公开(公告)号：US09236229B2

公开(公告)日：2016-01-12

申请号：US13193914

申请日：2011-07-29

申请人： Hideo Eto ,  Rikyu Ikariyama ,  Makoto Saito ,  Sachiyo Ito

发明人： Hideo Eto ,  Rikyu Ikariyama ,  Makoto Saito ,  Sachiyo Ito

IPC分类号： H01J37/02 ,  H01J37/32 ,  C23C16/509 ,  C23C16/455

CPC分类号： H01J37/32449 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/5096 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32477 ,  H01J37/32495 ,  Y10T137/87169

摘要： According to one embodiment, a gas supply member is provided with a gas supply passage including a gas flow channel with a first diameter, and an exhaust port connected to one end portion of the gas flow channel and provided to a surface of a downstream side of the gas supply member. An yttria-containing film is formed on a surface constituting the exhaust port and the surface of the downstream side of the gas supply member. At least a part of the surface constituting the exhaust port is formed with a curved surface.

摘要翻译： 根据一个实施例，气体供应构件设置有气体供给通道，该气体供给通道包括具有第一直径的气体流动通道和连接到气体流动通道的一个端部的排气口，并且设置在下游侧的表面 气体供给部件。 在构成排气口的表面和气体供给构件的下游侧的表面上形成含有氧化钇的膜。 构成排气口的表面的至少一部分形成有曲面。

公开(公告)号：US08833388B2

公开(公告)日：2014-09-16

申请号：US13416349

申请日：2012-03-09

申请人： Hideo Eto ,  Makoto Saito ,  Nobuyasu Nishiyama

发明人： Hideo Eto ,  Makoto Saito ,  Nobuyasu Nishiyama

IPC分类号： F16K31/02 ,  H01L21/67 ,  G05D16/20

CPC分类号： H01L21/67253 ,  G05D16/202 ,  Y10T137/1624 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/87917 ,  Y10T137/87925

摘要： According to one embodiment, there is provided pressure controlling apparatus including a detecting unit, an exhaust pipe, a regulating valve, and a pressure controlling unit. The regulating valve includes a valve port, a changing unit, and a slide valve. The valve port is communicated with the exhaust pipe. The changing unit changes a shape of the valve port to a different shape whose center is located near the central axis of the exhaust pipe. The slide valve regulates an opening degree of the valve port changed by the changing unit. The pressure controlling unit controls changing of a shape of the valve port by the changing unit and regulation of an opening degree of the valve port by the slide valve.

摘要翻译： 根据一个实施例，提供了一种压力控制装置，包括检测单元，排气管，调节阀和压力控制单元。 调节阀包括阀口，更换单元和滑阀。 阀口与排气管连通。 改变单元将阀口的形状改变成其中心位于排气管的中心轴线附近的不同形状。 滑阀调节由改变单元改变的阀口的开度。 压力控制单元通过改变单元控制阀口的形状的变化，并且通过滑阀调节阀口的开度。

公开(公告)号：US20130008603A1

公开(公告)日：2013-01-10

申请号：US13422366

申请日：2012-03-16

申请人： Hideo Eto ,  Nobuyasu Nishiyama ,  Makoto Saito ,  Junko Ouchi

发明人： Hideo Eto ,  Nobuyasu Nishiyama ,  Makoto Saito ,  Junko Ouchi

IPC分类号： H01B11/18 ,  C23C16/52 ,  C23C16/509 ,  B44C1/22 ,  H05H1/24

CPC分类号： H01J37/32577 ,  H01B11/1856 ,  H01B11/1882

摘要： According to one embodiment, there is provided a coaxial cable that transmits radio frequency power. The coaxial cable includes an inner tube, an outer tube, and an insulating support member. The inner tube is made of a conductor. The outer tube is disposed outside the inner tube coaxially with the inner tube and is made of a conductor. The insulating support member is disposed between the inner tube and the outer tube. Cooling gas flows into at least one of a first space inside the inner tube and a second space between the inner tube and the outer tube.

摘要翻译： 根据一个实施例，提供了一种传输射频功率的同轴电缆。 同轴电缆包括内管，外管和绝缘支撑构件。 内管由导体制成。 外管与内管同轴配置在内管的外侧，由导体构成。 绝缘支撑构件设置在内管和外管之间。 冷却气体流入内管内的第一空间和内管与外管之间的第二空间中的至少一个。

公开(公告)号：US20120247667A1

公开(公告)日：2012-10-04

申请号：US13232232

申请日：2011-09-14

申请人： Hisashi HASHIGUCHI ,  Hideo Eto ,  Makoto Saito

发明人： Hisashi HASHIGUCHI ,  Hideo Eto ,  Makoto Saito

IPC分类号： H01L21/3065

CPC分类号： H01L21/68735 ,  H01J37/32477 ,  H01J37/32715 ,  H01L21/68757

摘要： According to an embodiment, a plasma treatment apparatus includes a processing target holding unit and a plasma generation unit in a chamber. The processing target holding unit includes a supporting table on which a wafer is mounted, a ring-shaped insulator ring arranged at an outer periphery of the supporting table, and a protective film containing yttria for covering a side surface section and an upper surface section of the insulator ring. The protective film is formed thicker on the upper surface section than on the side surface section of the insulator ring.

