公开(公告)号：US06364957B1

公开(公告)日：2002-04-02

申请号：US09498795

申请日：2000-02-08

申请人： Gerhard M. Schneider ,  Hamid Noorbakhsh ,  Bryan Pu ,  Kaushik Vaidya ,  Brad Leroy Mays ,  Hung Dao ,  Evans Lee ,  Hongging Shan

发明人： Gerhard M. Schneider ,  Hamid Noorbakhsh ,  Bryan Pu ,  Kaushik Vaidya ,  Brad Leroy Mays ,  Hung Dao ,  Evans Lee ,  Hongging Shan

IPC分类号： C23C1600

CPC分类号： H01L21/67103 ,  C23C16/4585 ,  H01J37/32082 ,  H01J2237/2001

摘要： A substrate support assembly 30 comprises a substrate support 38 and a collar 130 which may comprise at least one slit 150. The slit allows for thermal expansion compensation in the support assembly 30. The collar 130 may, for example, protect the dielectric 45 from erosion in a process chamber 25. In one version, the collar 130 comprises a clamping ring 200 on the dielectric 45.

摘要翻译： 衬底支撑组件30包括衬底支撑件38和可包括至少一个狭缝150的套环130.狭缝允许在支撑组件30中进行热膨胀补偿。套环130可以例如保护电介质45免受侵蚀 在一个版本中，套环130包括在电介质45上的夹紧环200。

公开(公告)号：US06432259B1

公开(公告)日：2002-08-13

申请号：US09461682

申请日：1999-12-14

申请人： Hamid Noorbakhsh ,  Michael Welch ,  Siamak Salimian ,  Paul Luscher ,  Hongching Shan ,  Kaushik Vaidya ,  Jim Carducci ,  Evans Lee

发明人： Hamid Noorbakhsh ,  Michael Welch ,  Siamak Salimian ,  Paul Luscher ,  Hongching Shan ,  Kaushik Vaidya ,  Jim Carducci ,  Evans Lee

IPC分类号： H05H100

CPC分类号： H01J37/32522 ,  H01J37/321 ,  H01J37/3244

摘要： A plasma reactor embodying the invention includes a wafer support and a chamber enclosure member having an interior surface generally facing the wafer support. At least one miniature gas distribution plate for introducing a process gas into the reactor is supported on the chamber enclosure member and has an outlet surface which is a fraction of the area of the interior surface of said wafer support. A coolant system maintains the chamber enclosure member at a low temperature, and the miniature gas distribution plate is at least partially thermally insulated from the chamber enclosure member so that it is maintained at a higher temperature by plasma heating.

摘要翻译： 体现本发明的等离子体反应器包括晶片支撑件和室外壳构件，其具有大致面向晶片支撑件的内表面。 用于将工艺气体引入反应器的至少一个微型气体分配板被支撑在腔室外壳构件上，并且具有出口表面，该出口表面是所述晶片支撑件的内表面区域的一部分。 冷却剂系统将室外壳构件保持在低温，并且微型气体分配板与腔室外壳构件至少部分热绝缘，使得其通过等离子体加热保持在较高温度。

公开(公告)号：US20070091535A1

公开(公告)日：2007-04-26

申请号：US11561112

申请日：2006-11-17

申请人： Hamid Noorbakhsh ,  Siamak Salimian ,  Paul Luscher ,  James Carducci ,  Evans Lee ,  Kaushik Vaidya ,  Hongqing Shan ,  Michael Welch

发明人： Hamid Noorbakhsh ,  Siamak Salimian ,  Paul Luscher ,  James Carducci ,  Evans Lee ,  Kaushik Vaidya ,  Hongqing Shan ,  Michael Welch

IPC分类号： H01H47/26 ,  H01H47/32 ,  H01H50/12

CPC分类号： C23C16/45563 ,  C23C16/4401 ,  C23C16/4411 ,  H01J37/32522 ,  H01J37/32623 ,  H01J37/32633 ,  H01J2237/2001

摘要： A thermally controlled chamber liner comprising a passage having an inlet and outlet adapted to flow a fluid through the one or more fluid passages formed at least partially therein. The chamber liner may comprise a first liner, a second liner or both a first liner and a second liner. The thermally controlled chamber liner maintains a predetermined temperature by running fluid from a temperature controlled, fluid source through the fluid passages. By maintaining a predetermined temperature, deposition of films on the chamber liner is discouraged and particulate generation due to stress cracking of deposited films is minimized.

