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    Optical element module
    1.
    发明申请
    Optical element module 有权
    光学元件模块

    公开(公告)号：US20070146906A1

    公开(公告)日：2007-06-28

    申请号：US11444191

    申请日：2006-05-31

    申请人： Jens Kugler ,  Ulrich Weber ,  Bernhard Gellrich ,  Yim-Bun Kwan ,  Peter Deufel

    发明人： Jens Kugler ,  Ulrich Weber ,  Bernhard Gellrich ,  Yim-Bun Kwan ,  Peter Deufel

    IPC分类号： G02B7/02

    CPC分类号： G02B7/028 ,  G02B7/008 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70891

    摘要： There is provided an optical element module comprising a first optical element and an optical element holder. The first optical element has a first coefficient of thermal expansion. The optical element holder holds the first optical element and has a second coefficient of thermal expansion, the second coefficient of thermal expansion being adapted to the first coefficient of thermal expansion. The optical element is directly contacting the optical element holder in a wide contact area. The contact area is defined by a first contact surface of the first optical element and a second contact surface of the optical element holder, wherein the second contact surface matches the first contact surface. Thus, favorable rigidity and deformation behavior is provided.

    摘要翻译： 提供了一种包括第一光学元件和光学元件保持器的光学元件模块。 第一光学元件具有第一热膨胀系数。 光学元件保持器保持第一光学元件并具有第二热膨胀系数，第二热膨胀系数适应于第一热膨胀系数。 光学元件在宽接触区域中直接接触光学元件保持器。 接触区域由第一光学元件的第一接触表面和光学元件保持器的第二接触表面限定，其中第二接触表面与第一接触表面匹配。 因此，提供了良好的刚性和变形行为。

    Optical element module
    3.
    发明授权
    Optical element module 有权
    光学元件模块

    公开(公告)号：US07986472B2

    公开(公告)日：2011-07-26

    申请号：US11444191

    申请日：2006-05-31

    申请人： Jens Kugler ,  Ulrich Weber ,  Bernhard Gellrich ,  Yim-Bun Patrick Kwan ,  Peter Deufel

    发明人： Jens Kugler ,  Ulrich Weber ,  Bernhard Gellrich ,  Yim-Bun Patrick Kwan ,  Peter Deufel

    IPC分类号： G02B7/02

    CPC分类号： G02B7/028 ,  G02B7/008 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70891

    摘要： There is provided an optical element module comprising a first optical element and an optical element holder. The first optical element has a first coefficient of thermal expansion. The optical element holder holds the first optical element and has a second coefficient of thermal expansion, the second coefficient of thermal expansion being adapted to the first coefficient of thermal expansion. The optical element is directly contacting the optical element holder in a wide contact area. The contact area is defined by a first contact surface of the first optical element and a second contact surface of the optical element holder, wherein the second contact surface matches the first contact surface. Thus, favorable rigidity and deformation behavior is provided.

    摘要翻译： 提供了一种包括第一光学元件和光学元件保持器的光学元件模块。 第一光学元件具有第一热膨胀系数。 光学元件保持器保持第一光学元件并具有第二热膨胀系数，第二热膨胀系数适应于第一热膨胀系数。 光学元件在宽接触区域中直接接触光学元件保持器。 接触区域由第一光学元件的第一接触表面和光学元件保持器的第二接触表面限定，其中第二接触表面与第一接触表面匹配。 因此，提供了良好的刚性和变形行为。

    Optical element unit for exposure processes having sealing element
    8.
    发明授权
    Optical element unit for exposure processes having sealing element 有权
    用于具有密封元件的曝光工艺的光学元件单元

    公开(公告)号：US09046795B2

    公开(公告)日：2015-06-02

    申请号：US12046186

    申请日：2008-03-11

    申请人： Tilman Schwertner ,  Ulrich Bingel ,  Guido Limbach ,  Julian Kaller ,  Hans-Juergen Scherle ,  Jens Kugler ,  Dirk Schaffer ,  Bernhard Gellrich

    发明人： Tilman Schwertner ,  Ulrich Bingel ,  Guido Limbach ,  Julian Kaller ,  Hans-Juergen Scherle ,  Jens Kugler ,  Dirk Schaffer ,  Bernhard Gellrich

    IPC分类号： G03F7/20

    CPC分类号： G03F7/7015 ,  G02B27/0006 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70883 ,  G03F7/70908 ,  G03F7/70916 ,  G03F7/70933 ,  Y10T29/49

    摘要： An optical element unit includes a first optical element module and a sealing arrangement. The first optical element module occupies a first module space and includes a first module component of a first component type and an associated second module component of a second component type. The first component type is optical elements and the second component type being different from the first component type. The sealing arrangement separates the first module space into a first space and a second space and substantially pre-vents, at least in a first direction, the intrusion of substances from one of the first space and the second space into the other one of the first space and the second space. The first module component at least partially contacts the first space and, at least in its area optically used, not contacting the second space. The second module component at least partially contacts the second space.

