公开(公告)号：US20080258060A1

公开(公告)日：2008-10-23

申请号：US11923407

申请日：2007-10-24

申请人： JUERGEN FROSIEN ,  Helmut Banzhof ,  Jacob Levin ,  Dror Shemesh

发明人： JUERGEN FROSIEN ,  Helmut Banzhof ,  Jacob Levin ,  Dror Shemesh

IPC分类号： G01N23/00

CPC分类号： H01J37/1478 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1506 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/2806 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

摘要： A charged particle beam apparatus is provided, which comprises a charged particle beam column for generating a primary charged particle beam; a focusing assembly, such as a charged particle lens, e.g., an electrostatic lens, for focusing the primary charged particle beam on a specimen; a detector for detecting charged signal particles which are emerging from the specimen; and a deflector arrangement for deflecting the primary charged particle beam. The deflector arrangement is arranged downstream of the focusing assembly and is adapted for allowing the charged signal particles passing therethrough. The detector is laterally displaced with respect to the optical axis in a deflection direction defined by the post-focusing deflector arrangement.

摘要翻译： 提供带电粒子束装置，其包括用于产生初级带电粒子束的带电粒子束柱; 聚焦组件，例如带电粒子透镜，例如静电透镜，用于将初级带电粒子束聚焦在样本上; 用于检测从样本出现的带电信号颗粒的检测器; 以及用于偏转初级带电粒子束的偏转器装置。 偏转器布置布置在聚焦组件的下游，并且适于允许带电信号颗粒通过其中。 检测器在由后聚焦偏转器布置限定的偏转方向上相对于光轴横向移位。

公开(公告)号：US20080185514A1

公开(公告)日：2008-08-07

申请号：US11925598

申请日：2007-10-26

申请人： JUERGEN FROSIEN ,  Helmut Banzhof

发明人： JUERGEN FROSIEN ,  Helmut Banzhof

IPC分类号： B01D59/44

CPC分类号： H01J49/288 ,  H01J37/05 ,  H01J37/08 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/0805 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31749

摘要： An ion beam device is described. The ion beam device includes an ion beam source for generating an ion beam, the ion beam being emitted along a first axis, an aperture unit adapted to shape the ion beam, and an achromatic deflection unit adapted to deflect ions of the ion beam having a predetermined mass by a deflecting angle. The achromatic deflection unit includes: an electric field generating component for generating an electric field, and a magnetic field generating component for generating a magnetic field substantially perpendicular to the electric field. The device further includes a mass separation aperture adapted for blocking ions with a mass different from the predetermined mass and for allowing ions having the predetermined mass to trespass the mass separator, and an objective lens having a second optical axis, wherein the second optical axis is inclined with regard to the first axis.

摘要翻译： 描述了离子束装置。 离子束装置包括用于产生离子束的离子束源，沿着第一轴发射的离子束，适于使离子束成形的孔单元，以及适于使离子束的离子偏转的消色差偏转单元， 预定质量的偏转角。 无彩色偏转单元包括：用于产生电场的电场产生部件和用于产生基本上垂直于电场的磁场的磁场产生部件。 该装置还包括质量分离孔，其适于阻挡具有不同于预定质量的质量的离子，并允许具有预定质量的离子侵入质量分离器，以及具有第二光轴的物镜，其中第二光轴为 相对于第一轴倾斜。

公开(公告)号：US20100108902A1

公开(公告)日：2010-05-06

申请号：US12264859

申请日：2008-11-04

申请人： JUERGEN FROSIEN ,  DIETER WINKLER

发明人： JUERGEN FROSIEN ,  DIETER WINKLER

IPC分类号： H05F3/04 ,  H01J27/02

CPC分类号： H01J37/08 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/0827 ,  H01J2237/31749

摘要： A focused ion beam device is provided, including: an ion beam column adapted to house a gas field ion source emitter with an emitter tip and an emitter area for generating ions, a heating means adapted to heat the emitter tip, one or more gas inlets adapted to introduce a first gas and at least one second gas to the emitter area, an objective lens adapted to focus the ion beam generated from the first gas or the second gas, and a controller adapted to switch between a first emitter tip temperature and a second emitter tip temperature for generating an ion beam of ions of the first gas or an ion beam of ions of the at least one second gas.