摘要翻译： 根据实施例，等离子体处理装置包括处理对象保持单元和室中的等离子体产生单元。 处理对象保持单元包括安装有晶片的支撑台，布置在支撑台的外周的环状绝缘体环，以及包含用于覆盖侧表面部分和上表面部分的氧化钇的保护膜 绝缘子环。 保护膜在上表面部分比在绝缘体环的侧表面部分形成得更厚。

公开(公告)号：US20120040132A1

公开(公告)日：2012-02-16

申请号：US13208896

申请日：2011-08-12

申请人： Hideo ETO ,  Makoto Saito

发明人： Hideo ETO ,  Makoto Saito

IPC分类号： B32B3/10 ,  B32B3/00 ,  C23C28/00 ,  C22C21/00 ,  C23F1/00 ,  B05D5/12

CPC分类号： C23C28/023 ,  B32B15/016 ,  C22C21/00 ,  C22C21/02 ,  C22F1/04 ,  C23C28/021 ,  C23C30/00 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32477 ,  H01J37/32495 ,  Y10T428/24273 ,  Y10T428/24479

摘要： According to one embodiment, a protective film formed on a component in a plasma treatment apparatus and having a plasma resistance includes a base film formed on the component and having a concave-convex structure, and an upper film formed on the base film to cover the concave-convex structure.

摘要翻译： 根据一个实施例，形成在等离子体处理装置中的具有等离子体电阻的部件上的保护膜包括形成在部件上并具有凹凸结构的基膜，以及形成在基膜上的上膜，以覆盖 凹凸结构。

公开(公告)号：US06903815B2

公开(公告)日：2005-06-07

申请号：US10302685

申请日：2002-11-22

申请人： Kenichi Uchiyama ,  Ichiro Tono ,  Hideo Eto ,  Miki Nagatomo

发明人： Kenichi Uchiyama ,  Ichiro Tono ,  Hideo Eto ,  Miki Nagatomo

IPC分类号： A61B5/00 ,  C12Q1/00 ,  G01N21/77 ,  G01N21/78 ,  G01N33/543 ,  G01N33/28 ,  G01J3/00 ,  G02B6/00

CPC分类号： G01N21/7703 ,  A61B5/14525 ,  A61B5/14532 ,  A61B5/1455 ,  A61B2562/12 ,  C12Q1/006 ,  G01N21/78 ,  G01N33/54373 ,  G01N2021/7709 ,  G01N2021/773 ,  G01N2021/7779 ,  G01N2021/7783

摘要： An optical waveguide sensor for glucose measurement comprises a substrate, a first optical waveguide layer formed on a surface of the substrate, an entrance grating and an exit grating which are formed contacting with the first optical waveguide layer and being spaced from each other, a second optical waveguide layer located between the entrance grating and the exit grating while being in contact with the first optical waveguide layer, the second optical waveguide layer having a higher refractive index that that of the first optical waveguide layer, and a functioning layer containing an enzyme and a coloring reagent which is formed on the second optical waveguide layer.

摘要翻译： 一种用于葡萄糖测量的光波导传感器包括基板，形成在基板的表面上的第一光波导层，与第一光波导层接触形成并彼此分开的入射光栅和出射光栅，第二 光波导层位于入射光栅和出射光栅之间，同时与第一光波导层接触，第二光波导层具有比第一光波导层更高的折射率和包含酶的功能层， 形成在第二光波导层上的着色试剂。

公开(公告)号：US20050084909A1

公开(公告)日：2005-04-21

申请号：US10928319

申请日：2004-08-30

申请人： Kenichi Uchiyama ,  Kayoko Oomiya ,  Isao Kishimoto ,  Masami Hirata ,  Hideo Eto ,  Ichiro Tono ,  Ikuo Uematsu

发明人： Kenichi Uchiyama ,  Kayoko Oomiya ,  Isao Kishimoto ,  Masami Hirata ,  Hideo Eto ,  Ichiro Tono ,  Ikuo Uematsu

IPC分类号： C12M1/34 ,  C12Q1/68 ,  G01N33/53 ,  G01N33/543 ,  G01N33/58

CPC分类号： G01N33/581 ,  G01N33/54306

摘要： An antigen measuring device has an antibody chip. The antibody chip has a substrate. A pair of gratings are formed on the substrate. An antibody-fixed layer surrounded by a wall is formed between the gratings. A light emitting element emits a light beam toward the first grating. A light receiving element receives the light beam which propagates through the substrate under the antibody-fixed layer and is outputfrom the second grating.