    摘要翻译： 光学元件单元包括第一光学元件模块和密封装置。 第一光学元件模块占据第一模块空间并且包括第一组件类型的第一模块组件和第二组件类型的相关联的第二模块组件。 第一部件类型是光学元件，第二部件类型与第一部件类型不同。 密封装置将第一模块空间分隔成第一空间和第二空间，并且至少在第一方向上基本上预先将物质从第一空间和第二空间中的一个进入另一个第一空间 空间和第二空间。 第一模块部件至少部分地接触第一空间，并且至少在其光学使用的区域中不接触第二空间。 第二模块组件至少部分地接触第二空间。

    Optical projection system
    9.
    发明授权
    Optical projection system 有权
    光学投影系统

    公开(公告)号：US08300210B2

    公开(公告)日：2012-10-30

    申请号：US11664896

    申请日：2005-10-01

    申请人： Johannes Rau ,  Armin Schoeppach ,  Bernhard Gellrich ,  Jens Kugler ,  Martin Mahlmann ,  Bernhard Geuppert ,  Thomas Petasch ,  Gerhard Fuerter

    发明人： Johannes Rau ,  Armin Schoeppach ,  Bernhard Gellrich ,  Jens Kugler ,  Martin Mahlmann ,  Bernhard Geuppert ,  Thomas Petasch ,  Gerhard Fuerter

    IPC分类号： G03B27/54 ,  G03B27/42 ,  G02B7/02

    CPC分类号： G03F7/7015 ,  G02B7/00 ,  G02B7/008 ,  G02B7/021 ,  G02B7/028 ,  G02B7/22 ,  G02B17/08 ,  G02B17/0804 ,  G02B17/0812 ,  G02B17/0892 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/70883

    摘要： An optical projection unit comprising a first optical element module and at least one second optical element module is provided. The first optical element module comprises a first housing unit and at least a first optical element, the first optical element being received within the first housing unit and having an optically used first region defining a first optical axis. The at least one second optical element module is located adjacent to the first optical element module and comprises at least one second optical element, the second optical element defining a second optical axis of the optical projection unit. The first housing unit has a central first housing axis and an outer wall extending in a circumferential direction about the first housing axis. The first optical axis is at least one of laterally offset and inclined with respect to the first housing axis. Furthermore, the first housing axis is substantially collinear with the second optical axis.

    摘要翻译： 提供了包括第一光学元件模块和至少一个第二光学元件模块的光学投影单元。 第一光学元件模块包括第一壳体单元和至少第一光学元件，第一光学元件被接收在第一壳体单元内并且具有限定第一光轴的光学使用的第一区域。 所述至少一个第二光学元件模块位于与所述第一光学元件模块相邻并且包括至少一个第二光学元件，所述第二光学元件限定所述光学投影单元的第二光轴。 第一壳体单元具有中心的第一壳体轴线和围绕第一壳体轴线在圆周方向上延伸的外壁。 第一光轴是相对于第一壳体轴线的横向偏移和倾斜中的至少一个。 此外，第一壳体轴线与第二光轴基本共线。

    Optical imaging device
    10.
    发明申请
    Optical imaging device 审中-公开
    光学成像装置

    公开(公告)号：US20080013063A1

    公开(公告)日：2008-01-17

    申请号：US11804632

    申请日：2007-05-18

    申请人： Stefan Hembacher ,  Bernhard Gellrich ,  Jens Kugler

    发明人： Stefan Hembacher ,  Bernhard Gellrich ,  Jens Kugler

    IPC分类号： G02B7/04 ,  G03B27/68

    CPC分类号： G03F7/7015 ,  G03F7/70241 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70883

    摘要： There is provided an optical imaging device, in particular for microlithography, comprising at least one optical element and at least one holding device associated to the optical element (109), wherein the holding device holds the optical element and a first part (109.1) of the optical element contacts a first atmosphere and a second part (109.2) of the optical element at least temporarily contacts a second atmosphere. There is provided a reduction device at least reducing dynamic fluctuations in the pressure difference between the first atmosphere and the second atmosphere.

    摘要翻译： 提供了一种光学成像装置，特别是用于微光刻，包括至少一个光学元件和与光学元件（109）相关联的至少一个保持装置，其中保持装置保持光学元件和第一部分（109.1） 光学元件接触第一大气，并且光学元件的第二部分（109.2）至少临时接触第二气氛。 提供一种还原装置，至少减少第一大气和第二气氛之间的压差的动态波动。