公开(公告)号：US08486285B2

公开(公告)日：2013-07-16

申请号：US12544998

申请日：2009-08-20

申请人： Ronghui Zhou ,  Ming Jiang ,  Xiaohai Xiang ,  Jinwen Wang ,  Guanghong Luo ,  Yun-Fei Li

发明人： Ronghui Zhou ,  Ming Jiang ,  Xiaohai Xiang ,  Jinwen Wang ,  Guanghong Luo ,  Yun-Fei Li

IPC分类号： B44C1/22

CPC分类号： G11B5/855 ,  Y10T29/49048

摘要： A method for forming a write pole comprises forming a stop layer over a substrate layer of a wafer, the stop layer having an opening above a damascene trench in the substrate layer, and forming a buffer layer over the stop layer, the buffer layer having an opening above the opening of the stop layer. The method further comprises plating a layer of magnetic material over the wafer, disposing a first sacrificial material over a region of the magnetic material above the damascene trench, performing a milling or etching operation over the wafer to remove the magnetic material not covered by the first sacrificial material and to remove the first sacrificial material, disposing a second sacrificial material over the wafer, and performing a polishing operation over the wafer to remove the region of the magnetic material above the damascene trench, the second sacrificial material, and the buffer layer.

摘要翻译： 用于形成写极的方法包括在晶片的衬底层上形成阻挡层，所述阻挡层在衬底层中具有在镶嵌沟槽上方的开口，以及在停止层上形成缓冲层，所述缓冲层具有 在停止层的开口上方开口。 该方法还包括在晶片上镀覆一层磁性材料，在金刚石沟槽上方的磁性材料的区域上设置第一牺牲材料，在晶片上进行研磨或蚀刻操作，以去除第一 牺牲材料并且去除第一牺牲材料，在晶片上设置第二牺牲材料，以及在晶片上执行抛光操作以去除镶嵌沟槽，第二牺牲材料和缓冲层之上的磁性材料的区域。

公开(公告)号：US09099118B1

公开(公告)日：2015-08-04

申请号：US12472341

申请日：2009-05-26

申请人： Ronghui Zhou ,  Ming Jiang ,  Guanghong Luo ,  Yun-Fei Li

发明人： Ronghui Zhou ,  Ming Jiang ,  Guanghong Luo ,  Yun-Fei Li

IPC分类号： G11B5/127 ,  H04R31/00 ,  G11B5/31

CPC分类号： G11B5/3169 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/313 ,  G11B5/3163 ,  Y10T29/49046

摘要： Methods of forming a write pole are disclosed. A structure comprising a bottom insulating layer and a top insulating layer is provided. A top damascene trench is formed in the top insulating layer, and a bottom damascene trench is formed in the bottom insulating layer. The bottom damascene trench and a portion of the top damascene trench are filled with a pole material. The top insulating layer and a portion of the pole material located above the bottom damascene trench are removed.

摘要翻译： 公开了形成写极的方法。 提供了包括底部绝缘层和顶部绝缘层的结构。 在顶部绝缘层中形成顶部镶嵌沟槽，并且在底部绝缘层中形成底部镶嵌沟槽。 底部镶嵌沟槽和顶部镶嵌沟槽的一部分填充有极材料。 去除顶部绝缘层和位于底部镶嵌沟槽上方的极材料的一部分。

公开(公告)号：US08262918B1

公开(公告)日：2012-09-11

申请号：US12411270

申请日：2009-03-25

申请人： Yun-Fei Li ,  Ronghui Zhou ,  Guanghong Luo ,  Ming Jiang

发明人： Yun-Fei Li ,  Ronghui Zhou ,  Guanghong Luo ,  Ming Jiang

IPC分类号： B44C1/22

CPC分类号： G11B5/1278 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/3163

摘要： Methods of producing magnetic recording heads are disclosed. The methods can include providing a wafer comprising a substrate layer in which are disposed a plurality of damascene trenches. The method can further include depositing a pole material across the whole wafer, wherein the plurality of trenches are filled with the pole material. The methods can further include depositing a mask material over the pole material across the whole wafer. The methods can further include performing a first material removal process across the whole wafer to remove the mask material and a first portion of the pole material at a same material removal rate. The methods can further include performing a second material removal process to remove a second portion of the pole material above the substrate layer.

