公开(公告)号：US20120254813A1

公开(公告)日：2012-10-04

申请号：US13439692

申请日：2012-04-04

申请人： Luoqi Chen ,  Jun Ye ,  Hong Chen

发明人： Luoqi Chen ,  Jun Ye ,  Hong Chen

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G06F17/5081 ,  G03F1/70 ,  G03F7/70433 ,  G03F7/70466 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70508 ,  G03F7/707

摘要： The present invention relates to lithographic apparatuses and processes, and more particularly to multiple patterning lithography for printing target patterns beyond the limits of resolution of the lithographic apparatus. A method of splitting a pattern to be imaged onto a substrate via a lithographic process into a plurality of sub-patterns is disclosed, wherein the method comprises a splitting step being configured to be aware of requirements of a co-optimization between at least one of the sub-patterns and an optical setting of the lithography apparatus used for the lithographic process. Device characteristic optimization techniques, including intelligent pattern selection based on diffraction signature analysis, may be integrated into the multiple patterning process flow.

摘要翻译： 本发明涉及光刻设备和工艺，更具体地涉及用于将目标图案打印超出光刻设备的分辨率限制的多重图形化光刻技术。 公开了一种通过光刻处理将待成像的图案图案分割成多个子图案的方法，其中该方法包括分割步骤，其被配置为意识到在以下过程中的至少一个之间的共优化的要求： 用于光刻工艺的光刻设备的子图案和光学设置。 包括基于衍射特征分析的智能图案选择的设备特征优化技术可以被集成到多个图案化工艺流程中。

公开(公告)号：US20120216156A1

公开(公告)日：2012-08-23

申请号：US13505286

申请日：2010-10-26

申请人： Hua-Yu Liu ,  Luoqi Chen ,  Hong Chen ,  Zhi-Pan Li ,  Jun Ye ,  Min-Chun Tsai ,  Youping Zhang ,  Yen-Wen Lu ,  Jiangwei Li

发明人： Hua-Yu Liu ,  Luoqi Chen ,  Hong Chen ,  Zhi-Pan Li ,  Jun Ye ,  Min-Chun Tsai ,  Youping Zhang ,  Yen-Wen Lu ,  Jiangwei Li

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G06F17/5081 ,  G03F1/144 ,  G03F1/36 ,  G03F7/70125 ,  G03F7/70425 ,  G03F7/70441 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70666 ,  G06F17/50 ,  G06F17/5009

摘要： The present invention relates to a method of selecting a subset of patterns from a design, to a method of performing source and mask optimization, and to a computer program product for performing the method of selecting a subset of patterns from a design. According to certain aspects, the present invention enables coverage of the full design while lowering the computation cost by intelligently selecting a subset of patterns from a design in which the design or a modification of the design is configured to be imaged onto a substrate via a lithographic process. The method of selecting the subset of patterns from a design includes identifying a set of patterns from the design related to the predefined representation of the design. By selecting the subset of patterns according to the method, the selected subset of patterns constitutes a similar predefined representation of the design as the set of patterns.

摘要翻译： 本发明涉及从设计中选择模式子集的方法，以及执行源和掩码优化的方法以及用于执行从设计中选择模式子集的方法的计算机程序产品。 根据某些方面，本发明能够覆盖整个设计，同时降低计算成本，通过智能地从设计中选择图案子集，其中设计的设计或修改被配置为经由光刻成像到衬底上 处理。 从设计中选择图案子集的方法包括从与设计的预定义表示相关的设计中识别一组图案。 通过根据该方法选择模式子集，所选择的模式子集构成与模式集合相似的设计表示。

公开(公告)号：US20140012672A1

公开(公告)日：2014-01-09

申请号：US13543708

申请日：2012-07-06

申请人： Jun Ye ,  Yu Cao ,  Luoqi Chen ,  Ya Luo ,  Wei Zhuang ,  Hanying Feng ,  Hong Chen

发明人： Jun Ye ,  Yu Cao ,  Luoqi Chen ,  Ya Luo ,  Wei Zhuang ,  Hanying Feng ,  Hong Chen

IPC分类号： G06Q30/02

CPC分类号： G06Q30/0241

摘要： A method of providing targeted online advertisement includes receiving a request for an ad impression. The request includes a first content and a second content. The method also includes determining information related to (i) a context of the first content, (ii) a context of the second content, and (iii) a correlation between the context of the first content and the context of the second content, and providing the determined information to a bidding service, thereby enabling one or more advertisers to place one or more bids on the ad impression based on the provided information. Each of the one or more bids includes a bid price. The method further includes receiving the one or more bids for the ad impression, selecting one of the one or more received bids based at least in part on the bid prices, and providing an ad impression associated with the selected bid.

