公开(公告)号：US20060177998A1

公开(公告)日：2006-08-10

申请号：US11379435

申请日：2006-04-20

申请人： Ming-Ren Lin ,  Witold Maszara ,  Haihong Wang ,  Bin Yu

发明人： Ming-Ren Lin ,  Witold Maszara ,  Haihong Wang ,  Bin Yu

IPC分类号： H01L21/3205

CPC分类号： H01L29/785 ,  H01L29/4908 ,  H01L29/66795 ,  H01L29/7842

摘要： A method may include forming a gate electrode over a fin structure, depositing a first metal layer on a top surface of the gate electrode, performing a first silicide process to convert a portion of the gate electrode into a metal-silicide compound, depositing a second metal layer on a top surface of the metal-silicide compound, and performing a second silicide process to form a fully-silicided gate electrode.

摘要翻译： 一种方法可以包括在鳍结构上形成栅电极，在栅电极的顶表面上沉积第一金属层，执行第一硅化工艺以将栅电极的一部分转化为金属硅化物， 在金属硅化物化合物的顶表面上的金属层，并且执行第二硅化物处理以形成全硅化物栅电极。

公开(公告)号：US08580660B2

公开(公告)日：2013-11-12

申请号：US13523603

申请日：2012-06-14

申请人： Ming-Ren Lin ,  Judy Xilin An ,  Zoran Krivokapic ,  Cyrus E. Tabery ,  Haihong Wang ,  Bin Yu

发明人： Ming-Ren Lin ,  Judy Xilin An ,  Zoran Krivokapic ,  Cyrus E. Tabery ,  Haihong Wang ,  Bin Yu

IPC分类号： H01L29/72

CPC分类号： H01L29/785 ,  H01L29/42384 ,  H01L29/66795 ,  H01L29/66818

摘要： A double gate metal-oxide semiconductor field-effect transistor (MOSFET) includes a fin, a first gate and a second gate. The first gate is formed on top of the fin. The second gate surrounds the fin and the first gate. In another implementation, a triple gate MOSFET includes a fin, a first gate, a second gate, and a third gate. The first gate is formed on top of the fin. The second gate is formed adjacent the fin. The third gate is formed adjacent the fin and opposite the second gate.

摘要翻译： 双栅极金属氧化物半导体场效应晶体管（MOSFET）包括鳍状物，第一栅极和第二栅极。 第一个门形成在鳍的顶部。 第二个门围绕翅片和第一个门。 在另一实施方案中，三栅极MOSFET包括鳍片，第一栅极，第二栅极和第三栅极。 第一个门形成在鳍的顶部。 第二个门形成在翅片附近。 第三栅极形成在翅片附近并与第二栅极相对。

公开(公告)号：US07235436B1

公开(公告)日：2007-06-26

申请号：US10614051

申请日：2003-07-08

申请人： Ming-Ren Lin ,  Zoran Krivokapic ,  Haihong Wang ,  Bin Yu

发明人： Ming-Ren Lin ,  Zoran Krivokapic ,  Haihong Wang ,  Bin Yu

IPC分类号： H01L21/84

CPC分类号： H01L21/845 ,  H01L27/1211 ,  H01L29/66795 ,  H01L29/785

摘要： A method for doping fin structures in FinFET devices includes forming a first glass layer on the fin structure of a first area and a second area. The method further includes removing the first glass layer from the second area, forming a second glass layer on the fin structure of the first area and the second area, and annealing the first area and the second area to dope the fin structures.

摘要翻译： 在FinFET器件中掺杂鳍结构的方法包括在第一区域和第二区域的鳍结构上形成第一玻璃层。 该方法还包括从第二区域去除第一玻璃层，在第一区域和第二区域的翅片结构上形成第二玻璃层，并退火第一区域和第二区域以掺杂翅片结构。

公开(公告)号：US06812119B1

公开(公告)日：2004-11-02

申请号：US10614052

申请日：2003-07-08

申请人： Shibly S. Ahmed ,  Ming-Ren Lin ,  Haihong Wang ,  Bin Yu

发明人： Shibly S. Ahmed ,  Ming-Ren Lin ,  Haihong Wang ,  Bin Yu

IPC分类号： H01L213205

CPC分类号： H01L29/785 ,  H01L29/66818 ,  H01L29/7842

摘要： A method of forming fins for a double-gate fin field effect transistor (FinFET) includes forming a second layer of semi-conducting material over a first layer of semi-conducting material and forming double caps in the second layer of semi-conducting material. The method further includes forming spacers adjacent sides of each of the double caps and forming double fins in the first layer of semi-conducting material beneath the double caps. The method also includes thinning the double fins to produce narrow double fins.

