公开(公告)号：US06280299B1

公开(公告)日：2001-08-28

申请号：US09505577

申请日：2000-02-16

申请人： Daniel Kennedy ,  Boris Fuksshimov ,  Victor Belitsky ,  Boris Fishkin ,  Kyle Brown ,  Tom Osterheld ,  Jeff Beeler ,  Ginetto Addiego

发明人： Daniel Kennedy ,  Boris Fuksshimov ,  Victor Belitsky ,  Boris Fishkin ,  Kyle Brown ,  Tom Osterheld ,  Jeff Beeler ,  Ginetto Addiego

IPC分类号： B24B5702

CPC分类号： B24B53/017 ,  B24B37/04 ,  B24B57/02

摘要： The present invention provides a method and apparatus for delivering one or more rinse agents to a surface, such as a polishing pad surface and preferably one or more polishing fluids. The invention also provides a method of cleaning one or more surfaces, such as a polishing pad surface and a substrate surface, by delivering a spray of one or more rinse agents to the surface and, preferably, causing the rinse agent to flow across the surface from a central region to an outer region where unwanted debris and material is collected.

摘要翻译： 本发明提供了一种用于将一种或多种漂洗剂递送到诸如抛光垫表面，优选一种或多种抛光流体的表面的方法和装置。 本发明还提供了一种通过将一种或多种漂洗剂的喷雾递送到表面来清洁一个或多个表面（例如抛光垫表面和基材表面）的方法，并且优选地使冲洗剂流过表面 从中心区域到外部区域，其中收集有不需要的碎屑和材料。

公开(公告)号：US6139406A

公开(公告)日：2000-10-31

申请号：US879447

申请日：1997-06-24

申请人： Daniel Kennedy ,  Boris Fuksshimov ,  Victor Belitsky ,  Boris Fishkin ,  Kyle Brown ,  Tom Osterheld ,  Jeff Beeler ,  Ginetto Addiego

发明人： Daniel Kennedy ,  Boris Fuksshimov ,  Victor Belitsky ,  Boris Fishkin ,  Kyle Brown ,  Tom Osterheld ,  Jeff Beeler ,  Ginetto Addiego

IPC分类号： B24B37/04 ,  B24B53/007 ,  B24B57/02 ,  H01L21/304 ,  B24B7/00

CPC分类号： B24B53/017 ,  B24B37/04 ,  B24B57/02

摘要： The present invention provides a method and apparatus for delivering one or more rinse agents to a surface, such as a polishing pad surface and preferably one or more polishing fluids. The invention also provides a method of cleaning one or more surfaces, such as a polishing pad surface and a substrate surface, by delivering a spray of one or more rinse agents to the surface and, preferably, causing the rinse agent to flow across the surface from a central region to an outer region where unwanted debris and material is collected.

摘要翻译： 本发明提供了一种用于将一种或多种漂洗剂递送到诸如抛光垫表面，优选一种或多种抛光流体的表面的方法和装置。 本发明还提供了一种通过将一种或多种漂洗剂的喷雾递送到表面来清洁一个或多个表面（例如抛光垫表面和基材表面）的方法，并且优选地使冲洗剂流过表面 从中心区域到外部区域，其中收集有不需要的碎屑和材料。

公开(公告)号：US06855031B2

公开(公告)日：2005-02-15

申请号：US10360558

申请日：2003-02-07

申请人： Boris Fuksshimov ,  Jeff P Rudd ,  Charles C Garretson ,  Brian J Brown

发明人： Boris Fuksshimov ,  Jeff P Rudd ,  Charles C Garretson ,  Brian J Brown

IPC分类号： B24B37/04 ,  B24B49/00 ,  B24B57/02 ,  B24B51/00

CPC分类号： B24B37/04 ,  B24B49/00 ,  B24B57/02 ,  Y10T137/0379

摘要： In a first aspect of the invention, a polishing device is provided. The polishing device includes a platen adapted to support a polishing pad and also includes a source of polishing slurry. Also included in the polishing device is a slurry supply line adapted to supply the polishing slurry from the source of polishing slurry to the polishing pad. The polishing device includes a pressure transducer installed along the slurry supply line and adapted to detect a pressure inside the slurry supply line. Numerous other aspects are provided.

摘要翻译： 在本发明的第一方面中，提供了一种抛光装置。 抛光装置包括适于支撑抛光垫的压板，并且还包括抛光浆料源。 还包括在抛光装置中的是用于将抛光浆料从抛光浆料源提供给抛光垫的浆料供应管线。 抛光装置包括沿着浆料供应管线安装并适于检测浆料供应管线内的压力的压力传感器。 提供了许多其他方面。