公开(公告)号：US20050126497A1

公开(公告)日：2005-06-16

申请号：US10955899

申请日：2004-09-30

申请人： Jerry Kidd ,  Danny Caudle

发明人： Jerry Kidd ,  Danny Caudle

IPC分类号： B05B13/02 ,  B05D3/12 ,  C23C14/50 ,  C23C16/00 ,  C23C16/458

CPC分类号： C23C16/4588 ,  B05B13/0228 ,  B05B13/0242 ,  C23C14/505

摘要： An exemplary platform assembly and method is provided to facilitate a uniform deposition of a depositant on substrates. The platform assembly can include a platform, satellite tables, and an actuator. The platform moves upon a support structure, while the satellite tables, supporting the substrates, rotate on the platform. The actuator moves the platform and satellite tables, presenting the substrate to the depositant dispenser. A resistance to movement of the platform forces a rotation of the satellite tables. Additionally, a method is provided that includes positioning a platform on a support structure and positioning the substrates on the satellite tables. The platform is then moved within a dispersion area of the depositant dispenser. A stationary gear, coupled to the support structure, resists motion of the platform, thereby forcing each of the plurality of satellite tables to rotate.

摘要翻译： 提供了一种示例性的平台组件和方法，以便于沉积物在基底上的均匀沉积。 平台组件可以包括平台，卫星台和致动器。 平台在支撑结构上移动，而支撑基板的卫星台在平台上旋转。 执行器移动平台和卫星台，将基板呈现给定型机分配器。 平台的运动阻力迫使卫星台的旋转。 此外，提供了一种方法，其包括将平台定位在支撑结构上并将基板定位在卫星台上。 然后将平台移动到沉积物分配器的分散区域内。 耦合到支撑结构的固定齿轮抵抗平台的运动，从而迫使多个卫星表中的每一个旋转。