公开(公告)号：US20120271590A1

公开(公告)日：2012-10-25

申请号：US13523751

申请日：2012-06-14

申请人： Vijay Sakhare ,  Sekar Krishnasamy ,  Mordechai Leska ,  Donald Foldenauer ,  Rinat Shimshi ,  Marvin L. Freeman ,  Jeffery Hudgens ,  Satish Sundar

发明人： Vijay Sakhare ,  Sekar Krishnasamy ,  Mordechai Leska ,  Donald Foldenauer ,  Rinat Shimshi ,  Marvin L. Freeman ,  Jeffery Hudgens ,  Satish Sundar

IPC分类号： G06F15/00

CPC分类号： H01L21/681 ,  B25J9/1692 ,  G01B11/03 ,  G01B21/042 ,  G05B2219/37278 ,  G05B2219/37608 ,  G05B2219/39047 ,  G05B2219/39056 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748

摘要： Described herein is a method and apparatus for performing calibrations on robotic components. In one embodiment, a method for performing robotic calibrations includes moving the calibrating device across a target (e.g., a wafer chuck). Next, the method includes measuring distances between light spots from the sensors and a perimeter of the target using the sensors located on the calibrating device. Next, the method includes determining a displacement of the calibrating device relative to a center of the target. Then, the method includes determining a rotation angle of the calibrating device relative to a system of coordinates of the target. Next, the method includes calibrating a robot position of the robot based on the displacement and rotation angle of the calibrating device with respect to the target.

摘要翻译： 这里描述了一种用于对机器人部件执行校准的方法和装置。 在一个实施例中，用于执行机器人校准的方法包括使校准装置跨越目标（例如，晶片卡盘）移动。 接下来，该方法包括使用位于校准装置上的传感器来测量来自传感器的光点和目标周边之间的距离。 接下来，该方法包括确定校准装置相对于目标的中心的位移。 然后，该方法包括确定校准装置相对于目标系的坐标系的旋转角度。 接下来，该方法包括基于校准装置相对于目标的位移和旋转角度来校准机器人的机器人位置。

公开(公告)号：US08224607B2

公开(公告)日：2012-07-17

申请号：US12198076

申请日：2008-08-25

申请人： Vijay Sakhare ,  Sekar Krishnasamy ,  Mordechai Leska ,  Donald Foldenauer ,  Rinat Shimshi ,  Marvin L. Freeman ,  Jeffery Hudgens ,  Satish Sundar

发明人： Vijay Sakhare ,  Sekar Krishnasamy ,  Mordechai Leska ,  Donald Foldenauer ,  Rinat Shimshi ,  Marvin L. Freeman ,  Jeffery Hudgens ,  Satish Sundar

IPC分类号： G01C17/38

CPC分类号： H01L21/681 ,  B25J9/1692 ,  G01B11/03 ,  G01B21/042 ,  G05B2219/37278 ,  G05B2219/37608 ,  G05B2219/39047 ,  G05B2219/39056 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748

摘要： Described herein is a method and apparatus for performing calibrations on robotic components. In one embodiment, a method for performing robotic calibrations includes moving the calibrating device across a target (e.g., a wafer chuck). Next, the method includes measuring distances between light spots from the sensors and a perimeter of the target using the sensors located on the calibrating device. Next, the method includes determining a displacement of the calibrating device relative to a center of the target. Then, the method includes determining a rotation angle of the calibrating device relative to a system of coordinates of the target. Next, the method includes calibrating a robot position of the robot based on the displacement and rotation angle of the calibrating device with respect to the target.

摘要翻译： 这里描述了一种用于对机器人部件执行校准的方法和装置。 在一个实施例中，用于执行机器人校准的方法包括使校准装置跨越目标（例如，晶片卡盘）移动。 接下来，该方法包括使用位于校准装置上的传感器来测量来自传感器的光点和目标周边之间的距离。 接下来，该方法包括确定校准装置相对于目标的中心的位移。 然后，该方法包括确定校准装置相对于目标坐标系的旋转角度。 接下来，该方法包括基于校准装置相对于目标的位移和旋转角度来校准机器人的机器人位置。

公开(公告)号：US08688398B2

公开(公告)日：2014-04-01

申请号：US13523751

申请日：2012-06-14

申请人： Vijay Sakhare ,  Sekar Krishnasamy ,  Mordechai Leska ,  Donald Foldenauer ,  Rinat Shimshi ,  Marvin L. Freeman ,  Jeffery Hudgens ,  Satish Sundar

发明人： Vijay Sakhare ,  Sekar Krishnasamy ,  Mordechai Leska ,  Donald Foldenauer ,  Rinat Shimshi ,  Marvin L. Freeman ,  Jeffery Hudgens ,  Satish Sundar

IPC分类号： G01C17/38

CPC分类号： H01L21/681 ,  B25J9/1692 ,  G01B11/03 ,  G01B21/042 ,  G05B2219/37278 ,  G05B2219/37608 ,  G05B2219/39047 ,  G05B2219/39056 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748

摘要： Described herein is a method and apparatus for performing calibrations on robotic components. In one embodiment, a method for performing robotic calibrations includes moving the calibrating device across a target (e.g., a wafer chuck). Next, the method includes measuring distances between light spots from the sensors and a perimeter of the target using the sensors located on the calibrating device. Next, the method includes determining a displacement of the calibrating device relative to a center of the target. Then, the method includes determining a rotation angle of the calibrating device relative to a system of coordinates of the target. Next, the method includes calibrating a robot position of the robot based on the displacement and rotation angle of the calibrating device with respect to the target.

