公开(公告)号：US08225496B2

公开(公告)日：2012-07-24

申请号：US12202199

申请日：2008-08-29

申请人： Robert Z. Bachrach ,  Yong-Kee Chae ,  Soo Young Choi ,  Nicholas G. J. De Vries ,  Yacov Elgar ,  Eric A. Englhardt ,  Michel R. Frei ,  Charles Gay ,  Parris Hawkins ,  Choi (Gene) Ho ,  James Craig Hunter ,  Penchala N. Kankanala ,  Liwei Li ,  Wing Hoo (Hendrick) Lo ,  Danny Cam Toan Lu ,  Fang Mei ,  Stephen P. Murphy ,  Srujal (Steve) Patel ,  Matthew J. B. Saunders ,  Asaf Schlezinger ,  Shuran Sheng ,  Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Jeffrey S. Sullivan ,  David Tanner ,  Teresa Trowbridge ,  Brice Walker ,  John M. White ,  Tae K. Won

发明人： Robert Z. Bachrach ,  Yong-Kee Chae ,  Soo Young Choi ,  Nicholas G. J. De Vries ,  Yacov Elgar ,  Eric A. Englhardt ,  Michel R. Frei ,  Charles Gay ,  Parris Hawkins ,  Choi (Gene) Ho ,  James Craig Hunter ,  Penchala N. Kankanala ,  Liwei Li ,  Wing Hoo (Hendrick) Lo ,  Danny Cam Toan Lu ,  Fang Mei ,  Stephen P. Murphy ,  Srujal (Steve) Patel ,  Matthew J. B. Saunders ,  Asaf Schlezinger ,  Shuran Sheng ,  Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Jeffrey S. Sullivan ,  David Tanner ,  Teresa Trowbridge ,  Brice Walker ,  John M. White ,  Tae K. Won

IPC分类号： H01L51/44 ,  H01L51/48 ,  H01L21/768 ,  H01L31/072

CPC分类号： H01L21/67236 ,  B23K26/364 ,  B26F3/002 ,  B26F3/004 ,  B65G49/064 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/04 ,  C03B33/03 ,  C03B33/033 ,  H01L21/67132 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/67721 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6776 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/03921 ,  H01L31/0504 ,  H01L31/075 ,  H02S50/00 ,  H02S50/10 ,  Y02E10/548 ,  Y02P40/57 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T29/49355 ,  Y10T29/5196 ,  Y10T29/53113 ,  Y10T29/5313 ,  Y10T29/5317 ,  Y10T29/53187 ,  Y10T29/53365 ,  Y10T29/53417 ,  Y10T225/10 ,  Y10T225/325 ,  Y10T225/329

摘要： The present invention generally relates to a system that can be used to form a photovoltaic device, or solar cell, using processing modules that are adapted to perform one or more steps in the solar cell formation process. The automated solar cell fab is generally an arrangement of automated processing modules and automation equipment that is used to form solar cell devices. The automated solar fab will thus generally comprise a substrate receiving module that is adapted to receive a substrate, one or more absorbing layer deposition cluster tools having at least one processing chamber that is adapted to deposit a silicon-containing layer on a surface of the substrate, one or more back contact deposition chambers, one or more material removal chambers, a solar cell encapsulation device, an autoclave module, an automated junction box attaching module, and one or more quality assurance modules that are adapted to test and qualify the completely formed solar cell device.

摘要翻译： 本发明一般涉及一种可用于形成光伏器件或太阳能电池的系统，该系统使用适于在太阳能电池形成过程中执行一个或多个步骤的处理模块。 自动化太阳能电池制造厂通常是用于形成太阳能电池器件的自动化处理模块和自动化设备的布置。 因此，自动化太阳能工厂将通常包括适于接收衬底的衬底接收模块，一个或多个吸收层沉积簇工具，其具有至少一个适于在衬底的表面上沉积含硅层的处理室 ，一个或多个背接触沉积室，一个或多个材料去除室，太阳能电池封装装置，高压釜模块，自动接线盒附接模块和一个或多个质量保证模块，其适于测试和限定完全形成 太阳能电池装置。