摘要翻译： 一种热控腔室衬套，其包括具有入口和出口的通道，其适于使流体流过至少部分地形成在其中的一个或多个流体通道。 腔室衬套可以包括第一衬垫，第二衬垫或第一衬垫和第二衬垫两者。 热控腔室衬里通过将流体从温度受控的流体源流过流体通道来维持预定的温度。 通过保持预定的温度，阻止膜在室衬里上的沉积，并且由于沉积膜的应力开裂引起的颗粒的产生被最小化。

公开(公告)号：US06916399B1

公开(公告)日：2005-07-12

申请号：US09325026

申请日：1999-06-03

申请人： Yan Rozenzon ,  Gil Lavi ,  Evans Y. Lee ,  Dong Ho Choi ,  Matt Hamrah ,  Paul E. Luscher ,  Kaushik Vaidya ,  Bryan Pu ,  Richard Fovell

发明人： Yan Rozenzon ,  Gil Lavi ,  Evans Y. Lee ,  Dong Ho Choi ,  Matt Hamrah ,  Paul E. Luscher ,  Kaushik Vaidya ,  Bryan Pu ,  Richard Fovell

IPC分类号： H01J37/32 ,  H01L21/00 ,  C23C16/00 ,  C23F1/00

CPC分类号： H01L21/67109 ,  H01J37/321 ,  H01J37/32522 ,  H01L21/67069

摘要： The present invention provides a temperature controlled energy transparent window or electrode used to advantage in a substrate processing system. The invention also provides methods associated with controlling lid temperature during processing and for controlling etching processes. In a preferred embodiment the invention provides a fluid supply system for the lid which allows the fluid to flow through a feedthrough and into and out of a channel formed in the window or electrode. The fluid supply system may also mount the window or electrode to a retaining ring which secures the window or electrode to the chamber. In another aspect the invention provides a bonded window or electrode having a first and second plate having a channel formed in the plates so that when the plates are bonded together they form a channel therein through which a temperature controlling fluid can be flowed. An external control system preferably regulates the temperature of the fluid.

摘要翻译： 本发明提供了一种在衬底处理系统中有利的温度控制能量透明窗或电极。 本发明还提供了与处理期间控制盖温度和控制蚀刻工艺相关的方法。 在优选实施例中，本发明提供了一种用于盖的流体供应系统，其允许流体流过馈通并进入和流出形成在窗户或电极中的通道。 流体供应系统还可以将窗口或电极安装到将窗户或电极固定到室的保持环上。 在另一方面，本发明提供了一种具有第一和第二板的键合窗或电极，该第一和第二板具有形成在板中的通道，使得当板接合在一起时，它们在其中形成通道，通过该通道可控制温度控制流体流动。 外部控制系统优选地调节流体的温度。

公开(公告)号：US07745029B2

公开(公告)日：2010-06-29

申请号：US11593927

申请日：2006-11-07

申请人： Melvin Jackson ,  Canan Uslu Hardwicke ,  Hari Nadathur Seshadri ,  Amitabh Verma ,  Sheela Ramasesha ,  Aravind Dattatrayarao Chinchure ,  Kaushik Vaidya

发明人： Melvin Jackson ,  Canan Uslu Hardwicke ,  Hari Nadathur Seshadri ,  Amitabh Verma ,  Sheela Ramasesha ,  Aravind Dattatrayarao Chinchure ,  Kaushik Vaidya

IPC分类号： H01M8/12 ,  C22C38/22

CPC分类号： H01M8/021 ,  C22C38/005 ,  C22C38/22 ,  H01M8/0204 ,  H01M8/0228 ,  H01M8/12

摘要： Oxidation-resistant ferritic steel alloys for high temperature applications consist essentially of chromium (Cr) in an amount from about 18 to about 25 atom percent, tungsten (W) in an amount from about 0.5 to about 2 atom percent, manganese (Mn) in an amount less than about 0.8 atom percent, aluminum (Al) in an amount less than about 0.2 atom percent, silicon (Si) in an amount less than about 0.1 atom percent, and rare earth metals that includes neodymium (Nd) in an amount from about 0.002 to about 0.2 atom percent with the balance being iron (Fe). Also disclosed herein are solid oxide fuel cells that include separators formed for the oxidation resistant ferritic alloys.