摘要翻译： 这里描述了一种用于对机器人部件执行校准的方法和装置。 在一个实施例中，用于执行机器人校准的方法包括使校准装置跨越目标（例如，晶片卡盘）移动。 接下来，该方法包括使用位于校准装置上的传感器来测量来自传感器的光点和目标周边之间的距离。 接下来，该方法包括确定校准装置相对于目标的中心的位移。 然后，该方法包括确定校准装置相对于目标系的坐标系的旋转角度。 接下来，该方法包括基于校准装置相对于目标的位移和旋转角度来校准机器人的机器人位置。

公开(公告)号：US20090062959A1

公开(公告)日：2009-03-05

申请号：US12198076

申请日：2008-08-25

申请人： Vijay Sakhare ,  Sekar Krishnasamy ,  Mordechai Leska ,  Donald Foldenauer ,  Rinat Shimshi ,  Marvin L. Freeman ,  Jeffery Hudgens

发明人： Vijay Sakhare ,  Sekar Krishnasamy ,  Mordechai Leska ,  Donald Foldenauer ,  Rinat Shimshi ,  Marvin L. Freeman ,  Jeffery Hudgens

IPC分类号： G05B19/04 ,  H01L21/67 ,  G12B13/00

CPC分类号： H01L21/681 ,  B25J9/1692 ,  G01B11/03 ,  G01B21/042 ,  G05B2219/37278 ,  G05B2219/37608 ,  G05B2219/39047 ,  G05B2219/39056 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67748

摘要： Described herein is a method and apparatus for performing calibrations on robotic components. In one embodiment, a method for performing robotic calibrations includes moving the calibrating device across a target (e.g., a wafer chuck). Next, the method includes measuring distances between light spots from the sensors and a perimeter of the target using the sensors located on the calibrating device. Next, the method includes determining a displacement of the calibrating device relative to a center of the target. Then, the method includes determining a rotation angle of the calibrating device relative to a system of coordinates of the target. Next, the method includes calibrating a robot position of the robot based on the displacement and rotation angle of the calibrating device with respect to the target.

摘要翻译： 这里描述了一种用于对机器人部件执行校准的方法和装置。 在一个实施例中，用于执行机器人校准的方法包括使校准装置跨越目标（例如，晶片卡盘）移动。 接下来，该方法包括使用位于校准装置上的传感器来测量来自传感器的光点和目标周边之间的距离。 接下来，该方法包括确定校准装置相对于目标的中心的位移。 然后，该方法包括确定校准装置相对于目标系的坐标系的旋转角度。 接下来，该方法包括基于校准装置相对于目标的位移和旋转角度来校准机器人的机器人位置。

公开(公告)号：US08260461B2

公开(公告)日：2012-09-04

申请号：US12198079

申请日：2008-08-25

申请人： Sekar Krishnasamy ,  Vijay Sakhare ,  Mordechai Leska ,  Donald Foldenauer ,  Rinat Shimshi ,  Satish Sundar

发明人： Sekar Krishnasamy ,  Vijay Sakhare ,  Mordechai Leska ,  Donald Foldenauer ,  Rinat Shimshi ,  Satish Sundar

IPC分类号： G05B19/04 ,  G05B19/18

CPC分类号： B25J19/023 ,  B25J9/107 ,  B25J9/1692 ,  G05B2219/39011 ,  G05B2219/39016

摘要： Described herein is a method and system for performing calibrations on robotic components. In one embodiment, a method for performing robotic calibrations includes manually calibrating a center of a robot blade aligned with respect to a target. The method further includes recording a first positional value of the center of the robot blade aligned with respect to a camera. The method further includes automatically determining a second positional value of the center of the robot blade aligned with respect to the camera. The method further includes automatically recalibrating the robot blade based on an offset between the second positional value and the first positional value exceeding a tolerance offset from the first positional value.

摘要翻译： 这里描述了一种用于对机器人部件执行校准的方法和系统。 在一个实施例中，执行机器人校准的方法包括手动校准相对于目标对准的机器人刀片的中心。 该方法还包括记录相对于照相机对准的机器人刀片的中心的第一位置值。 该方法还包括自动确定机器人刀片的中心相对于相机对准的第二位置值。 该方法还包括基于第二位置值和第一位置值之间的偏移超过与第一位置值的公差偏差自动重新校准机器人刀片。

公开(公告)号：US20090062960A1

公开(公告)日：2009-03-05

申请号：US12198079

申请日：2008-08-25

申请人： Sekar Krishnasamy ,  Vijay Sakhare ,  Mordechai Leska ,  Donald Foldenauer ,  Rinat Shimshi

发明人： Sekar Krishnasamy ,  Vijay Sakhare ,  Mordechai Leska ,  Donald Foldenauer ,  Rinat Shimshi

IPC分类号： B25J13/00 ,  B25J21/00

CPC分类号： B25J19/023 ,  B25J9/107 ,  B25J9/1692 ,  G05B2219/39011 ,  G05B2219/39016

摘要： Described herein is a method and system for performing calibrations on robotic components. In one embodiment, a method for performing robotic calibrations includes manually calibrating a center of a robot blade aligned with respect to a target. The method further includes recording a first positional value of the center of the robot blade aligned with respect to a camera. The method further includes automatically determining a second positional value of the center of the robot blade aligned with respect to the camera. The method further includes automatically recalibrating the robot blade based on an offset between the second positional value and the first positional value exceeding a tolerance offset from the first positional value.

摘要翻译： 这里描述了一种用于对机器人部件执行校准的方法和系统。 在一个实施例中，执行机器人校准的方法包括手动校准相对于目标对准的机器人刀片的中心。 该方法还包括记录相对于照相机对准的机器人刀片的中心的第一位置值。 该方法还包括自动确定机器人刀片的中心相对于相机对准的第二位置值。 该方法还包括基于第二位置值和第一位置值之间的偏移超过与第一位置值的公差偏差自动重新校准机器人刀片。