公开(公告)号：US20090077804A1

公开(公告)日：2009-03-26

申请号：US12201840

申请日：2008-08-29

申请人： Robert Z. Bachrach ,  Yong-Kee Chae ,  Soo Young Choi ,  Nicholas G.J. De Vries ,  Yacov Elgar ,  Eric A. Englhardt ,  Michel R. Frei ,  Charles Gay ,  Parris Hawkins ,  Choi (Gene) Ho ,  James Craig Hunter ,  Penchala N. Kankanala ,  Liwei Li ,  Wing Hoo (Hendrick) Lo ,  Danny Cam Toan Lu ,  Fang Mei ,  Stephen P. Murphy ,  Srujal (Steve) Patel ,  Matthew J.B. Saunders ,  Asaf Schlezinger ,  Shuran Sheng ,  Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Jeffrey S. Sullivan ,  David Tanner ,  Teresa Trowbridge ,  Brice Walker ,  John M. White ,  Tae K. Won

发明人： Robert Z. Bachrach ,  Yong-Kee Chae ,  Soo Young Choi ,  Nicholas G.J. De Vries ,  Yacov Elgar ,  Eric A. Englhardt ,  Michel R. Frei ,  Charles Gay ,  Parris Hawkins ,  Choi (Gene) Ho ,  James Craig Hunter ,  Penchala N. Kankanala ,  Liwei Li ,  Wing Hoo (Hendrick) Lo ,  Danny Cam Toan Lu ,  Fang Mei ,  Stephen P. Murphy ,  Srujal (Steve) Patel ,  Matthew J.B. Saunders ,  Asaf Schlezinger ,  Shuran Sheng ,  Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Jeffrey S. Sullivan ,  David Tanner ,  Teresa Trowbridge ,  Brice Walker ,  John M. White ,  Tae K. Won

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L21/304 ,  B26F3/00

CPC分类号： H01L21/67236 ,  B23K26/364 ,  B26F3/002 ,  B26F3/004 ,  B65G49/064 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/04 ,  C03B33/03 ,  C03B33/033 ,  H01L21/67132 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/67721 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6776 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/03921 ,  H01L31/0504 ,  H01L31/075 ,  H02S50/00 ,  H02S50/10 ,  Y02E10/548 ,  Y02P40/57 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T29/49355 ,  Y10T29/5196 ,  Y10T29/53113 ,  Y10T29/5313 ,  Y10T29/5317 ,  Y10T29/53187 ,  Y10T29/53365 ,  Y10T29/53417 ,  Y10T225/10 ,  Y10T225/325 ,  Y10T225/329

摘要： The present invention generally relates to a sectioning module positioned within an automated solar cell device fabrication system. The solar cell device fabrication system is adapted to receive a single large substrate and form multiple silicon thin film solar cell devices from the single large substrate.

摘要翻译： 本发明一般涉及一种位于自动化太阳能电池器件制造系统内的切片模块。 太阳能电池器件制造系统适于接收单个大型衬底并从单个大衬底形成多个硅薄膜太阳能电池器件。

公开(公告)号：US20090077805A1

公开(公告)日：2009-03-26

申请号：US12202199

申请日：2008-08-29

申请人： Robert Z. BACHRACH ,  Yong-Kee Chae ,  Soo Young Choi ,  Nicholas G.J. De Vries ,  Yacov Elgar ,  Eric A. Englhardt ,  Michael R. Frei ,  Charles Gay ,  Parris Hawkins ,  Choi (Gene) Ho ,  James Craig Hunter ,  Penchala N. Kankanala ,  Liwei Li ,  Wing Hoo (Hendrick) Lo ,  Danny Cam Toan Lu ,  Fang Mei ,  Stephen P. Murphy ,  Srujal (Steve) Patel ,  Matthew J.B. Saunders ,  Asaf Schlezinger ,  Shuran Sheng ,  Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Jeffrey S. Sullivan ,  David Tanner ,  Teresa Trowbridge ,  Brice Walker ,  John M. White ,  Tae K. Won