摘要翻译： 提供有针对性的在线广告的方法包括接收对广告印象的请求。 该请求包括第一内容和第二内容。 该方法还包括确定与（i）第一内容的上下文相关的信息，（ii）第二内容的上下文，以及（iii）第一内容的上下文与第二内容的上下文之间的相关性，以及 将确定的信息提供给投标服务，从而使得一个或多个广告商能够基于所提供的信息对广告印象进行一个或多个出价。 每个一个或多个出价都包含一个出价。 所述方法还包括接收针对所述广告展示的所述一个或多个出价，至少部分地基于所述出价来选择所述一个或多个所接收的出价中的一个，以及提供与所选择的出价相关联的广告展示。

公开(公告)号：US08739082B2

公开(公告)日：2014-05-27

申请号：US13505286

申请日：2010-10-26

申请人： Hua-Yu Liu ,  Luoqi Chen ,  Hong Chen ,  Zhi-Pan Li ,  Jun Ye ,  Min-Chun Tsai ,  Youping Zhang ,  Yen-Wen Lu ,  Jiangwei Li

发明人： Hua-Yu Liu ,  Luoqi Chen ,  Hong Chen ,  Zhi-Pan Li ,  Jun Ye ,  Min-Chun Tsai ,  Youping Zhang ,  Yen-Wen Lu ,  Jiangwei Li

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G06F17/5081 ,  G03F1/144 ,  G03F1/36 ,  G03F7/70125 ,  G03F7/70425 ,  G03F7/70441 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70666 ,  G06F17/50 ,  G06F17/5009

摘要： The present invention relates to a method of selecting a subset of patterns from a design, to a method of performing source and mask optimization, and to a computer program product for performing the method of selecting a subset of patterns from a design. According to certain aspects, the present invention enables coverage of the full design while lowering the computation cost by intelligently selecting a subset of patterns from a design in which the design or a modification of the design is configured to be imaged onto a substrate via a lithographic process. The method of selecting the subset of patterns from a design includes identifying a set of patterns from the design related to the predefined representation of the design. By selecting the subset of patterns according to the method, the selected subset of patterns constitutes a similar predefined representation of the design as the set of patterns.

摘要翻译： 本发明涉及从设计中选择模式子集的方法，以及执行源和掩码优化的方法以及用于执行从设计中选择模式子集的方法的计算机程序产品。 根据某些方面，本发明能够覆盖整个设计，同时降低计算成本，通过智能地从设计中选择图案子集，其中设计的设计或修改被配置为经由光刻成像到衬底上 处理。 从设计中选择图案子集的方法包括从与设计的预定义表示相关的设计中识别一组图案。 通过根据该方法选择模式子集，所选择的模式子集构成与模式集合相似的设计表示。

公开(公告)号：US20140012671A1

公开(公告)日：2014-01-09

申请号：US13543705

申请日：2012-07-06

申请人： Jun Ye ,  Yu Cao ,  Luoqi Chen ,  Ya Luo ,  Wei Zhuang ,  Hanying Feng ,  Hong Chen

发明人： Jun Ye ,  Yu Cao ,  Luoqi Chen ,  Ya Luo ,  Wei Zhuang ,  Hanying Feng ,  Hong Chen

IPC分类号： G06Q30/02

CPC分类号： G06Q30/0251

摘要： A method of providing targeted online advertisement includes receiving a request for an ad impression to be provided to a user in a network environment. The request includes a first content and a second content. The method also includes, using a processor, determining a context of the first content and a context of the second content, determining a correlation between the context of the first content and the context of the second content, and identifying a plurality of ads as candidates for consideration. The method further includes, using the processor, ranking the plurality of identified ads, selecting an ad among the plurality of identified ads based at least in part on a result of the ranking, and providing the selected ad as the ad impression to be displayed to the user in response to receiving the request.

摘要翻译： 提供目标在线广告的方法包括在网络环境中接收要向用户提供的广告印象的请求。 该请求包括第一内容和第二内容。 该方法还包括使用处理器确定第一内容的上下文和第二内容的上下文，确定第一内容的上下文与第二内容的上下文之间的相关性，以及将多个广告标识为候选 审议。 所述方法还包括：使用所述处理器对所述多个识别的广告进行排名，至少部分地基于所述排名的结果来选择所述多个识别的广告中的广告，并且将所选择的广告提供为要显示的广告展示 用户响应于接收到请求。