摘要翻译： 一种形成双栅极鳍效应晶体管（FinFET）的鳍片的方法包括在第一半导体材料层上形成第二半导电材料层，并在第二半导体材料层中形成双重盖子。 该方法还包括在每个双盖的侧面上形成间隔物，并在双重帽下面的第一半导体材料层中形成双翅片。 该方法还包括使双翅片变薄以产生窄的双翅片。

公开(公告)号：US08222680B2

公开(公告)日：2012-07-17

申请号：US10274961

申请日：2002-10-22

申请人： Ming-Ren Lin ,  Judy Xilin An ,  Zoran Krivokapic ,  Cyrus E. Tabery ,  Haihong Wang ,  Bin Yu

发明人： Ming-Ren Lin ,  Judy Xilin An ,  Zoran Krivokapic ,  Cyrus E. Tabery ,  Haihong Wang ,  Bin Yu

IPC分类号： H01L29/72

CPC分类号： H01L29/785 ,  H01L29/42384 ,  H01L29/66795 ,  H01L29/66818

摘要： A double gate metal-oxide semiconductor field-effect transistor (MOSFET) includes a fin, a first gate and a second gate. The first gate is formed on top of the fin. The second gate surrounds the fin and the first gate. In another implementation, a triple gate MOSFET includes a fin, a first gate, a second gate, and a third gate. The first gate is formed on top of the fin. The second gate is formed adjacent the fin. The third gate is formed adjacent the fin and opposite the second gate.

摘要翻译： 双栅极金属氧化物半导体场效应晶体管（MOSFET）包括鳍状物，第一栅极和第二栅极。 第一个门形成在鳍的顶部。 第二个门围绕翅片和第一个门。 在另一实施方案中，三栅极MOSFET包括鳍片，第一栅极，第二栅极和第三栅极。 第一个门形成在鳍的顶部。 第二个门形成在翅片附近。 第三栅极形成在翅片附近并与第二栅极相对。

公开(公告)号：US07250645B1

公开(公告)日：2007-07-31

申请号：US10761374

申请日：2004-01-22

申请人： Haihong Wang ,  Shibly S. Ahmed ,  Ming-Ren Lin ,  Bin Yu

发明人： Haihong Wang ,  Shibly S. Ahmed ,  Ming-Ren Lin ,  Bin Yu

IPC分类号： H01L29/76 ,  H01L27/08

CPC分类号： H01L29/785 ,  H01L29/42392 ,  H01L29/66795 ,  H01L29/7842

摘要： A fin field effect transistor (FinFET) includes a reversed T-shaped fin. The FinFET further includes source and drain regions formed adjacent the reversed T-shaped fin. The FinFET further includes a dielectric layer formed adjacent surfaces of the fin and a gate formed adjacent the dielectric layer.

摘要翻译： 翅片场效应晶体管（FinFET）包括反转的T形翅片。 FinFET还包括邻近反转的T形翅片形成的源极和漏极区域。 FinFET还包括邻近散热片表面形成的电介质层和邻近电介质层形成的栅极。

公开(公告)号：US06852576B2

公开(公告)日：2005-02-08

申请号：US10825175

申请日：2004-04-16

申请人： Ming-Ren Lin ,  Haihong Wang ,  Bin Yu

发明人： Ming-Ren Lin ,  Haihong Wang ,  Bin Yu

IPC分类号： H01L21/336 ,  H01L21/8234 ,  H01L27/088 ,  H01L29/786 ,  H01L21/84

CPC分类号： H01L29/785 ,  H01L21/823412 ,  H01L21/823437 ,  H01L27/088 ,  H01L29/66795 ,  H01L29/7842

摘要： A method forms fin structures for a semiconductor device. The method includes forming a first fin structure including a dielectric material and including a first side surface and a second side surface; forming a second fin structure adjacent the first side surface of the first fin structure; and forming a third fin structure adjacent the second side surface of the first fin structure. The second fin structure and the third fin structure are formed of a different material than the first fin structure.