发明人： Robert Z. BACHRACH ,  Yong-Kee Chae ,  Soo Young Choi ,  Nicholas G.J. De Vries ,  Yacov Elgar ,  Eric A. Englhardt ,  Michael R. Frei ,  Charles Gay ,  Parris Hawkins ,  Choi (Gene) Ho ,  James Craig Hunter ,  Penchala N. Kankanala ,  Liwei Li ,  Wing Hoo (Hendrick) Lo ,  Danny Cam Toan Lu ,  Fang Mei ,  Stephen P. Murphy ,  Srujal (Steve) Patel ,  Matthew J.B. Saunders ,  Asaf Schlezinger ,  Shuran Sheng ,  Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Jeffrey S. Sullivan ,  David Tanner ,  Teresa Trowbridge ,  Brice Walker ,  John M. White ,  Tae K. Won

IPC分类号： H01L31/18 ,  H05K13/00

CPC分类号： H01L21/67236 ,  B23K26/364 ,  B26F3/002 ,  B26F3/004 ,  B65G49/064 ,  B65G2249/02 ,  B65G2249/04 ,  C03B33/03 ,  C03B33/033 ,  H01L21/67132 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67715 ,  H01L21/67721 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/6776 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/03921 ,  H01L31/0504 ,  H01L31/075 ,  H02S50/00 ,  H02S50/10 ,  Y02E10/548 ,  Y02P40/57 ,  Y10T29/49002 ,  Y10T29/49355 ,  Y10T29/5196 ,  Y10T29/53113 ,  Y10T29/5313 ,  Y10T29/5317 ,  Y10T29/53187 ,  Y10T29/53365 ,  Y10T29/53417 ,  Y10T225/10 ,  Y10T225/325 ,  Y10T225/329

摘要： The present invention generally relates to a system that can be used to form a photovoltaic device, or solar cell, using processing modules that are adapted to perform one or more steps in the solar cell formation process. The automated solar cell fab is generally an arrangement of automated processing modules and automation equipment that is used to form solar cell devices. The automated solar fab will thus generally comprise a substrate receiving module that is adapted to receive a substrate, one or more absorbing layer deposition cluster tools having at least one processing chamber that is adapted to deposit a silicon-containing layer on a surface of the substrate, one or more back contact deposition chambers, one or more material removal chambers, a solar cell encapsulation device, an autoclave module, an automated junction box attaching module, and one or more quality assurance modules that are adapted to test and qualify the completely formed solar cell device.

摘要翻译： 本发明一般涉及一种可用于形成光伏器件或太阳能电池的系统，该系统使用适于在太阳能电池形成过程中执行一个或多个步骤的处理模块。 自动化太阳能电池制造厂通常是用于形成太阳能电池器件的自动化处理模块和自动化设备的布置。 因此，自动化太阳能工厂将通常包括适于接收衬底的衬底接收模块，一个或多个吸收层沉积簇工具，其具有至少一个处理室，该处理室适于在衬底的表面上沉积含硅层 ，一个或多个背接触沉积室，一个或多个材料去除室，太阳能电池封装装置，高压釜模块，自动接线盒附接模块和一个或多个质量保证模块，其适于测试和限定完全形成 太阳能电池装置。

公开(公告)号：US20100047954A1

公开(公告)日：2010-02-25

申请号：US12548273

申请日：2009-08-26

申请人： Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Hien-Minh Huu Le ,  Fang Mei ,  Yong-kee Chae ,  Michel R. Frei ,  Asaf Schlezinger ,  Shuran Sheng ,  Jeffrey S. Sullivan ,  David Tanner

发明人： Tzay-Fa (Jeff) Su ,  Hien-Minh Huu Le ,  Fang Mei ,  Yong-kee Chae ,  Michel R. Frei ,  Asaf Schlezinger ,  Shuran Sheng ,  Jeffrey S. Sullivan ,  David Tanner

