公开(公告)号：US20070076310A1

公开(公告)日：2007-04-05

申请号：US11532957

申请日：2006-09-19

申请人： Shigeo Sakino ,  Hirohito Ito ,  Shinji Uchida ,  Choshoku Sai ,  Katsumi Asada

发明人： Shigeo Sakino ,  Hirohito Ito ,  Shinji Uchida ,  Choshoku Sai ,  Katsumi Asada

IPC分类号： G02B7/02

CPC分类号： G02B7/183 ,  G03F7/70266 ,  G03F7/70825

摘要： At least one exemplary embodiment is directed to an optical element holding apparatus including a force generating actuator configured to deform the optical element, a measuring device configured to measure a position of the optical element, and a displacement causing actuator configured to position the optical element based on the measured position.

摘要翻译： 至少一个示例性实施例涉及一种光学元件保持设备，该光学元件保持设备包括被配置为使光学元件变形的力产生致动器，被配置为测量光学元件的位置的测量装置以及被配置为基于光学元件定位的位移致动致动器 在测量位置。

公开(公告)号：US5511930A

公开(公告)日：1996-04-30

申请号：US24473

申请日：1993-03-01

申请人： Mikio Sato ,  Katsumi Asada ,  Shinji Wakui

发明人： Mikio Sato ,  Katsumi Asada ,  Shinji Wakui

IPC分类号： G03F9/00 ,  G03F7/20 ,  G05B5/01 ,  G05B19/19 ,  G05D3/12 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  G01M7/00

CPC分类号： G03F7/709 ,  G05B19/19 ,  G05B5/01 ,  G05B2219/37275 ,  G05B2219/37313 ,  G05B2219/41117 ,  G05B2219/41179 ,  G05B2219/41181 ,  G05B2219/41195 ,  G05B2219/41346 ,  G05B2219/41367 ,  G05B2219/41457 ,  G05B2219/42104 ,  G05B2219/45026 ,  G05B2219/49258 ,  G05B2219/49271 ,  G05B2219/50046

摘要： A precision positioning apparatus suitable for the positioning control system of a semiconductor exposing apparatus such as a stepper has, as its object, the provision of a non-contact type precision positioning apparatus capable of properly correcting the disturbance of posture or vibration based on low rigidityy which is a feature of a non-contact guide mechanism and accomplishing stable, highly accurate positioning at a high speed. The precision positioning apparatus is provided with a base plate, a movable member positioned on the base plate, a driving device for driving the movable member, a detecting device for detecting movement of the movable member, and a device for supplying the driving device with a signal regarding the movement of the movable member on the basis of a reference value and the output value from the detecting device. The supplying device includes a device for forming a correction signal for substantially negating a disturbance force to the movable member, by the use of the signal supplied to the driving device and the output from the detecting device. The signal supplied to the driving device can be corrected by the correction signal.

摘要翻译： 作为适用于步进机等半导体曝光装置的定位控制系统的精密定位装置，目的在于提供一种能够根据低刚性正确地矫正姿势或振动的不接触型的精确定位装置 这是非接触引导机构的特征，并且以高速实现稳定，高精度的定位。 该精密定位装置设置有基板，位于基板上的可动构件，用于驱动可动构件的驱动装置，检测可动构件的移动的检测装置，以及用于向驱动装置供给 基于参考值和来自检测装置的输出值的可移动部件的移动的信号。 供给装置包括用于通过使用提供给驱动装置的信号和来自检测装置的输出来形成用于基本上消除对可动构件的干扰力的校正信号的装置。 可以通过校正信号校正提供给驱动装置的信号。

公开(公告)号：US07224432B2

公开(公告)日：2007-05-29

申请号：US11127292

申请日：2005-05-12

申请人： Yasuhito Sasaki ,  Yoshikazu Miyajima ,  Hitoshi Sato ,  Katsumi Asada ,  Hideo Tanaka

发明人： Yasuhito Sasaki ,  Yoshikazu Miyajima ,  Hitoshi Sato ,  Katsumi Asada ,  Hideo Tanaka

IPC分类号： G03B27/42 ,  G03B27/58 ,  H02K41/00

CPC分类号： G03F7/70766 ,  H01L21/682

摘要： A stage device including a movable stage, a plate-like base which supports the stage, and a mass body which moves to cancel a reaction force acting on the base according to a movement of the movable stage. The plate-like base has a plurality of surfaces, and the stage and mass body are supported by different ones of the surfaces of the plate-like base.

