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    POSITION FEEDBACK FOR SELF BEARING MOTOR
    1.
    发明申请
    POSITION FEEDBACK FOR SELF BEARING MOTOR 审中-公开
    自轴承电机的位置反馈

    公开(公告)号：US20110025310A1

    公开(公告)日：2011-02-03

    申请号：US12901146

    申请日：2010-10-08

    申请人： Jairo Moura ,  Martin Hosek ,  Jay Krishnasamy ,  Jeff Paranay

    发明人： Jairo Moura ,  Martin Hosek ,  Jay Krishnasamy ,  Jeff Paranay

    IPC分类号： G01D5/12

    CPC分类号： G01D5/147 ,  G01D5/2451

    摘要： A sensing mechanism includes a magnetic source, a magnetic flux sensor, a sensor backing on which the magnetic source and flux sensor are mounted, and a ferromagnetic target, where the magnetic source, magnetic flux sensor, and ferromagnetic target are positioned to form a magnetic circuit from the magnetic source to the target, from the target to the sensor, and returning to the magnetic source through the sensor backing.

    摘要翻译： 感测机构包括磁源，磁通量传感器，安装有磁源和磁通传感器的传感器背衬和铁磁目标，其中磁源，磁通量传感器和铁磁性靶位于其上以形成磁性 从磁源到目标的电路，从目标到传感器，并通过传感器背衬返回到磁源。

    Motor stator with lift capability and reduced cogging characteristics
    3.
    发明授权
    Motor stator with lift capability and reduced cogging characteristics 有权
    电机定子具有提升能力和减少的齿槽特性

    公开(公告)号：US08659205B2

    公开(公告)日：2014-02-25

    申请号：US12163993

    申请日：2008-06-27

    申请人： Jairo Moura ,  Jay Krishnasamy ,  Martin Hosek

    发明人： Jairo Moura ,  Jay Krishnasamy ,  Martin Hosek

    IPC分类号： H02K1/14 ,  H02K1/16 ,  H02K1/27

    CPC分类号： H02K29/03 ,  H02K7/09

    摘要： A motor includes a stator and a rotor, equipped to be movable in at least a first direction relative to the stator, the rotor operably interfacing the stator so that a motor force is generated in a first direction, where the stator comprises an anti-cogging element configured to generate anti-cogging forces on the rotor in at least the first direction and a second direction at an angle to the first direction.

    摘要翻译： 电动机包括定子和转子，其被配置为能够相对于定子在至少第一方向上移动，转子可操作地连接定子，使得在第一方向上产生电动机的力，其中定子包括抗齿槽 元件，其构造成在至少第一方向和与第一方向成一定角度的第二方向上在转子上产生抗齿槽力。

    INTELLIGENT CONDITION MONITORING AND FAULT DIAGNOSTIC SYSTEM FOR PREVENTATIVE MAINTENANCE
    4.
    发明申请
    INTELLIGENT CONDITION MONITORING AND FAULT DIAGNOSTIC SYSTEM FOR PREVENTATIVE MAINTENANCE 有权
    用于预防性维护的智能状况监测和故障诊断系统

    公开(公告)号：US20110173496A1

    公开(公告)日：2011-07-14

    申请号：US13008559

    申请日：2011-01-18

    申请人： Martin Hosek ,  Jay Krishnasamy ,  Jan Prochazka

    发明人： Martin Hosek ,  Jay Krishnasamy ,  Jan Prochazka

    IPC分类号： G06F11/277

    CPC分类号： G07C3/00 ,  G05B23/0235 ,  G06F11/008

    摘要： A system for condition monitoring and fault diagnosis includes a data collection function that acquires time histories of selected variables for one or more of the components, a pre-processing function that calculates specified characteristics of the time histories, an analysis function for evaluating the characteristics to produce one or more hypotheses of a condition of the one or more components, and a reasoning function for determining the condition of the one or more components from the one or more hypotheses.

    摘要翻译： 用于状态监视和故障诊断的系统包括数据收集功能，其获取一个或多个组件的选定变量的时间历史，计算时间历史的指定特征的预处理功能，用于评估特征的分析功能 产生一个或多个组件的条件的一个或多个假设，以及用于从一个或多个假设确定一个或多个组件的状况的推理功能。

    Intelligent condition-monitoring and fault diagnostic system for predictive maintenance
    5.
    发明授权
    Intelligent condition-monitoring and fault diagnostic system for predictive maintenance 有权
    智能状态监测和故障诊断系统进行预测维护

    公开(公告)号：US07882394B2

    公开(公告)日：2011-02-01

    申请号：US11485143

    申请日：2006-07-11

    申请人： Martin Hosek ,  Jay Krishnasamy ,  Jan Prochazka

    发明人： Martin Hosek ,  Jay Krishnasamy ,  Jan Prochazka

    IPC分类号： G06F11/30

    CPC分类号： G07C3/00 ,  G05B23/0235 ,  G06F11/008

    摘要： A system for condition monitoring and fault diagnosis includes a data collection function that acquires time histories of selected variables for one or more of the components, a pre-processing function that calculates specified characteristics of the time histories, an analysis function for evaluating the characteristics to produce one or more hypotheses of a condition of the one or more components, and a reasoning function for determining the condition of the one or more components from the one or more hypotheses.

