公开(公告)号：US6134013A

公开(公告)日：2000-10-17

申请号：US149399

申请日：1998-09-08

申请人： Gabriel Y. Sirat ,  Yann Malet

发明人： Gabriel Y. Sirat ,  Yann Malet

IPC分类号： G01B11/24

CPC分类号： G01B11/24

摘要： A method and apparatus for inspecting a three dimensional structure, such as an electronic component, using collimated light for accurately measuring the three-dimensional structure of members protruding above the surface of the component. Collimated light illuminates the surface, and spherical or other three-dimensional structure on the surface is analyzed, using stereoscopic, holographic, Moire, or conoscopic analysis of light reflected or scattered by the structure, using an array of optical detectors in a detector plane.

摘要翻译： 一种用于使用准直光检查诸如电子部件的三维结构的方法和装置，用于精确测量突出在部件表面上的部件的三维结构。 准直光照亮表面，并且使用在检测器平面中的光学检测器阵列，利用由结构反射或散射的光的立体，全息，莫尔或圆锥镜分析来分析表面上的球形或其它三维结构。

公开(公告)号：US5926295A

公开(公告)日：1999-07-20

申请号：US681926

申请日：1996-07-29

申请人： Didier Charlot ,  Yann Malet

发明人： Didier Charlot ,  Yann Malet

IPC分类号： G01S11/12 ,  G02B7/28 ,  G03H1/06 ,  G03H1/26 ,  G01B9/021

CPC分类号： G03H1/06 ,  G01S11/12 ,  G02B7/28

摘要： An optical device for generating a signal based on a distance of an object from the optical device. The optical device includes a first polarizer, a birefringent crystal positioned optically downstream from the first polarizer, and a second polarizer arranged optically downstream from the birefringent crystal. The second polarizer creates a pair of interferograms by adjusting a phase of the light. Two outputs are generated by separately integrating an amount of light of at least a part of each of the pair of interferograms. Finally, the two outputs are combined such that the signal, depending only on the distance between the object and the optical system, is obtained.

摘要翻译： 一种光学装置，用于根据物体与光学装置的距离产生信号。 光学器件包括第一偏振器，位于第一偏振器的光学下游的双折射晶体，以及光学上位于双折射晶体下游的第二偏振器。 第二偏振器通过调节光的相位产生一对干涉图。 通过单独地对一对干涉图中的每一个的至少一部分的光进行积分来产生两个输出。 最后，两个输出被组合，使得仅取决于物体与光学系统之间的距离的信号。

公开(公告)号：US5953137A

公开(公告)日：1999-09-14

申请号：US942379

申请日：1997-10-01

申请人： Gabriel Y. Sirat ,  Jacob Vecht ,  Yann Malet

发明人： Gabriel Y. Sirat ,  Jacob Vecht ,  Yann Malet

IPC分类号： G03H1/06 ,  G03H1/00 ,  G02B5/30 ,  G03H1/04

CPC分类号： G03H1/06

摘要： A linear conoscope producing a conoscopic interferogram of an object wherein the phase shift giving rise to the interferogram is substantially linearly dependent on displacement of an object from a geometrical axis. Two anisotropic optical elements are provided and oriented with respect to one another in such a manner as to cancel the predominant term in which the phase shift depends quadratically on displacement from the geometrical axis.

摘要翻译： 产生对象的圆锥形干涉图的线性窥镜，其中产生干涉图的相移基本上线性地取决于物体与几何轴的位移。 提供两个各向异性光学元件并以相对于彼此定向的方式取消相移相对于几何轴线的位移二次取向的主要术语。

公开(公告)号：US5541744A

公开(公告)日：1996-07-30

申请号：US244249

申请日：1994-10-06

申请人： Didier Charlot ,  Yann Malet

发明人： Didier Charlot ,  Yann Malet

IPC分类号： G01S11/12 ,  G02B7/28 ,  G03H1/06 ,  G02B27/28 ,  G03H1/26

CPC分类号： G03H1/06 ,  G01S11/12 ,  G02B7/28

摘要： The present invention concerns a holographic process including a stage consisting in producing the hologram of a point P thank to an optical device including a crystal (131) and two polarizers (132,135) placed respectively before and after the crystal (131), characterized by the fact that it includes in addition the stages consisting in: 1) separating the answers of the optical system corresponding to two different polarizations and 2) combining both these answers in order to obtain a signal which depends only on the distance between the point P ant the optical device. The invention concerns also a device which allows the implementation or this process.

摘要翻译： PCT No.PCT / FR92 / 01095 Sec。 371日期：1994年10月6日 102（e）日期1994年10月6日PCT 1992年11月25日PCT公布。 出版物WO93 / 11445 日期：1993年6月10日本发明涉及一种全息方法，包括一个阶段，该阶段包括在分别在晶体（131）之前和之后放置的晶体（131）和两个偏振器（132,135）的光学器件产生点P的全息图 ），其特征在于，它还包括以下事实：其包括：1）分离对应于两个不同偏振的光学系统的答案，以及2）组合这两个答案，以便获得仅依赖于 点P ant光学器件。 本发明还涉及允许实施或该过程的装置。