摘要翻译： 一种舞台装置，包括可移动舞台，支撑舞台的板状底座以及根据活动舞台的运动而移动以消除作用在底座上的反作用力的质量体。 板状基部具有多个表面，台状体和主体由板状基体的不同表面支撑。

公开(公告)号：US09052614B2

公开(公告)日：2015-06-09

申请号：US13280243

申请日：2011-10-24

申请人： Ryo Nawata ,  Katsumi Asada

发明人： Ryo Nawata ,  Katsumi Asada

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/709 ,  F16F15/002 ,  F16F15/022 ,  F16F2230/08 ,  H01J2237/0216

摘要： A vibration control apparatus includes a first spring mechanism to support a first object as part of a first system. To control vibration of the first object, a first actuator applies a force to the first object via a command value generated by a first computing based on an output of a detection system. The detection system includes a second spring mechanism to support a second object as part of a second system. A third spring mechanism supports a third object as part of a third system. The first displacement detector detects displacement of the third object relative to the second object. The third object is prevented from being displaced relative to the second object. A second natural frequency of the second system is higher than a first natural frequency of the first system, and a third natural frequency of a third system is higher than the first natural frequency.

摘要翻译： 振动控制装置包括第一弹簧机构，用于支撑第一物体作为第一系统的一部分。 为了控制第一物体的振动，第一致动器通过基于检测系统的输出的第一计算产生的命令值向第一物体施加力。 检测系统包括第二弹簧机构，用于支撑第二物体作为第二系统的一部分。 第三弹簧机构支撑第三物体作为第三系统的一部分。 第一位移检测器检测第三物体相对于第二物体的位移。 防止第三物体相对于第二物体移位。 第二系统的第二固有频率高于第一系统的第一固有频率，并且第三系统的第三固有频率高于第一固有频率。

公开(公告)号：US07771065B2

公开(公告)日：2010-08-10

申请号：US11402059

申请日：2006-04-12

申请人： Choshoku Sai ,  Shigeo Sakino ,  Katsumi Asada ,  Hirohito Ito ,  Shinji Uchida

发明人： Choshoku Sai ,  Shigeo Sakino ,  Katsumi Asada ,  Hirohito Ito ,  Shinji Uchida

IPC分类号： G02B5/08 ,  G02B7/188 ,  G02B26/08

CPC分类号： G03F7/70825 ,  G02B26/0825 ,  G02B26/0833 ,  G03F7/70266 ,  G03F7/706

摘要： An optical unit including a plate, an optical element, a fixing device for partially fixing the optical element against the plate, and a deforming device, located between the plate and the optical element, for applying a deforming force to the optical element to change a surface shape of the optical element. The deforming device includes poles for contacting a back face of the optical element, and actuators for driving the poles against the plate.

摘要翻译： 一种光学单元，包括板，光学元件，用于将光学元件部分地固定在板上的定影装置，以及位于板和光学元件之间的变形装置，用于向光学元件施加变形力以改变光学元件 光学元件的表面形状。 变形装置包括用于接触光学元件的背面的极和用于驱动杆抵靠板的致动器。

公开(公告)号：US07453623B2

公开(公告)日：2008-11-18

申请号：US11408881

申请日：2006-04-21

申请人： Shinji Uchida ,  Choshoku Sai ,  Katsumi Asada ,  Hirohito Ito ,  Shigeo Sakino

发明人： Shinji Uchida ,  Choshoku Sai ,  Katsumi Asada ,  Hirohito Ito ,  Shigeo Sakino

IPC分类号： G02B26/00 ,  G02B26/08 ,  G02F1/29

CPC分类号： G02B26/0825 ,  G03F7/70266

摘要： A mirror apparatus including a reflecting mirror reflecting light, partition walls, the walls and the reflecting mirror defining a plurality of air chambers, and a regulator regulating air pressure in at least one of the air chambers. With this configuration, the front surface of the reflecting mirror is deformed into a smooth shape so as to correct optical aberration.

摘要翻译： 一种镜装置，包括反射光的反射镜，分隔壁，壁和反射镜，其限定多个空气室，以及调节器，其调节至少一个空气室中的空气压力。 利用这种结构，反射镜的前表面变形为平滑的形状，以校正光学像差。

公开(公告)号：US20060232866A1

公开(公告)日：2006-10-19

申请号：US11402059

申请日：2006-04-12

申请人： Choshoku Sai ,  Shigeo Sakino ,  Katsumi Asada ,  Hirohito Ito ,  Shinji Uchida

发明人： Choshoku Sai ,  Shigeo Sakino ,  Katsumi Asada ,  Hirohito Ito ,  Shinji Uchida

IPC分类号： G02B7/182

CPC分类号： G03F7/70825 ,  G02B26/0825 ,  G02B26/0833 ,  G03F7/70266 ,  G03F7/706

摘要： An optical unit includes a plate having a fixed position, an optical element having a specific optical action, a fixing device for partially fixing the optical element, and a deforming device, located between the plate and the optical element, for applying a deforming force to the optical element to asymmetrically change a surface shape of the optical element.