摘要翻译： 一种形成半导体器件的鳍结构的方法。 该方法包括形成包括电介质材料并包括第一侧表面和第二侧表面的第一鳍结构; 在所述第一翅片结构的第一侧表面附近形成第二鳍结构; 以及在所述第一翅片结构的所述第二侧表面附近形成第三鳍​​结构。 第二翅片结构和第三翅片结构由与第一翅片结构不同的材料形成。

公开(公告)号：US08008136B2

公开(公告)日：2011-08-30

申请号：US11379435

申请日：2006-04-20

申请人： Ming-Ren Lin ,  Witold P. Maszara ,  Haihong Wang ,  Bin Yu

发明人： Ming-Ren Lin ,  Witold P. Maszara ,  Haihong Wang ,  Bin Yu

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L21/84

CPC分类号： H01L29/785 ,  H01L29/4908 ,  H01L29/66795 ,  H01L29/7842

摘要： A method may include forming a gate electrode over a fin structure, depositing a first metal layer on a top surface of the gate electrode, performing a first silicide process to convert a portion of the gate electrode into a metal-silicide compound, depositing a second metal layer on a top surface of the metal-silicide compound, and performing a second silicide process to form a fully-silicided gate electrode.

摘要翻译： 一种方法可以包括在鳍结构上形成栅电极，在栅电极的顶表面上沉积第一金属层，执行第一硅化工艺以将栅电极的一部分转化为金属硅化物， 在金属硅化物化合物的顶表面上的金属层，并且执行第二硅化物处理以形成全硅化物栅电极。

公开(公告)号：US07541267B1

公开(公告)日：2009-06-02

申请号：US11765611

申请日：2007-06-20

申请人： Haihong Wang ,  Shibly S. Ahmed ,  Ming-Ren Lin ,  Bin Yu

发明人： Haihong Wang ,  Shibly S. Ahmed ,  Ming-Ren Lin ,  Bin Yu

IPC分类号： H01L21/28

CPC分类号： H01L29/785 ,  H01L29/42392 ,  H01L29/66795 ,  H01L29/7842

摘要： A method includes forming a first rectangular mesa from a layer of semiconducting material and forming a first dielectric layer around the first mesa. The method further includes forming a first rectangular mask over a first portion of the first mesa leaving an exposed second portion of the first mesa and etching the exposed second portion of the first mesa to produce a reversed T-shaped fin from the first mesa.

摘要翻译： 一种方法包括从半导体材料层形成第一矩形台面并在第一台面周围形成第一介电层。 该方法还包括在第一台面的第一部分上形成第一矩形掩模，离开第一台面的暴露的第二部分并蚀刻第一台面的暴露的第二部分以从第一台面产生反向的T形翅片。

公开(公告)号：US06855989B1

公开(公告)日：2005-02-15

申请号：US10674520

申请日：2003-10-01

申请人： Haihong Wang ,  Shibly S. Ahmed ,  Ming-Ren Lin ,  Bin Yu

发明人： Haihong Wang ,  Shibly S. Ahmed ,  Ming-Ren Lin ,  Bin Yu

IPC分类号： H01L21/336 ,  H01L27/01 ,  H01L29/423 ,  H01L29/49 ,  H01L29/786

CPC分类号： H01L29/785 ,  H01L29/42384 ,  H01L29/4908 ,  H01L29/66795

摘要： A fin field effect transistor includes a fin, a source region, a drain region, a first gate electrode and a second gate electrode. The fin includes a channel. The source region is formed adjacent a first end of the fin and the drain region is formed adjacent a second end of the fin. The first gate electrode includes a first layer of metal material formed adjacent the fin. The second gate electrode includes a second layer of metal material formed adjacent the first layer. The first layer of metal material has a different work function than the second layer of metal material. The second layer of metal material selectively diffuses into the first layer of metal material via metal interdiffusion.

摘要翻译： 翅片场效应晶体管包括鳍片，源极区域，漏极区域，第一栅极电极和第二栅极电极。 鳍包括一个通道。 源区域邻近翅片的第一端形成，并且漏极区域邻近翅片的第二端形成。 第一栅电极包括邻近翅片形成的第一金属材料层。 第二栅电极包括与第一层相邻形成的第二金属材料层。 第一层金属材料具有与第二层金属材料不同的功函数。 金属材料的第二层选择性地通过金属相互扩散扩散到金属材料的第一层中。