IPC分类号： H01L31/18

CPC分类号： B26F3/002 ,  B23K26/364 ,  B23K26/40 ,  B23K2103/172 ,  B26F3/004 ,  B65G49/064 ,  B65G49/068 ,  B65G2249/02 ,  C03B33/0222 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/67236 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67712 ,  H01L21/67727 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/6776 ,  H01L21/681 ,  H01L31/02008 ,  H01L31/075 ,  H01L31/076 ,  H01L31/1876 ,  Y02E10/548 ,  Y02P40/57 ,  Y02P70/521

摘要： The present invention generally relates to a system that can be used to form a photovoltaic device, or solar cell, using processing modules that are adapted to perform one or more steps in the solar cell formation process. The automated solar cell fab is generally an arrangement of automated processing modules and automation equipment that is used to form solar cell devices. The automated solar fab will thus generally comprise a substrate receiving module that is adapted to receive a substrate, one or more absorbing layer deposition cluster tools having at least one processing chamber that is adapted to deposit a silicon-containing layer on a surface of the substrate, one or more back contact deposition chambers, one or more material removal chambers, a solar cell encapsulation device, an autoclave module, an automated junction box attaching module, and one or more quality assurance modules that are adapted to test and qualify the completely formed solar cell device.

摘要翻译： 本发明一般涉及一种可用于形成光伏器件或太阳能电池的系统，该系统使用适于在太阳能电池形成过程中执行一个或多个步骤的处理模块。 自动化太阳能电池制造厂通常是用于形成太阳能电池器件的自动化处理模块和自动化设备的布置。 因此，自动化太阳能工厂将通常包括适于接收衬底的衬底接收模块，一个或多个吸收层沉积簇工具，其具有至少一个适于在衬底的表面上沉积含硅层的处理室 ，一个或多个背接触沉积室，一个或多个材料去除室，太阳能电池封装装置，高压釜模块，自动接线盒附接模块和一个或多个质量保证模块，其适于测试和限定完全形成 太阳能电池装置。

公开(公告)号：US07829356B2

公开(公告)日：2010-11-09

申请号：US12212535

申请日：2008-09-17

申请人： Fang Mei ,  David Tanner ,  Tzay-Fa Su

发明人： Fang Mei ,  David Tanner ,  Tzay-Fa Su

IPC分类号： G01R31/26

CPC分类号： H01L31/0392 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/03923 ,  H01L31/186 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

摘要： A method and apparatus for improving a thin film scribing procedure is presented. Embodiments of the invention include a method and apparatus for determining a scribe setting for removal of an absorber layer of a photovoltaic device that improves contact resistance between a back contact layer and a front contact layer of the device.

摘要翻译： 提出了一种改善薄膜划线程序的方法和装置。 本发明的实施例包括一种用于确定用于去除光电装置的吸收层的划线设置的方法和装置，其改善了设备背面接触层和前接触层之间的接触电阻。

公开(公告)号：US08333843B2

公开(公告)日：2012-12-18

申请号：US12424954

申请日：2009-04-16

申请人： Fang Mei ,  David Tanner

发明人： Fang Mei ,  David Tanner

IPC分类号： C23G1/02 ,  B08B3/00

CPC分类号： H01L31/1824 ,  B08B3/08 ,  H01L31/03921 ,  H01L31/076 ,  H01L31/202 ,  Y02E10/545 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

摘要： The present disclosure relates to methods and related cleaning solutions (116) for cleaning a glass substrate (10, 112), such as for removing metal ion contaminates from a glass substrate (10, 112) having a transparent conductive oxide layer (12). One method includes: providing a glass substrate (10, 112) having a transparent conductive oxide (TCO) layer (12); and exposing the glass substrate (10, 112) to a cleaning solution (116) that includes 0.5% to 5% organic acid, wherein the organic acid used includes citric acid, acetic acid, or oxalic acid.

