利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册

搜索结果

64 条记录 (耗时 0.018 秒)

    Support elements for an optical element
    1.
    发明授权
    Support elements for an optical element 有权
    用于光学元件的支撑元件

    公开(公告)号：US08988654B2

    公开(公告)日：2015-03-24

    申请号：US13071165

    申请日：2011-03-24

    申请人： Jens Kugler ,  Ulrich Weber ,  Nicolai Wengert

    发明人： Jens Kugler ,  Ulrich Weber ,  Nicolai Wengert

    IPC分类号： G02B7/00 ,  G03F7/20

    CPC分类号： G03F7/7015 ,  G02B7/003 ,  G02B7/02 ,  G03F7/70825

    摘要： Support elements for an optical element and a method for supporting an optical element are disclosed. The disclosure can be used in connection with arbitrary optical apparatuses or optical imaging methods. In particular, the disclosure can be used in connection with the microlithography employed in the manufacture of microelectronic circuits.

    摘要翻译： 公开了用于光学元件的支撑元件和用于支撑光学元件的方法。 本公开可以与任意光学装置或光学成像方法结合使用。 特别地，本公开可以结合用于制造微电子电路的微光刻来使用。

    Optical module for a microlithography objective including holding and supporting devices
    2.
    发明授权
    Optical module for a microlithography objective including holding and supporting devices 有权
    用于微光学目标的光学模块，包括保持和支撑装置

    公开(公告)号：US08711331B2

    公开(公告)日：2014-04-29

    申请号：US11597297

    申请日：2005-05-24

    申请人： Jens Kugler ,  Franz Sorg ,  Yim-Bun Patrick Kwan

    发明人： Jens Kugler ,  Franz Sorg ,  Yim-Bun Patrick Kwan

    IPC分类号： G03B27/70

    CPC分类号： G02B19/0023 ,  G02B7/00 ,  G02B7/021 ,  G02B7/023 ,  G02B7/026 ,  G02B7/182 ,  G02B17/0605 ,  G02B17/0615 ,  G03F7/70825

    摘要： There is provided an optical module for an objective. The optical module includes (a) a first holding device with an inner circumference, which extends in a first circumferential direction, (b) at least one first supporting device for supporting a first optical element and being fixed at said inner circumference of said first holding device, (c) an annular circumferential first assembly space being defined by displacing said first supporting device once in a revolving manner along said first circumferential direction, (d) at least one second supporting device being provided for supporting a second optical element and being fixed at said inner circumference of said first holding device, and (e) an annular circumferential second assembly space being defined by displacing said second supporting device once in a revolving manner along said first circumferential direction. The first assembly space intersects the second assembly space.

    摘要翻译： 提供了一种用于物镜的光学模块。 光学模块包括：（a）具有沿第一圆周方向延伸的内圆周的第一保持装置，（b）至少一个第一支撑装置，用于支撑第一光学元件并固定在所述第一保持件的所述内圆周 装置，（c）通过沿着所述第一圆周方向以旋转方式移动所述第一支撑装置来限定环形圆周第一组合空间;（d）至少一个第二支撑装置，用于支撑第二光学元件并被固定 在所述第一保持装置的所述内圆周处，以及（e）通过沿着所述第一圆周方向以旋转方式使所述第二支撑装置移动一次而限定的环形圆周第二组合空间。 第一组装空间与第二组装空间相交。

    Projection objective for microlithography
    3.
    发明授权
    Projection objective for microlithography 有权
    微光刻的投影目标

    公开(公告)号：US08553202B2

    公开(公告)日：2013-10-08

    申请号：US12724496

    申请日：2010-03-16

    申请人： Jens Kugler ,  Tilman Schwertner

    发明人： Jens Kugler ,  Tilman Schwertner

    IPC分类号： G03B27/54 ,  G03B27/42

    CPC分类号： G03F7/70825 ,  G02B7/023 ,  G02B7/1822 ,  G03F7/70816

    摘要： An optical system includes an optical element having adjusting elements. The optical element is connected to a rotatable carrying ring via at least one connecting member arranged on the carrying ring directly or via one or a plurality of intermediate elements to the optical element. The rotatable carrying ring is borne in a manner freely rotatable about an axis relative to a fixed outer mount or the optical element via a rotating device. The outer mount, the rotatable carrying ring and the connecting members are constructed as rotatable kinematics in the form of parallel kinematics.

