公开(公告)号：US5019552A

公开(公告)日：1991-05-28

申请号：US482131

申请日：1990-02-20

申请人： Mehdi Balooch ,  Donald K. Olander ,  Richard E. Russo

发明人： Mehdi Balooch ,  Donald K. Olander ,  Richard E. Russo

IPC分类号： C04B41/50 ,  C04B41/85 ,  C23C14/08 ,  C23C14/28 ,  H01L39/24

CPC分类号： C04B41/009 ,  C04B41/5074 ,  C04B41/85 ,  C23C14/087 ,  C23C14/28 ,  H01L39/2448 ,  Y10S505/73 ,  Y10S505/732

摘要： A method of depositing thin films by means of laser vaporization employs a long-pulse laser (Nd-glass of about one millisecond duration) with a peak power density typically in the range 10.sup.5 -10.sup.6 W/cm.sup.2. The method may be used to produce high T.sub.c superconducting films of perovskite material. In one embodiment, a few hundred nanometers thick film of YBa.sub.2 Cu.sub.3 O.sub.7-x is produced on a SrTiO.sub.3 crystal substrate in one or two pulses. In situ-recrystallization and post-annealing, both at elevated temperature and in the presence of an oxidizing agenThe invention described herein arose in the course of, or under, Contract No. DE-C03-76SF0098 between the United States Department of Energy and the University of California.

摘要翻译： 通过激光蒸发沉积薄膜的方法采用通常在105-106W / cm 2范围内的峰值功率密度的长脉冲激光（大约1毫秒持续时间的Nd玻璃）。 该方法可用于生产钙钛矿材料的高Tc超导膜。 在一个实施例中，在一个或两个脉冲中，在SrTiO3晶体衬底上产生几百纳米厚的YBa2Cu3O7-x膜。 在高温和氧化剂存在下，原位重结晶和后退火有助于提高膜质量。 薄膜厚度表现出具有蒸汽发射角的cosθ依赖性，并且薄膜组成与该角度无关。