    摘要翻译： 用于状态监视和故障诊断的系统包括数据收集功能，其获取一个或多个组件的选定变量的时间历史，计算时间历史的指定特征的预处理功能，用于评估特征的分析功能 产生一个或多个组件的条件的一个或多个假设，以及用于从一个或多个假设确定一个或多个组件的状况的推理功能。

    Robot drive with magnetic spindle bearings
    7.
    发明授权
    Robot drive with magnetic spindle bearings 有权
    带磁性主轴轴承的机器人驱动

    公开(公告)号：US08283813B2

    公开(公告)日：2012-10-09

    申请号：US12163996

    申请日：2008-06-27

    申请人： Ulysses Gilchrist ,  Martin Hosek ,  Jairo Terra Moura ,  Jay Krishnasamy ,  Christopher Hofmeister

    发明人： Ulysses Gilchrist ,  Martin Hosek ,  Jairo Terra Moura ,  Jay Krishnasamy ,  Christopher Hofmeister

    IPC分类号： H02K7/09

    CPC分类号： H02K7/09 ,  H02K29/03 ,  Y10S901/15 ,  Y10S901/23 ,  Y10T74/20305 ,  Y10T74/20317 ,  Y10T74/20329

    摘要： A drive section for a substrate transport arm including a frame, at least one stator mounted within the frame, the stator including a first motor section and at least one stator bearing section and a coaxial spindle magnetically supported substantially without contact by the at least one stator bearing section, where each drive shaft of the coaxial spindle includes a rotor, the rotor including a second motor section and at least one rotor bearing section configured to interface with the at least one stator bearing section, wherein the first motor section is configured to interface with the second motor section to effect rotation of the spindle about a predetermined axis and the at least one stator bearing section is configured to effect at least leveling of a substrate transport arm end effector connected to the coaxial spindle through an interaction with the at least one rotor bearing section.

    摘要翻译： 一种用于基板输送臂的驱动部分，包括框架，至少一个定子，其安装在框架内，该定子包括第一马达部分和至少一个定子轴承部分和同轴主轴，所述至少一个定子轴承部分和基本上不被所述至少一个定子 其中所述同轴心轴的每个驱动轴包括转子，所述转子包括第二电动机部分和至少一个转子轴承部分，所述至少一个转子轴承部分构造成与所述至少一个定子轴承部分相接合，其中所述第一电动机部分被配置为接合 所述第二马达部分绕所述心轴绕预定轴线进行旋转，并且所述至少一个定子支承部分构造成通过与所述至少一个相互作用的至少一个相互作用来实现连接到所述同轴心轴的基底输送臂端部执行器的至少调平 转子轴承部分。

    Intelligent condition-monitoring and fault diagnostic system for predictive maintenance
    8.
    发明申请
    Intelligent condition-monitoring and fault diagnostic system for predictive maintenance 有权
    智能状态监测和故障诊断系统进行预测维护

    公开(公告)号：US20070067678A1

    公开(公告)日：2007-03-22

    申请号：US11485143

    申请日：2006-07-11

    申请人： Martin Hosek ,  Jay Krishnasamy ,  Jan Prochazka

    发明人： Martin Hosek ,  Jay Krishnasamy ,  Jan Prochazka

    IPC分类号： G06F11/00

    CPC分类号： G07C3/00 ,  G05B23/0235 ,  G06F11/008

    摘要： A system for condition monitoring and fault diagnosis includes a data collection function that acquires time histories of selected variables for one or more of the components, a pre-processing function that calculates specified characteristics of the time histories, an analysis function for evaluating the characteristics to produce one or more hypotheses of a condition of the one or more components, and a reasoning function for determining the condition of the one or more components from the one or more hypotheses.

    摘要翻译： 用于状态监视和故障诊断的系统包括数据收集功能，其获取一个或多个组件的选定变量的时间历史，计算时间历史的指定特征的预处理功能，用于评估特征的分析功能 产生一个或多个组件的条件的一个或多个假设，以及用于从一个或多个假设确定一个或多个组件的状况的推理功能。

    Mechanical oscillator for wafer scan with spot beam
    9.
    发明授权
    Mechanical oscillator for wafer scan with spot beam 失效
    机械振荡器，用于具有点光束的晶圆扫描

    公开(公告)号：US07119343B2

    公开(公告)日：2006-10-10

    申请号：US10840186

    申请日：2004-05-06

    申请人： Mehran Asdigha ,  Kurt D. Cleveland ,  Jay Krishnasamy ,  Kan Ota

    发明人： Mehran Asdigha ,  Kurt D. Cleveland ,  Jay Krishnasamy ,  Kan Ota

    IPC分类号： G21K5/10 ,  G01K5/08 ,  G01F23/00

    CPC分类号： H01L21/68764 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/20228 ,  H01L21/67069

    摘要： The present invention is directed to a scanning apparatus and method for processing a substrate, wherein the scanning apparatus comprises a first link and a second link rigidly coupled to one another at a first joint, wherein the first link and second link are rotatably coupled to a base portion by the first joint, therein defining a first axis. An end effector, whereon the substrate resides, is coupled to the first link. The second link is coupled to a first actuator via at least second joint. The first actuator is operable to translate the second joint with respect to the base portion, therein rotating the first and second links about the first axis and translating the substrate along a first scan path in an oscillatory manner. A controller is further operable to maintain a generally constant translational velocity of the end effector within a predetermined scanning range.

    摘要翻译： 本发明涉及一种用于处理基板的扫描装置和方法，其中扫描装置包括第一连杆和在第一关节处彼此刚性地联接的第二连杆，其中第一连杆和第二连杆可旋转地连接到 其中所述第一接头限定第一轴线。 衬底所在的末端执行器被耦合到第一连杆。 第二连杆通过至少第二接头联接到第一致动器。 第一致动器可操作以相对于基部部分平移第二接头，其中使第一和第二连杆围绕第一轴线旋转，并以振荡方式沿着第一扫描路径平移基板。 控制器还可操作以将末端执行器的大致恒定的平移速度保持在预定扫描范围内。