公开(公告)号：US08819601B2

公开(公告)日：2014-08-26

申请号：US13439692

申请日：2012-04-04

申请人： Luoqi Chen ,  Jun Ye ,  Hong Chen

发明人： Luoqi Chen ,  Jun Ye ,  Hong Chen

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G06F17/5081 ,  G03F1/70 ,  G03F7/70433 ,  G03F7/70466 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70508 ,  G03F7/707

摘要： The present invention relates to lithographic apparatuses and processes, and more particularly to multiple patterning lithography for printing target patterns beyond the limits of resolution of the lithographic apparatus. A method of splitting a pattern to be imaged onto a substrate via a lithographic process into a plurality of sub-patterns is disclosed, wherein the method comprises a splitting step being configured to be aware of requirements of a co-optimization between at least one of the sub-patterns and an optical setting of the lithography apparatus used for the lithographic process. Device characteristic optimization techniques, including intelligent pattern selection based on diffraction signature analysis, may be integrated into the multiple patterning process flow.

摘要翻译： 本发明涉及光刻设备和工艺，更具体地涉及用于将目标图案打印超出光刻设备的分辨率限制的多重图形化光刻技术。 公开了一种通过光刻处理将待成像的图案图案分割成多个子图案的方法，其中该方法包括分割步骤，其被配置为意识到在以下过程中的至少一个之间的共优化的要求： 用于光刻工艺的光刻设备的子图案和光学设置。 包括基于衍射特征分析的智能图案选择的设备特征优化技术可以被集成到多个图案化工艺流程中。

公开(公告)号：US08543947B2

公开(公告)日：2013-09-24

申请号：US12914954

申请日：2010-10-28

申请人： Hua-Yu Liu ,  Luoqi Chen ,  Hong Chen ,  Zhi-Pan Li

发明人： Hua-Yu Liu ,  Luoqi Chen ,  Hong Chen ,  Zhi-Pan Li

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G06F17/5081 ,  G03F1/144 ,  G03F1/36 ,  G03F7/70125 ,  G03F7/70425 ,  G03F7/70441 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70666 ,  G06F17/50 ,  G06F17/5009

摘要： The present invention relates generally to selecting optimum patterns based on diffraction signature analysis, and more particularly to, using the optimum patterns for mask-optimization for lithographic imaging. A respective diffraction map is generated for each of a plurality of target patterns from an initial larger set of target patterns from the design layout. Diffraction signatures are identified from the various diffraction maps. The plurality of target patterns is grouped into various diffraction-signature groups, the target patterns in a specific diffraction-signature group having similar diffraction signature. A subset of target patterns is selected to cover all possible diffraction-signature groups, such that the subset of target patterns represents at least a part of the design layout for the lithographic process. The grouping of the plurality of target patterns may be governed by predefined rules based on similarity of diffraction signature. The predefined rules comprise coverage relationships existing between the various diffraction-signature groups.

摘要翻译： 本发明一般涉及基于衍射特征分析来选择最佳图案，并且更具体地涉及使用用于光刻成像的掩模优化的最佳图案。 从来自设计布局的初始较大的目标图案集合中的多个目标图案中的每一个生成相应的衍射图。 从各种衍射图识别衍射特征。 多个目标图案被分组成各种衍射签名组，具有相似衍射特征的特定衍射签名组中的目标图案。 选择目标图案的子集以覆盖所有可能的衍射签名组，使得目标图案的子集代表光刻工艺的设计布局的至少一部分。 多个目标图案的分组可以通过基于衍射签名的相似性的预定规则来管理。 预定义的规则包括存在于各种衍射签名组之间的覆盖关系。

公开(公告)号：US20110107280A1

公开(公告)日：2011-05-05

申请号：US12914954

申请日：2010-10-28

申请人： Hua-Yu Liu ,  Luoqi Chen ,  Hong Chen ,  Zhi-Pan Li

发明人： Hua-Yu Liu ,  Luoqi Chen ,  Hong Chen ,  Zhi-Pan Li

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G06F17/5081 ,  G03F1/144 ,  G03F1/36 ,  G03F7/70125 ,  G03F7/70425 ,  G03F7/70441 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70666 ,  G06F17/50 ,  G06F17/5009

摘要： The present invention relates generally to selecting optimum patterns based on diffraction signature analysis, and more particularly to, using the optimum patterns for mask-optimization for lithographic imaging. A respective diffraction map is generated for each of a plurality of target patterns from an initial larger set of target patterns from the design layout. Diffraction signatures are identified from the various diffraction maps. The plurality of target patterns is grouped into various diffraction-signature groups, the target patterns in a specific diffraction-signature group having similar diffraction signature. A subset of target patterns is selected to cover all possible diffraction-signature groups, such that the subset of target patterns represents at least a part of the design layout for the lithographic process. The grouping of the plurality of target patterns may be governed by predefined rules based on similarity of diffraction signature. The predefined rules comprise coverage relationships existing between the various diffraction-signature groups.