摘要翻译： 公开了制造磁记录头的方法。 所述方法可以包括提供包括其中布置有多个镶嵌沟槽的基底层的晶片。 该方法还可以包括在整个晶片上沉积极材料，其中多个沟槽用极材料填充。 该方法还可以包括在整个晶片上沉积超过极材料的掩模材料。 该方法还可以包括在整个晶片上执行第一材料去除工艺，以相同的材料去除速率移除掩模材料和极材料的第一部分。 所述方法还可以包括执行第二材料去除工艺以去除衬底层上方的极材料的第二部分。

公开(公告)号：US08578594B2

公开(公告)日：2013-11-12

申请号：US13154191

申请日：2011-06-06

申请人： Ming Jiang ,  Ronghui Zhou ,  Guanghong Luo ,  Masahiro Osugi ,  Danning Yang

发明人： Ming Jiang ,  Ronghui Zhou ,  Guanghong Luo ,  Masahiro Osugi ,  Danning Yang

IPC分类号： G11B5/127 ,  H04R31/00

CPC分类号： G11B5/1278 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/315 ,  G11B5/3163

摘要： A process for fabricating a magnetic recording transducer for use in a data storage system comprises providing a substrate, an underlayer and a first nonmagnetic intermediate layer deposited to a first thickness on and in contact with the underlayer, performing a first scanning polishing on a first section of the first intermediate layer to planarize the first section of the first intermediate layer to a second thickness, providing a main pole in the planarized first section of the first intermediate layer, providing a first pattern of photoresist on and in contact with the first section of the first intermediate layer, the pattern comprising an aperture to define a side shield trench, performing a wet etch to remove at least a portion of the first intermediate layer thereby exposing at least one of the plurality of main pole sides, and depositing side shield material in the side shield trench.

摘要翻译： 一种用于制造用于数据存储系统的磁记录传感器的方法包括提供在底层上沉积到第一厚度并与底层接触的基底，底层和第一非磁性中间层，在第一部分上进行第一扫描抛光 将所述第一中间层的第一部分平坦化为第二厚度，在所述第一中间层的平坦化的第一部分中提供主极，在所述第一中间层的所述第一部分的第一部分上提供第一图案， 第一中间层，图案包括用于限定侧屏蔽沟槽的孔，执行湿蚀刻以去除第一中间层的至少一部分，从而暴露多个主极侧中的至少一个，以及沉积侧屏蔽材料 在侧盾沟。

公开(公告)号：US08375564B1

公开(公告)日：2013-02-19

申请号：US12633562

申请日：2009-12-08

申请人： Guanghong Luo ,  Danning Yang ,  Weimin Si ,  Dujiang Wan ,  Yun-Fei Li ,  Lijie Guan ,  Ming Jiang

发明人： Guanghong Luo ,  Danning Yang ,  Weimin Si ,  Dujiang Wan ,  Yun-Fei Li ,  Lijie Guan ,  Ming Jiang

IPC分类号： G11B5/127 ,  H04R31/00

CPC分类号： G11B5/1278 ,  G11B5/3116 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49044 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49048 ,  Y10T29/49052

摘要： A method provides a pole of magnetic recording transducer. A nonmagnetic stop layer having a thickness and a top surface is provided. A depression that forms a bevel is provided in the stop layer. The bevel has a depth less than the thickness and a bevel angle with respect to a remaining portion of the top surface. The bevel angle is greater than zero and less than ninety degrees. An intermediate layer having a substantially flat top surface is provided over the stop layer. A trench is formed in the intermediate layer via a removal process. The trench has a profile corresponding to the pole. The stop layer is a stop for the removal process. The method also includes providing the pole in the trench. The pole has a leading edge bevel corresponding to the bevel in the stop layer.

摘要翻译： 一种方法提供磁记录传感器的极点。 提供具有厚度和顶表面的非磁性停止层。 形成斜面的凹陷设置在停止层中。 该斜面具有小于该厚度的深度和相对于顶部表面的剩余部分的斜角。 斜角大于零，小于九十度。 具有基本上平坦的顶表面的中间层设置在停止层上。 通过去除工艺在中间层中形成沟槽。 沟槽具有对应于极点的轮廓。 停止层是移除过程的停止点。 该方法还包括在沟槽中设置极点。 极具有对应于停止层中的斜面的前缘斜面。

公开(公告)号：US08191237B1

公开(公告)日：2012-06-05

申请号：US12470385

申请日：2009-05-21

申请人： Guanghong Luo ,  Ge Yi ,  Dujiang Wan ,  Lei Wang ,  Xiaohai Xiang ,  Ming Jiang

