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    SIX DEGREE OF FREEDOM (DOF) ACTUATOR REACTION MASS
    5.
    发明申请
    SIX DEGREE OF FREEDOM (DOF) ACTUATOR REACTION MASS 有权
    自由度（DOF）执行器反应质量

    公开(公告)号：US20090040638A1

    公开(公告)日：2009-02-12

    申请号：US12057130

    申请日：2008-03-27

    申请人： Frans H. van Deuren ,  Hendrick Dirk Visser ,  Bernard Stommen ,  Jeroen van Aert ,  Aart Johannes Mateboer

    发明人： Frans H. van Deuren ,  Hendrick Dirk Visser ,  Bernard Stommen ,  Jeroen van Aert ,  Aart Johannes Mateboer

    IPC分类号： G02B7/198

    CPC分类号： G03F7/70825 ,  F16F7/1005 ,  G02B7/182 ,  G03F7/70833

    摘要： In one embodiment, an actuator for positioning of mirrors in an optical system is provided and includes an actuator base and a reaction mass assembly. The reaction mass assembly includes a reaction mass support member having biasing features formed as a part thereof and a reaction mass that is coupled to the biasing features such that the reaction mass is suspended on biasing elements in six degrees of freedom (DOF). The support member is fixedly connected to the actuator base; however, the reaction mass is not directly attached to the actuator base but rather is supported in the reaction mass support member in a manner that allows it to have six DOF.

    摘要翻译： 在一个实施例中，提供了用于在光学系统中定位反射镜的致动器，并且包括致动器基座和反作用组件。 反应质量组件包括具有作为其一部分形成的偏压特征的反作用质量支撑构件和与偏置特征联接的反作用物质，使得反作用物质以六自由度（DOF）悬置在偏置元件上。 支撑构件固定地连接到致动器基座; 然而，反应物质不直接附着于致动器基体，而是以允许其具有六个DOF的方式支撑在反作用物质支撑构件中。

    Six degree of freedom (DOF) actuator reaction mass
    6.
    发明授权
    Six degree of freedom (DOF) actuator reaction mass 有权
    六自由度（DOF）执行器反应质量

    公开(公告)号：US07885021B2

    公开(公告)日：2011-02-08

    申请号：US12057130

    申请日：2008-03-27

    申请人： Frans H. van Deuren ,  Hendrick Dirk Visser ,  Bernard Stommen ,  Jeroen van Aert ,  Aart Johannes Mateboer

    发明人： Frans H. van Deuren ,  Hendrick Dirk Visser ,  Bernard Stommen ,  Jeroen van Aert ,  Aart Johannes Mateboer

    IPC分类号： G02B7/02

    CPC分类号： G03F7/70825 ,  F16F7/1005 ,  G02B7/182 ,  G03F7/70833

    摘要： In one embodiment, an actuator for positioning of mirrors in an optical system is provided and includes an actuator base and a reaction mass assembly. The reaction mass assembly includes a reaction mass support member having biasing features formed as a part thereof and a reaction mass that is coupled to the biasing features such that the reaction mass is suspended on biasing elements in six degrees of freedom (DOF). The support member is fixedly connected to the actuator base; however, the reaction mass is not directly attached to the actuator base but rather is supported in the reaction mass support member in a manner that allows it to have six DOF.

    摘要翻译： 在一个实施例中，提供了用于在光学系统中定位反射镜的致动器，并且包括致动器基座和反作用组件。 反应质量组件包括具有作为其一部分形成的偏压特征的反作用质量支撑构件和与偏置特征联接的反作用物质，使得反作用物质以六自由度（DOF）悬置在偏置元件上。 支撑构件固定地连接到致动器基座; 然而，反应物质不直接附着于致动器基体，而是以允许其具有六个DOF的方式支撑在反作用物质支撑构件中。

    Positioning apparatus gravity compensation device and method for compensating gravitationsl forces
    7.
    发明申请
    Positioning apparatus gravity compensation device and method for compensating gravitationsl forces 失效
    定位装置重力补偿装置和补偿重力的方法

    公开(公告)号：US20060259165A1

    公开(公告)日：2006-11-16

    申请号：US10567220

    申请日：2004-07-29

    申请人： Bernard Stommen ,  Robertus Tousain

    发明人： Bernard Stommen ,  Robertus Tousain

    IPC分类号： G05D3/14 ,  G05B11/01

    CPC分类号： G05B19/404 ,  G05B2219/40255 ,  G05B2219/41114

    摘要： The present invention relates to a positioning apparatus. The positioning apparatus comprises at least one position sensor, at least one position controller and at least one position actuator, wherein the or each position sensor measures the position of a position controlled device, wherein the or each position controller uses measurement signals provided by the or each position sensor as input signals, and wherein output signals generated by the or each position controller are used by the or each position actuator to control the position of said position-controlled device. The positioning apparatus further comprising gravity compensation means compensating gravitational forces acting on said position-controlled device, wherein the gravity compensation means comprises at least one gravity compensation controller and at least one gravity compensation actuator, wherein the or each gravity compensation controller uses the output signals generated by the or each position controller as input signals, thereby generating output signals used by the or each gravity compensation actuator to compensate gravitational forces acting on said position-controlled device.

    摘要翻译： 定位装置技术领域本发明涉及一种定位装置。 定位装置包括至少一个位置传感器，至少一个位置控制器和至少一个位置致动器，其中该位置传感器或每个位置传感器测量位置控制装置的位置，其中该位置控制器或每个位置控制器使用由或 每个位置传感器作为输入信号，并且其中由该位置控制器或每个位置控制器产生的输出信号由该位置致动器或每个位置致动器使用以控制所述位置控制装置的位置。 所述定位装置还包括重力补偿装置，其补偿作用在所述位置控制装置上的重力，其中所述重力补偿装置包括至少一个重力补偿控制器和至少一个重力补偿致动器，其中所述或每个重力补偿控制器使用所述输出信号 由所述位置控制器或每个位置控制器产生的输入信号，从而产生由所述或每个重力补偿致动器使用的输出信号，以补偿作用在所述位置控制装置上的重力。