摘要翻译： 本发明一般涉及基于衍射特征分析来选择最佳图案，更具体地说，涉及使用用于光刻成像的掩模优化的最佳图案。 从来自设计布局的初始较大的目标图案集合中的多个目标图案中的每一个生成相应的衍射图。 从各种衍射图识别衍射特征。 多个目标图案被分组成各种衍射签名组，具有相似衍射特征的特定衍射签名组中的目标图案。 选择目标图案的子集以覆盖所有可能的衍射签名组，使得目标图案的子集代表光刻工艺的设计布局的至少一部分。 多个目标图案的分组可以通过基于衍射签名的相似性的预定规则来管理。 预定义的规则包括存在于各种衍射签名组之间的覆盖关系。

公开(公告)号：US09470867B1

公开(公告)日：2016-10-18

申请号：US14756752

申请日：2015-10-08

申请人： Chun-Nam Chan James ,  Hong Chen ,  Donovan Hammersley ,  Mahmud Harji

发明人： Chun-Nam Chan James ,  Hong Chen ,  Donovan Hammersley ,  Mahmud Harji

IPC分类号： G02B6/44

CPC分类号： G02B6/445 ,  G02B6/4447 ,  G02B6/4452 ,  G02B6/4471

摘要： The unit for retaining/securing a fiber optic cable comprises an enclosure including a tray having a back base plate, a top and a bottom sides and a unit for retaining/securing a fiber optic cable, disposed in an interior of the enclosure. The bottom side is provided with a pair of identical apertures. Each aperture resembles to a flat shovel having an upper rectangular shape continued by a circular sector; the aperture is so profiled as to engage alternatively a biting-retaining fixture for inserting a cable or an exit grommet for a leaving cable; the former is made of a rigid plastic, while the second—of a soft, elastic polymer. The unit for retaining/securing a fiber optic cable is actuated by a shifting lever, having a shape of an angled, cantilevered part with a longitudinal axis of symmetry bent generally at 90 degrees.

摘要翻译： 用于保持/固定光纤电缆的单元包括外壳，其包括具有后基板，顶部和底侧的托盘和用于保持/固定设置在外壳内部的光纤电缆的单元。 底侧设有一对相同的孔。 每个孔类似于具有由圆形扇形继续的上矩形的平铲; 该孔是如此轮廓以交替地与咬合保持夹具相配合，用于插入用于离开电缆的电缆或出口护环; 前者由刚性塑料制成，而第二种是柔软的弹性聚合物。 用于保持/固定光纤电缆的单元由变速杆致动，变速杆具有成角度的悬臂部分的形状，其纵向对称轴线通常以90度弯曲。

公开(公告)号：US09418310B1

公开(公告)日：2016-08-16

申请号：US13529834

申请日：2012-06-21

申请人： Hong Chen ,  Ming Zhao ,  Junqing Shang ,  Michael Patrick Bacus ,  Sherif M. Yacoub

发明人： Hong Chen ,  Ming Zhao ,  Junqing Shang ,  Michael Patrick Bacus ,  Sherif M. Yacoub

IPC分类号： G06K9/46 ,  G06K9/66 ,  G06K9/00

CPC分类号： G06K9/4638 ,  G06K9/00442 ,  G06K9/036 ,  G06K2209/00 ,  G06K2209/01

摘要： In some implementations, legibility of an image may be automatically determined based, at least in part, on text contained in the image. For example, image analysis techniques may be used to identify text components in an image. One or more features of each text component may be determined for use in assessing the legibility of the text component. For example, a classifier trained on the one or more features may provide a confidence level indicative of the legibility of each text component. The confidence level for each of the text components may be compared to a legibility threshold for determining whether the text component is legible or illegible. Based, at least in part, on the determination as to how much of the text in the image is legible or illegible, an overall legibility of the image may be assessed.

摘要翻译： 在一些实现中，可以至少部分地基于图像中包含的文本来自动确定图像的可读性。 例如，可以使用图像分析技术来识别图像中的文本分量。 可以确定每个文本组件的一个或多个特征以用于评估文本组件的可读性。 例如，针对一个或多个特征训练的分类器可以提供指示每个文本分量的可读性的置信水平。 可以将每个文本分量的置信水平与用于确定文本分量是否可读或难以辨认的可读性阈值进行比较。 至少部分地基于对图像中的文本多少可读或不清楚的确定，可以评估图像的整体可读性。