发明人： Guanghong Luo ,  Ge Yi ,  Dujiang Wan ,  Lei Wang ,  Xiaohai Xiang ,  Ming Jiang

IPC分类号： G11B5/127 ,  H04R31/00

CPC分类号： G11B5/3163 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/315 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49044 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49048 ,  Y10T29/49052

摘要： A method for providing a structure in a magnetic transducer is described. The method includes performing a first planarization that exposes a top surface of the magnetic transducer. This first planarization also terminates before a portion of a first planarization buffer layer is removed. The method also includes providing a second planarization buffer layer after the first planarization is performed. The second planarization buffer layer is above the first planarization buffer layer. The method also includes performing a second planarization. This second planarization does not completely remove the second planarization buffer layer. The method also includes performing a third planarization terminating after the first planarization buffer layer is exposed and before the first planarization buffer layer is completely removed.

摘要翻译： 描述了一种用于在磁换能器中提供结构的方法。 该方法包括执行暴露磁换能器的顶表面的第一平面化。 该第一平面化还在第一平坦化缓冲层的一部分被去除之前终止。 该方法还包括在执行第一平面化之后提供第二平坦化缓冲层。 第二平坦化缓冲层在第一平坦化缓冲层之上。 该方法还包括执行第二平面化。 该第二平面化不能完全去除第二平坦化缓冲层。 该方法还包括在第一平坦化缓冲层暴露之后并且在第一平坦化缓冲层被完全去除之前执行终止的第三平坦化。

公开(公告)号：US08506828B1

公开(公告)日：2013-08-13

申请号：US13171242

申请日：2011-06-28

申请人： Masahiro Osugi ,  Guanghong Luo ,  Ronghui Zhou ,  Danning Yang ,  Dujiang Wan ,  Ming Jiang

发明人： Masahiro Osugi ,  Guanghong Luo ,  Ronghui Zhou ,  Danning Yang ,  Dujiang Wan ,  Ming Jiang

IPC分类号： B44C1/22

CPC分类号： G11B5/3932 ,  G11B5/3163 ,  G11B5/3909 ,  Y10T29/49043

摘要： A method and system for fabricating a read sensor on a substrate for a read transducer is described. A read sensor stack is deposited on the substrate. A mask is provided on the on the read sensor stack. The mask has a pattern that covers a first portion of the read sensor stack corresponding to the read sensor, covers a second portion of the read sensor stack distal from the read sensor, and exposes a third portion of the read sensor stack between the first and second portions. The read sensor is defined from the read sensor stack. A hard bias layer is deposited. An aperture free mask layer including multiple thicknesses is provided. A focused ion beam scan (FIBS) polishing step is performed on the mask and hard bias layers to remove a portion of the mask and hard bias layers based on the thicknesses.

摘要翻译： 描述了用于在读取换能器的基板上制造读取传感器的方法和系统。 读取传感器堆叠沉积在衬底上。 在读取传感器堆叠上提供掩模。 掩模具有覆盖对应于读取传感器的读取传感器堆叠的第一部分的图案，其覆盖远离读取传感器的读取传感器堆叠的第二部分，并将读取传感器堆叠的第三部分暴露在第一和第 第二部分。 读取传感器由读取传感器堆栈定义。 沉积硬偏压层。 提供包括多个厚度的无孔掩模层。 在掩模和硬偏压层上执行聚焦离子束扫描（FIBS）抛光步骤，以基于厚度去除掩模和硬偏压层的一部分。

公开(公告)号：US08262919B1

公开(公告)日：2012-09-11

申请号：US12824036

申请日：2010-06-25

申请人： Guanghong Luo ,  Changqing Shi ,  Danning Yang ,  Jinwen Wang ,  Ming Jiang

发明人： Guanghong Luo ,  Changqing Shi ,  Danning Yang ,  Jinwen Wang ,  Ming Jiang

IPC分类号： B44C1/22

CPC分类号： G11B5/1278 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/315 ,  G11B5/3163

摘要： A method and system for providing a pole of magnetic transducer having an intermediate layer are described. The method and system include providing a trench in the intermediate layer and depositing a nonmagnetic liner. A portion of the nonmagnetic liner resides in the trench. At least one seed layer is deposited. A portion of the at least one seed layer resides in the trench. The method and system include depositing at least one main pole layer. The at least one main pole layer is magnetic. A portion of the main pole layer(s) reside in the trench. The method and system also include performing a first chemical mechanical planarization (CMP). An excess portion of the seed layer(s) external to the trench are removed through an ion beam etch. The method and system further include performing a second CMP to remove an excess portion of the nonmagnetic liner external to the trench.

