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    Multi-layered radiant thermal evaporator and method of use
    2.
    发明授权
    Multi-layered radiant thermal evaporator and method of use 失效
    多层辐射热蒸发器及其使用方法

    公开(公告)号：US07339139B2

    公开(公告)日：2008-03-04

    申请号：US10678811

    申请日：2003-10-03

    申请人： Yimou Yang ,  Kenneth Martin ,  Stanley J. Misunas ,  Song Tao ,  David Morganson

    发明人： Yimou Yang ,  Kenneth Martin ,  Stanley J. Misunas ,  Song Tao ,  David Morganson

    IPC分类号： H05B3/30 ,  F27B14/04 ,  F27B14/06 ,  F27B14/14 ,  C23C14/26 ,  C23C14/56

    CPC分类号： C23C14/26 ,  C23C14/243 ,  C23C14/246 ,  C23C14/56 ,  C23C14/562

    摘要： The present invention provides a system and method for uniform coating of a substrate at high deposition rates by evaporating a coating material in a vacuum chamber. The system includes an evaporator having a heating crucible for containing a coating material to be evaporated and a generally planar heat source disposed so as to heat a surface of a coating material contained in the heating crucible. Preferably, the heat source is manufactured from a ceramic or intermetallic material and includes a first layer defining a first set of openings and a second layer defining a second set of openings wherein the second layer overlies the first layer and is spaced apart therefrom. The first and second sets of openings allow the evaporated coating material to pass therethrough for dispersion of the coating material in a deposition zone defined by a containment shield disposed above the heat source.

    摘要翻译： 本发明提供一种通过蒸发真空室中的涂层材料以高沉积速率均匀地涂覆基板的系统和方法。 该系统包括具有用于容纳要蒸发的涂料的加热坩埚的蒸发器和设置为加热包含在加热坩埚中的涂料的表面的大致平面的热源。 优选地，热源由陶瓷或金属间材料制成，并且包括限定第一组开口的第一层和限定第二组开口的第二层，其中第二层覆盖在第一层上并与之隔开。 第一组和第二组开口允许蒸发的涂层材料通过，以将涂层材料分散在由设置在热源上方的容纳屏蔽限定的沉积区域中。