摘要翻译： 本公开涉及用于清洁玻璃基板（10,112）的方法和相关清洁溶液（116），例如用于从具有透明导电氧化物层（12）的玻璃基板（10,112）去除金属离子污染物。 一种方法包括：提供具有透明导电氧化物（TCO）层（12）的玻璃基板（10,112）; 并将玻璃基板（10,112）暴露于包含0.5％至5％有机酸的清洗溶液（116）中，其中所用的有机酸包括柠檬酸，乙酸或草酸。

公开(公告)号：US20100068835A1

公开(公告)日：2010-03-18

申请号：US12212535

申请日：2008-09-17

申请人： Fang Mei ,  David Tanner ,  Tzay-Fa Su

发明人： Fang Mei ,  David Tanner ,  Tzay-Fa Su

IPC分类号： H01L21/66

CPC分类号： H01L31/0392 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/03923 ,  H01L31/186 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

摘要： A method and apparatus for improving a thin film scribing procedure is presented. Embodiments of the invention include a method and apparatus for determining a scribe setting for removal of an absorber layer of a photovoltaic device that improves contact resistance between a back contact layer and a front contact layer of the device.

摘要翻译： 提出了一种改善薄膜划线程序的方法和装置。 本发明的实施例包括一种用于确定用于去除光电装置的吸收层的划线设置的方法和装置，其改善了设备背面接触层和前接触层之间的接触电阻。

公开(公告)号：US20200255388A1

公开(公告)日：2020-08-13

申请号：US16499050

申请日：2018-03-29

申请人： Jia ZHOU ,  Zhiqing Liu ,  Na Ye ,  Fang Mei ,  Xiaodong Cheng

发明人： Jia ZHOU ,  Zhiqing Liu ,  Na Ye ,  Fang Mei ,  Xiaodong Cheng

IPC分类号： C07D261/08 ,  C07D261/20 ,  A61P31/04

摘要： Embodiments are directed to a series of novel EPAC antagonists that are designed, synthesized and evaluated in an effort to develop diversified analogues based on the scaffold of the previously identified high-throughput (HTS) hit ESI-09.

公开(公告)号：US20070099417A1

公开(公告)日：2007-05-03

申请号：US11329785

申请日：2006-01-10

申请人： Hongbin Fang ,  Timothy Weidman ,  Fang Mei ,  Yaxin Wang ,  Arulkumar Shanmugasundram ,  Christopher Bencher ,  Mehul Naik

发明人： Hongbin Fang ,  Timothy Weidman ,  Fang Mei ,  Yaxin Wang ,  Arulkumar Shanmugasundram ,  Christopher Bencher ,  Mehul Naik

IPC分类号： H01L21/469

CPC分类号： H01L21/76843 ,  H01L21/76829 ,  H01L21/76846 ,  H01L21/76849 ,  H01L21/76862 ,  H01L21/76864

摘要： A method and apparatus for processing a semiconductor substrate including depositing a capping layer upon a conductive material formed on the substrate, reducing oxide formation on the capping layer, and then depositing a dielectric material. A method and apparatus for processing a semiconductor substrate including depositing a capping layer upon a conductive material formed on a substrate, exposing the capping layer to a plasma, heating the substrate to more than about 100° C., and depositing a low dielectric constant material.

摘要翻译： 一种用于处理半导体衬底的方法和装置，包括在形成在衬底上的导电材料上沉积覆盖层，减少覆盖层上的氧化物形成，然后沉积电介质材料。 一种用于处理半导体衬底的方法和装置，包括在形成在衬底上的导电材料上沉积覆盖层，将覆盖层暴露于等离子体，将衬底加热到​​大于约100℃，以及沉积低介电常数材料 。

公开(公告)号：US09737512B2

公开(公告)日：2017-08-22

申请号：US15066416

申请日：2016-03-10

申请人： Xiaodong Cheng ,  Fang Mei ,  Annemieke Kavelaars ,  Cobi J. Heijnen

发明人： Xiaodong Cheng ,  Fang Mei ,  Annemieke Kavelaars ,  Cobi J. Heijnen

IPC分类号： A61K31/42 ,  A61K31/422 ,  A61K31/41 ,  A61K31/275 ,  A61K31/33

CPC分类号： A61K31/422 ,  A61K31/275 ,  A61K31/33 ,  A61K31/42

摘要： Certain embodiments are directed to methods of treating pain, e.g., chronic or neuropathic pain, comprising administering an effective amount of an EPAC inhibitor.