摘要翻译： 描述了一种用于提供具有中间层的磁换能器的磁极的方法和系统。 该方法和系统包括在中间层中提供沟槽并沉积非磁性衬垫。 非磁性衬垫的一部分位于沟槽中。 沉积至少一个种子层。 至少一个种子层的一部分位于沟槽中。 该方法和系统包括沉积至少一个主极层。 至少一个主极层是磁性的。 主极层的一部分驻留在沟槽中。 该方法和系统还包括执行第一化学机械平面化（CMP）。 通过离子束蚀刻去除沟槽外部的种子层的多余部分。 该方法和系统还包括执行第二CMP以去除沟槽外部的非磁性衬垫的多余部分。

公开(公告)号：US08146236B1

公开(公告)日：2012-04-03

申请号：US12057692

申请日：2008-03-28

申请人： Guanghong Luo ,  Liubo Hong ,  Honglin Zhu ,  Yun-Fei Li ,  Yingjian Chen

发明人： Guanghong Luo ,  Liubo Hong ,  Honglin Zhu ,  Yun-Fei Li ,  Yingjian Chen

IPC分类号： G11B5/127 ,  H04R31/00

CPC分类号： G11B5/3116 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3163 ,  Y10T29/49039 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49044 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49048 ,  Y10T29/49052

摘要： A method and system for providing a perpendicular magnetic recording (PMR) transducer from pole layer(s) are disclosed. First and second planarization stop layers are provided on the pole layer(s). A mask is provided on the second planarization stop layer. A first portion of the mask resides on a portion of the pole layer(s) used to form the PMR pole. The PMR pole is defined after the mask is provided. An intermediate layer surrounding at least the PMR pole is provided. A first planarization is performed on at least the intermediate layer. A portion of the second planarization stop layer is removed during the first planarization. A remaining portion of the second planarization stop layer is removed. A second planarization is performed. A portion of the first planarization stop layer remains after the second planarization. A write gap and shield are provided on the PMR pole and write gap, respectively.

摘要翻译： 公开了一种用于从极层提供垂直磁记录（PMR）换能器的方法和系统。 第一和第二平坦化停止层设置在极层上。 在第二平坦化停止层上设置掩模。 掩模的第一部分位于用于形成PMR极的极层的一部分上。 在提供面罩之后定义PMR极。 提供至少围绕PMR极的中间层。 至少在中间层上执行第一平面化。 在第一平坦化期间，去除第二平坦化停止层的一部分。 去除第二平坦化停止层的剩余部分。 执行第二平面化。 在第二平面化之后，第一平坦化停止层的一部分保留。 分别在PMR极和写间隙上提供写间隙和屏蔽。

公开(公告)号：US08797680B1

公开(公告)日：2014-08-05

申请号：US13417930

申请日：2012-03-12

申请人： Guanghong Luo ,  Liubo Hong ,  Honglin Zhu ,  Yun-Fei Li ,  Yingjian Chen

发明人： Guanghong Luo ,  Liubo Hong ,  Honglin Zhu ,  Yun-Fei Li ,  Yingjian Chen

IPC分类号： G11B5/127

CPC分类号： G11B5/3116 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3163 ,  Y10T29/49039 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49044 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49048 ,  Y10T29/49052

摘要： A perpendicular magnetic recording (PMR) transducer is provided. The PRM transducer includes a PMR pole having a top, a bottom, and at least one sidewall, the bottom having a bottom width, the top having a top width bigger than the bottom width. The PRM transducer further includes an intermediate layer adjacent to the at least one sidewall, a write gap on the PMR pole, the write gap including a first layer on the PMR pole, the first layer including a planarization stop layer, and a shield on the write gap.

摘要翻译： 提供垂直磁记录（PMR）传感器。 PRM传感器包括具有顶部，底部和至少一个侧壁的PMR极，底部具有底部宽度，顶部具有大于底部宽度的顶部宽度。 PRM换能器还包括与至少一个侧壁相邻的中间层，PMR极上的写入间隙，写入间隙包括PMR极上的第一层，第一层包括平坦化停止层，以及屏蔽 写差距。