摘要翻译： 用于高温应用的耐氧化铁素体钢合金基本上由约18至约25原子％的铬（Cr），约0.5至约2原子％的量的钨（W），约0.5至约2原子％的量的锰（Mn） 小于约0.8原子％的量，小于约0.2原子％的铝（Al），小于约0.1原子％的硅（Si），以及包含钕（Nd）量的稀土金属， 约0.002至约0.2原子％，余量为铁（Fe）。 本文还公开了固体氧化物燃料电池，其包括为耐氧化铁素体合金形成的隔板。

公开(公告)号：US20070087250A1

公开(公告)日：2007-04-19

申请号：US11249852

申请日：2005-10-13

申请人： Daniel Lewis ,  Melvin Jackson ,  Canan Hardwicke ,  Anthony Tohmpson ,  Sheela Ramasesha ,  Hari S. ,  Aravind Chinchure ,  Kaushik Vaidya ,  Amitabh Verma

发明人： Daniel Lewis ,  Melvin Jackson ,  Canan Hardwicke ,  Anthony Tohmpson ,  Sheela Ramasesha ,  Hari S. ,  Aravind Chinchure ,  Kaushik Vaidya ,  Amitabh Verma

IPC分类号： H01M8/02 ,  C22C38/22

CPC分类号： H01M8/021 ,  C22C38/22

摘要： An alloy for an interconnect for a fuel cell is provided. The alloy comprises iron at least about 60 weight percent, chromium in the range of about 15 to about 30 weight percent and tungsten in the range of about 3 to about 4.5 weight percent. The alloy also includes at least one element selected from the group consisting of aluminum, yttrium, zirconium, lanthanum, manganese, molybdenum, nickel, vanadium, tantalum, and titanium.

摘要翻译： 提供了一种用于燃料电池的互连的合金。 该合金包含铁至少约60重量％，铬在约15至约30重量％范围内，钨在约3至约4.5重量％的范围内。 该合金还包括选自铝，钇，锆，镧，锰，钼，镍，钒，钽和钛中的至少一种元素。

公开(公告)号：US20080107947A1

公开(公告)日：2008-05-08

申请号：US11593927

申请日：2006-11-07

申请人： Melvin Jackson ,  Canan Uslu Hardwicke ,  Hari Nadathur Seshadri ,  Amitabh Verma ,  Sheela Ramasesha ,  Aravind Dattatrayarao Chinchure ,  Kaushik Vaidya

发明人： Melvin Jackson ,  Canan Uslu Hardwicke ,  Hari Nadathur Seshadri ,  Amitabh Verma ,  Sheela Ramasesha ,  Aravind Dattatrayarao Chinchure ,  Kaushik Vaidya

IPC分类号： H01M8/10 ,  C22C38/22

CPC分类号： H01M8/021 ,  C22C38/005 ,  C22C38/22 ,  H01M8/0204 ,  H01M8/0228 ,  H01M8/12

摘要： Oxidation-resistant ferritic steel alloys for high temperature applications consist essentially of chromium (Cr) in an amount from about 18 to about 25 atom percent, tungsten (W) in an amount from about 0.5 to about 2 atom percent, manganese (Mn) in an amount less than about 0.8 atom percent, aluminum (Al) in an amount less than about 0.2 atom percent, silicon (Si) in an amount less than about 0.1 atom percent, and rare earth metals that includes neodymium (Nd) in an amount from about 0.002 to about 0.2 atom percent with the balance being iron (Fe). Also disclosed herein are solid oxide fuel cells that include separators formed for the oxidation resistant ferritic alloys.