摘要翻译： 光学单元包括具有固定位置的板，具有特定光学作用的光学元件，用于部分地固定光学元件的定影装置，以及位于板和光学元件之间的用于施加变形力的变形装置 所述光学元件不对称地改变所述光学元件的表面形状。

公开(公告)号：US20050156170A1

公开(公告)日：2005-07-21

申请号：US11023476

申请日：2004-12-29

申请人： Yuichi Shimizu ,  Katsumi Asada

发明人： Yuichi Shimizu ,  Katsumi Asada

IPC分类号： G02F1/1335 ,  G02F1/1362 ,  G02F1/1368 ,  G09F9/30 ,  H01L23/552 ,  H01L29/786 ,  H01L51/50 ,  H01L29/04

CPC分类号： H01L29/78633 ,  G02F1/136209 ,  H01L23/552 ,  H01L27/14623 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： A light-shielding film formed above a substrate has a multilayered thin film structure, in which a thin film not containing nitrogen and a thin film containing nitrogen are alternately arranged. Since the thin film containing nitrogen is formed in the light-shielding film, the stress caused by thermal distortion at the time of an annealing treatment is absorbed by the thin film containing nitrogen. Thus, cracks in an insulating film or a semiconductor film which extend from the light-shielding film can be prevented from occurring.

摘要翻译： 在基板上形成的遮光膜具有多层薄膜结构，其中不含氮的薄膜和含氮的薄膜交替排列。 由于在遮光膜中形成含有氮的薄膜，所以由退火处理时的热变形引起的应力被含氮的薄膜吸收。 因此，可以防止从遮光膜延伸的绝缘膜或半导体膜中的裂纹。

公开(公告)号：US4011185A

公开(公告)日：1977-03-08

申请号：US650599

申请日：1976-01-20

申请人： Etsuo Hosokawa ,  Misao Waki ,  Katsumi Asada

发明人： Etsuo Hosokawa ,  Misao Waki ,  Katsumi Asada

IPC分类号： C08G63/20 ,  C08G63/685 ,  H01B3/42 ,  C08G63/76 ,  C08G63/68 ,  C08J3/06

CPC分类号： H01B3/421 ,  C08G63/20 ,  C08G63/6854 ,  Y10T428/31681

摘要： Insulating varnishes capable of forming a film possessing excellent electrical and mechanical properties can be obtained by reacting a reaction product of (1) a reactant of a dicarboxylic acid or a tricarboxylic acid or a derivative thereof comprising an aromatic dicarboxylic acid or a derivative thereof in an amount of at least 95 equivalent % [the term "equivalent" as used herein means (number of moles) x (number of reactive functional groups in one molecule)] of the total of the (1), (2) a primary diol and (3) an aliphatic polyhydric alcohol having at least 3 hydroxyl groups with (4) an aromatic teracarboxylic acid or derivative thereof, and subsequently dispersing the reaction product into an aqueous solution containing ammonia or an organic amine.

公开(公告)号：US20120045723A1

公开(公告)日：2012-02-23

申请号：US13207519

申请日：2011-08-11

申请人： Ryo NAWATA ,  Katsumi ASADA

发明人： Ryo NAWATA ,  Katsumi ASADA

IPC分类号： G03B27/00 ,  F16M13/00 ,  G03F7/20 ,  F16F7/00

CPC分类号： F16F15/002 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/709

摘要： The vibration isolation device of the present invention includes a first position feedback control system including a reference body system that is fixed to an object to be isolated from vibration and includes a reference body; a first driving unit that drives the object with respect to a base; and a first compensator that calculates a command value to the first driving unit based on position information obtained from the reference body system. Also, the reference body system includes a second position feedback control system including a second driving unit that drives the reference body with respect to the object; a first measuring unit that measures the position of the reference body relative to the object; and a second compensator that calculates a command value to the second driving unit based on position information obtained from the first measuring unit. Here, the second compensator is a PD compensator.

摘要翻译： 本发明的隔振装置包括第一位置反馈控制系统，该第一位置反馈控制系统包括固定在与振动隔离的物体上并包括基准体的基准体系统; 相对于基座驱动物体的第一驱动单元; 以及第一补偿器，其基于从参考主体系统获得的位置信息来计算到第一驱动单元的命令值。 此外，参考体系包括第二位置反馈控制系统，其包括相对于物体驱动参考体的第二驱动单元; 第一测量单元，其测量参考体相对于物体的位置; 以及第二补偿器，其基于从所述第一测量单元获得的位置信息来计算到所述第二驱动单元的指令值。 这里，第二补偿器是PD补偿器。