    摘要翻译： 光学系统包括具有调节元件的光学元件。 光学元件通过直接或经由一个或多个中间元件布置在承载环上的至少一个连接构件连接到可转动的承载环到光学元件。 可旋转承载环以相对于固定的外部安装件或光学元件经由旋转装置绕轴线自由旋转的方式承载。 外部安装件，可旋转承载环和连接构件被构造为平行运动学形式的可旋转运动学。

    Optical element unit for exposure processes having sealing element
    9.
    发明授权
    Optical element unit for exposure processes having sealing element 有权
    用于具有密封元件的曝光工艺的光学元件单元

    公开(公告)号：US09046795B2

    公开(公告)日：2015-06-02

    申请号：US12046186

    申请日：2008-03-11

    申请人： Tilman Schwertner ,  Ulrich Bingel ,  Guido Limbach ,  Julian Kaller ,  Hans-Juergen Scherle ,  Jens Kugler ,  Dirk Schaffer ,  Bernhard Gellrich

    发明人： Tilman Schwertner ,  Ulrich Bingel ,  Guido Limbach ,  Julian Kaller ,  Hans-Juergen Scherle ,  Jens Kugler ,  Dirk Schaffer ,  Bernhard Gellrich

    IPC分类号： G03F7/20

    CPC分类号： G03F7/7015 ,  G02B27/0006 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70883 ,  G03F7/70908 ,  G03F7/70916 ,  G03F7/70933 ,  Y10T29/49

    摘要： An optical element unit includes a first optical element module and a sealing arrangement. The first optical element module occupies a first module space and includes a first module component of a first component type and an associated second module component of a second component type. The first component type is optical elements and the second component type being different from the first component type. The sealing arrangement separates the first module space into a first space and a second space and substantially pre-vents, at least in a first direction, the intrusion of substances from one of the first space and the second space into the other one of the first space and the second space. The first module component at least partially contacts the first space and, at least in its area optically used, not contacting the second space. The second module component at least partially contacts the second space.

    摘要翻译： 光学元件单元包括第一光学元件模块和密封装置。 第一光学元件模块占据第一模块空间并且包括第一组件类型的第一模块组件和第二组件类型的相关联的第二模块组件。 第一部件类型是光学元件，第二部件类型与第一部件类型不同。 密封装置将第一模块空间分隔成第一空间和第二空间，并且至少在第一方向上基本上预先将物质从第一空间和第二空间中的一个进入另一个第一空间 空间和第二空间。 第一模块部件至少部分地接触第一空间，并且至少在其光学使用的区域中不接触第二空间。 第二模块组件至少部分地接触第二空间。

    Optical element module with minimized parasitic loads
    10.
    发明授权
    Optical element module with minimized parasitic loads 有权
    具有最小化寄生负载的光学元件模块

    公开(公告)号：US08351139B2

    公开(公告)日：2013-01-08

    申请号：US12708034

    申请日：2010-02-18

    申请人： Jens Kugler ,  Ulrich Weber ,  Dirk Schaffer

    发明人： Jens Kugler ,  Ulrich Weber ,  Dirk Schaffer

    IPC分类号： G02B7/02

    CPC分类号： G02B7/02 ,  G02B7/021 ,  G03F7/70825

    摘要： An optical element module is provided. The optical module includes an optical element unit that includes an optical element and a support structure that supports the optical element unit. The support structure includes a support device and a contact device mounted to the support device. The contact device exerts a force on the optical element unit in a first direction via a first contact surface of the contact device. The first contact surface contacts a second contact surface of the optical element unit. The contact device includes a first linking section and a second linking section extending along a second direction running transverse to the first direction and arranged kinematically in series between the first contact surface and the support device. The first linking section and the second linking section are elastically deformed in response to a bending moment resulting from the force. The first linking section and the second linking section are arranged on opposite sides of a reference plane. The reference plane includes the force and runs transverse to the second direction.

    摘要翻译： 提供了一种光学元件模块。 光学模块包括光学元件单元，其包括光学元件和支撑光学元件单元的支撑结构。 支撑结构包括支撑装置和安装到支撑装置的接触装置。 接触装置经由接触装置的第一接触面沿第一方向在光学元件单元上施加力。 第一接触表面接触光学元件单元的第二接触表面。 接触装置包括第一连接部分和第二连接部分，该第二连接部分沿着横向于第一方向的第二方向延伸并且在运动学上串联布置在第一接触表面和支撑装置之间。 第一连接部分和第二连接部分响应于由力产生的弯矩而弹性变形。 第一连接部分和第二连接部分布置在参考平面的相对侧上。 参考平面包括力并横向于第二方向延伸。