公开(公告)号：US08853805B2

公开(公告)日：2014-10-07

申请号：US13169987

申请日：2011-06-27

Applicant: Jayhoon Chung ,  Catherine Beth Vartuli ,  Guoda Lian

Inventor： Jayhoon Chung ,  Catherine Beth Vartuli ,  Guoda Lian

IPC: G01L1/00 ,  G01P15/08 ,  H01L27/14 ,  H01L21/66 ,  G01B15/06 ,  G01B7/16

CPC classification number: G01B7/16 ,  G01B15/06 ,  H01L22/12 ,  H01L22/34

Abstract: A test structure for measuring strain in the channel of transistors. A method of correlating transistor performance with channel strain.

Abstract translation: 用于测量晶体管通道中的应变的测试结构。 一种使晶体管性能与通道应变相关的方法。

公开(公告)号：US20120325009A1

公开(公告)日：2012-12-27

申请号：US13169987

申请日：2011-06-27

Applicant: Jayhoon CHUNG ,  Catherine Beth VARTULI ,  Guoda LIAN

Inventor： Jayhoon CHUNG ,  Catherine Beth VARTULI ,  Guoda LIAN

IPC: H01L23/544 ,  G01B7/16

CPC classification number: G01B7/16 ,  G01B15/06 ,  H01L22/12 ,  H01L22/34

Abstract: A test structure for measuring strain in the channel of transistors. A method of correlating transistor performance with channel strain.

Abstract translation: 用于测量晶体管通道中的应变的测试结构。 一种使晶体管性能与通道应变相关的方法。

公开(公告)号：US20110084209A1

公开(公告)日：2011-04-14

申请号：US12901069

申请日：2010-10-08

Applicant: Jayhoon CHUNG ,  Guoda LIAN

Inventor： Jayhoon CHUNG ,  Guoda LIAN

IPC: G01N23/00

CPC classification number: G01N23/20058

Abstract: Lattice strain is reproducibly measured using geometric phase analysis (GPA) of a high angle annular dark field mode scanning transmission electron microscope (HAADF-STEM). Errors caused by beam shift (also known as fly-back error) between scan lines are eliminated.

Abstract translation: 使用高角度环形暗场模式扫描透射电子显微镜（HAADF-STEM）的几何相位分析（GPA）可重复地测量晶格应变。 消除了由扫描线之间的波束偏移引起的误差（也称为回扫误差）。