corey L. Bungay , Thomas E. Tiwald , Martin M. Liphardt , Ronald A. Synowicki , Gregory K. Pribil , Craig M. Herzinger , Blaine D. Johs , James N. Hilfiker
发明人： John A. Woollam , Corey L. Bungay , Thomas E. Tiwald , Martin M. Liphardt , Ronald A. Synowicki , Gregory K. Pribil , Craig M. Herzinger , Blaine D. Johs , James N. Hilfiker
IPC分类号： G01J4/00
CPC分类号： G01N21/211 , G01N2021/213
摘要： Simultaneous use of wavelengths in at least two ranges selected from RADIO, MICRO, FIR, IR, NIR-VIS-NUV, UV, DUV, VUV EUV, XRAY in a regression procedure to evaluate parameters in mathematical dispersion structures to model dielectric functions.
摘要翻译： 在回归过程中同时使用从RADIO，MICRO，FIR，IR，NIR-VIS-NUV，UV，DUV，VUV EUV，XRAY中选择的至少两个范围的波长，以评估数学色散结构中的参数以建模介电函数。
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4.发明授权Accurate determination of refractive indices of solid, fluid and liquid materials 有权准确测定固体，流体和液体材料的折射率公开(公告)号：US07280194B1
公开(公告)日：2007-10-09
申请号：US11000490
申请日：2004-11-30
IPC分类号： G01N21/41
CPC分类号： G01N21/4133
摘要： Systems and methodology for determining not only precise and repeatable results, but accurate values of the refractive index of solids, fluids and liquids.
摘要翻译： 不仅确定精确和可重复的结果，而且确定固体，流体和液体的折射率的准确值的系统和方法。
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5.发明授权公开(公告)号：US07167241B1
公开(公告)日：2007-01-23
申请号：US10884718
申请日：2004-07-04
申请人： Blaine D. Johs , Gregory K. Pribil
发明人： Blaine D. Johs , Gregory K. Pribil
CPC分类号： G01B11/0641 , G01N21/211
摘要： Determination of thin metal film dielectric function and layer thicknesses using simultaneous transmission spectroscopic ellipsometric (SE) and transmission intensity (T) measurements obtained in-situ to break correlation between thickness and optical constants of very thin absorbing films, preferably using only A.C. Components of ellipsometric and intensity characterizing electromagnetic radiation which transmits through said substrate and enters a detector.
摘要翻译： 使用现场获得的同时透射光谱椭偏（SE）和透射强度（T）测量来确定薄金属膜介电函数和层厚度，以破坏非常薄的吸收膜的厚度和光学常数之间的相关性，优选仅使用椭圆的交流分量 以及表征通过所述衬底并进入检测器的电磁辐射的强度。
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