摘要翻译： 用于高温应用的耐氧化铁素体钢合金基本上由约18至约25原子％的铬（Cr），约0.5至约2原子％的量的钨（W），约0.5至约2原子％的量的锰（Mn） 小于约0.8原子％的量，小于约0.2原子％的铝（Al），小于约0.1原子％的硅（Si），以及包含钕（Nd）量的稀土金属， 约0.002至约0.2原子％，余量为铁（Fe）。 本文还公开了固体氧化物燃料电池，其包括为耐氧化铁素体合金形成的隔板。

公开(公告)号：US20070122304A1

公开(公告)日：2007-05-31

申请号：US11289194

申请日：2005-11-28

申请人： Sheela Ramasesha ,  Hari N.S. ,  Amitabh Verma ,  Aravind Chinchure ,  Kaushik Vaidya ,  Melvin Jackson

发明人： Sheela Ramasesha ,  Hari N.S. ,  Amitabh Verma ,  Aravind Chinchure ,  Kaushik Vaidya ,  Melvin Jackson

IPC分类号： C22C38/18

CPC分类号： C22C38/18 ,  C22C38/005 ,  C22C38/04 ,  C22C38/06 ,  C22C38/22

摘要： Disclosed herein is a composition comprising iron; about 18 to about 30 wt % chromium; up to about 7 wt % tungsten; up to about 1.5 wt % manganese; up to about 1 wt % aluminum; about 0.02 to about 0.1 wt % of a rare earth metal and/or yttrium; wherein the weight percents are based on the total weight of the composition. Disclosed herein too is a method comprising melting together a composition comprising iron; about 18 to about 30 wt % chromium; up to about 7 wt % tungsten; up to about 1.5 wt % manganese; up to about 1 wt % aluminum; about 0.02 to about 0.1 wt % of a rare earth metal and/or yttrium; wherein the weight percents are based on the total weight of the composition; casting the composition; and rolling the composition.

摘要翻译： 本文公开了包含铁的组合物; 约18至约30重量％的铬; 高达约7重量％的钨; 高达约1.5重量％的锰; 至多约1重量％的铝; 约0.02至约0.1重量％的稀土金属和/或钇; 其中重量百分比是基于组合物的总重量。 本文还公开了一种将包含铁的组合物熔融在一起的方法; 约18至约30重量％的铬; 高达约7重量％的钨; 高达约1.5重量％的锰; 至多约1重量％的铝; 约0.02至约0.1重量％的稀土金属和/或钇; 其中所述重量百分比基于所述组合物的总重量; 铸造组成; 并滚动组合物。

公开(公告)号：US20050221138A1

公开(公告)日：2005-10-06

申请号：US10814738

申请日：2004-04-01

申请人： Aravind Chinchure ,  Hari Ns ,  Amitabh Verma ,  Sheela Ramasesha ,  Kaushik Vaidya

发明人： Aravind Chinchure ,  Hari Ns ,  Amitabh Verma ,  Sheela Ramasesha ,  Kaushik Vaidya

IPC分类号： H01M2/14 ,  H01M8/02 ,  H01M8/10 ,  H01M8/12 ,  H01M8/24

CPC分类号： H01M8/0232 ,  H01M8/0236 ,  H01M8/0247 ,  H01M8/0252 ,  H01M8/1011 ,  H01M8/241 ,  H01M8/2432 ,  H01M8/2483 ,  H01M2008/1293 ,  Y02E60/523

摘要： In one aspect, a fuel cell assembly comprises a plurality of fuel cells. Each of the fuel cells includes an anode layer, a cathode layer and an electrolyte interposed therebetween. The fuel cell further comprises a conducting layer in intimate contact with at least one of the cathode layer and the anode layer. The conducting layer is configured to facilitate transport of electrons from the anode layer and the cathode layer.

摘要翻译： 一方面，燃料电池组件包括多个燃料电池。 每个燃料电池包括阳极层，阴极层和介于其间的电解质。 燃料电池还包括与阴极层和阳极层中的至少一个紧密接触的导电层。 导电层被配置为便于从阳极层和阴极层传输电子。