公开(公告)号：US08654348B2

公开(公告)日：2014-02-18

申请号：US12426994

申请日：2009-04-21

申请人： Jérôme Primot ,  Bruno Toulon ,  Nicolas Guérineau ,  Sabrina Velghe ,  Riad Haidar

发明人： Jérôme Primot ,  Bruno Toulon ,  Nicolas Guérineau ,  Sabrina Velghe ,  Riad Haidar

IPC分类号： G01B9/02

CPC分类号： G01J9/0215

摘要： The application relates to a method for analyzing the wave surface of a light beam from a source to the focus of a lens. The beam illuminates a sample on the analysis plane and having a defect. A diffraction grating of the plane is a conjugate of an analysis plane through a focal system. An image is formed in a plane at a distance from the grating plane and analyzed by processing means. The invention encodes this grating by a phase function resulting from the multiplication of two phase functions, a first exclusion function defining a meshing of useful zones transmitting the beam to be analyzed in the form of light pencil beams, and a second phase fundamental function which creates a phase opposition between two light pencil beams coming out of adjacent meshes of the exclusion grating.

摘要翻译： 本申请涉及一种用于分析从光源到透镜的焦点的光束的波面的方法。 光束照射分析平面上的样品并具有缺陷。 平面的衍射光栅是通过焦点系统的分析平面的共轭。 在与光栅平面一定距离的平面中形成图像，并通过处理装置进行分析。 本发明通过由两相功能的乘法产生的相位函数对该光栅进行编码，第一排除函数定义了以光笔形式的光束传输要分析的光束的有用区域的啮合，以及第二相位基函数，其形成 两个光束笔之间的相位相对离开了排除光栅的相邻网格。