摘要翻译： 提供了一种聚焦离子束装置，包括：离子束柱，其适于容纳具有发射极尖端的气体场离子源发射体和用于产生离子的发射极区域，适于加热发射极尖端的加热装置，一个或多个气体入口 适于将第一气体和至少一个第二气体引入发射器区域，适于聚焦由第一气体或第二气体产生的离子束的物镜，以及适于在第一发射极尖端温度和 用于产生所述第一气体的离子离子束或所述至少一个第二气体的离子离子束的第二发射极尖端温度。

公开(公告)号：US20090001266A1

公开(公告)日：2009-01-01

申请号：US12209079

申请日：2008-09-11

申请人： JUERGEN FROSIEN

发明人： JUERGEN FROSIEN

IPC分类号： G01N23/00

CPC分类号： H01J37/08 ,  H01J37/30 ,  H01J2237/0216 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/06316 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/26

摘要： The present invention provides a charged particle beam apparatus with a charged particle beam source including an emitter with an emitter tip; and supporting member for supporting the emitter. Further, the apparatus includes an emitter location-measuring device for repeatedly measuring the location of the emitter; and a deflector system for compensating variations in the location of the emitter.

摘要翻译： 本发明提供带电粒子束装置，带电粒子束源包括具有发射极尖端的发射极; 以及用于支撑发射器的支撑构件。 此外，该装置包括用于反复测量发射器的位置的发射器位置测量装置; 以及用于补偿发射器位置变化的偏转器系统。

公开(公告)号：US20080185517A1

公开(公告)日：2008-08-07

申请号：US11925595

申请日：2007-10-26

申请人： JUERGEN FROSIEN

发明人： JUERGEN FROSIEN

IPC分类号： G21K5/00 ,  G21K1/08 ,  G21K1/087

CPC分类号： H01J37/3056 ,  H01J2237/0245 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/0805 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/31732 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31749

摘要： An apparatus for in-situ specimen preparation is described. The apparatus includes an ion beam column 21 including at least: an liquid metal alloy ion source 56 including a first element for providing a light ion species with a mass of 10 g/mol to 60 g/mol and a second element for providing a heavy ions species with a mass of 150 g/mol or higher, a mass separator 58 for selectively separating the light ion species and the heavy ion species, and a focusing element for focusing the ion beam on a specimen. The apparatus further includes a specimen-beam-tilt unit for tilting the ion beam with respect to the specimen.

摘要翻译： 描述了用于原位样品制备的装置。 该装置包括离子束柱21，其至少包括：液态金属合金离子源56，其包括用于提供质量为10g / mol至60g / mol的轻离子物质的第一元素和用于提供重的 质量为150g / mol以上的离子物质，用于选择性分离轻离子物质和重离子物质的质量分离器58，以及用于将离子束聚焦在样品上的聚焦元件。 该装置还包括用于相对于样本倾斜离子束的样本束倾斜单元。

公开(公告)号：US20080142702A1

公开(公告)日：2008-06-19

申请号：US11925609

申请日：2007-10-26

申请人： JUERGEN FROSIEN ,  Dieter Winkler

发明人： JUERGEN FROSIEN ,  Dieter Winkler

IPC分类号： H01J27/02 ,  H01J37/28

CPC分类号： H01J27/26 ,  H01J37/08 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/0827 ,  H01J2237/244 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31749

摘要： A focused ion beam device is described. The device includes an ion beam column including an enclosure for housing an emitter with an emitter area for generating ions, a first gas inlet adapted to introduce a first gas to the emitter area, a second gas inlet adapted to introduce a second gas different from the first gas to the emitter area, and a switching unit adapted to switch between introducing the first gas and introducing the second gas.

摘要翻译： 描述了聚焦离子束装置。 该装置包括离子束柱，其包括用于容纳具有用于产生离子的发射极区域的发射极的外壳，适于将第一气体引入发射极区域的第一气体入口，适于引入不同于第二气体的第二气体的第二气体入口 第一气体到发射极区域，以及开关单元，其适于在引入第一气体和引入第二气体之间切换。