摘要翻译： 抗原测定装置具有抗体芯片。 抗体芯片具有底物。 在基板上形成一对光栅。 在光栅之间形成由壁包围的抗体固定层。 发光元件朝向第一光栅发射光束。 光接收元件接收在抗体固定层下传播通过衬底并从第二光栅输出的光束。

公开(公告)号：US20120037596A1

公开(公告)日：2012-02-16

申请号：US13193914

申请日：2011-07-29

申请人： Hideo ETO ,  Rikyu Ikariyama ,  Makoto Saito ,  Sachiyo Ito

发明人： Hideo ETO ,  Rikyu Ikariyama ,  Makoto Saito ,  Sachiyo Ito

IPC分类号： C23F1/00 ,  C23C16/40 ,  F15D1/00 ,  B05D1/36 ,  C23C16/44 ,  B05D7/22 ,  B05D1/02 ,  B05D1/06

CPC分类号： H01J37/32449 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/5096 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32477 ,  H01J37/32495 ,  Y10T137/87169

摘要： According to one embodiment, a gas supply member is provided with a gas supply passage including a gas flow channel with a first diameter, and an exhaust port connected to one end portion of the gas flow channel and provided to a surface of a downstream side of the gas supply member. An yttria-containing film is formed on a surface constituting the exhaust port and the surface of the downstream side of the gas supply member. At least a part of the surface constituting the exhaust port is formed with a curved surface.

摘要翻译： 根据一个实施例，气体供应构件设置有气体供给通道，该气体供给通道包括具有第一直径的气体流动通道和连接到气体流动通道的一个端部的排气口，并且设置在下游侧的表面 气体供给部件。 在构成排气口的表面和气体供给构件的下游侧的表面上形成含有氧化钇的膜。 构成排气口的表面的至少一部分形成有曲面。

公开(公告)号：US20120000887A1

公开(公告)日：2012-01-05

申请号：US13171990

申请日：2011-06-29

申请人： Hideo Eto ,  Makoto Saito ,  Keiji Suzuki ,  Nobuyasu Nishiyama

发明人： Hideo Eto ,  Makoto Saito ,  Keiji Suzuki ,  Nobuyasu Nishiyama

IPC分类号： C23F1/00 ,  C23F1/08

CPC分类号： H01J37/321 ,  H01J37/32183 ,  H01J37/32935

摘要： According to one embodiment, there is provided a plasma treatment apparatus including an electrode, a first power supply circuit, a plasma generating unit, a second power supply circuit, a sensing unit, and a control unit. The electrode is arranged inside a treatment chamber. On the electrode, a substrate to be treated is placed. The first power supply circuit supplies power to the electrode. The plasma generating unit generates plasma in a space separated from the electrode inside the treatment chamber. The second power supply circuit supplies power to the plasma generating unit. The sensing unit senses a parameter output from the first power supply circuit. The control unit controls power supplied from the second power supply circuit so that the parameter sensed by the sensing unit becomes close to or substantially equal to a target value.

摘要翻译： 根据一个实施例，提供了一种等离子体处理装置，其包括电极，第一电源电路，等离子体产生单元，第二电源电路，感测单元和控制单元。 电极设置在处理室内。 在电极上放置待处理的基板。 第一电源电路为电极供电。 等离子体生成单元在与处理室内部的电极分离的空间中产生等离子体。 第二电源电路向等离子体发生单元供电。 感测单元感测从第一电源电路输出的参数。 控制单元控制从第二电源电路提供的电力，使得由感测单元感测的参数变得接近或基本上等于目标值。

公开(公告)号：US07678567B2

公开(公告)日：2010-03-16

申请号：US10899266

申请日：2004-07-26

申请人： Ikuo Uematsu ,  Ichiro Tono ,  Kayoko Oomiya ,  Hideo Eto

发明人： Ikuo Uematsu ,  Ichiro Tono ,  Kayoko Oomiya ,  Hideo Eto

IPC分类号： C12M1/34 ,  C12M3/00

CPC分类号： C12Q1/00 ,  C12Q1/28 ,  C12Q1/54 ,  G01N21/7703 ,  G01N21/78

摘要： An optical biosensor has a total reflection plate so as to totally internally reflect and transmit an incident light, a first grating and a second grating disposed separately on the total reflection plate, and a sensing membrane that is containing an enzyme and a chromogenic reagent and is sandwiched by the first and second gratings on the total reflection plate.

摘要翻译： 光学生物传感器具有全反射板，以全反射和透射入射光，第一光栅和第二光栅分别设置在全反射板上，以及传感膜，其包含酶和显色试剂，并且是 夹在全反射板上的第一和第二光栅。