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    Method for fabricating a read sensor for a read transducer
    1.
    发明授权
    Method for fabricating a read sensor for a read transducer 失效
    读取传感器的读取传感器的制造方法

    公开(公告)号：US08607438B1

    公开(公告)日：2013-12-17

    申请号：US13309357

    申请日：2011-12-01

    申请人： Wei Gao ,  Guanxiong Li ,  Ming Mao ,  Chih-Ching Hu ,  Guanghong Luo ,  Miao Wang ,  Zhihong Zhang ,  Anup G. Roy

    发明人： Wei Gao ,  Guanxiong Li ,  Ming Mao ,  Chih-Ching Hu ,  Guanghong Luo ,  Miao Wang ,  Zhihong Zhang ,  Anup G. Roy

    IPC分类号： G11B5/127 ,  H04R31/00

    CPC分类号： G11B5/3903 ,  G01R33/093 ,  G11B5/3163

    摘要： A read sensor for a transducer is fabricated. The transducer has a field region and a sensor region corresponding to the sensor. A sensor stack is deposited. A hybrid mask including hard and field masks is provided. The hard mask includes a sensor portion covering the sensor region and a field portion covering the field region. The field mask covers the field portion of the hard mask. The field mask exposes the sensor portion of the hard mask and part of the sensor stack between the sensor and field regions. The sensor is defined from the sensor stack in a track width direction. Hard bias layer(s) are deposited. Part of the hard bias layer(s) resides on the field mask. Part of the hard bias layer(s) adjoining the sensor region is sealed. The field mask is lifted off. The transducer is planarized.

    摘要翻译： 制造用于换能器的读取传感器。 传感器具有对应于传感器的场区域和传感器区域。 传感器堆叠被沉积。 提供了包括硬掩模和磁场掩模的混合掩模。 硬掩模包括覆盖传感器区域的传感器部分和覆盖场区域的场部分。 场掩模覆盖硬掩模的场部分。 场掩模将传感器和场区域之间的硬掩模的传感器部分和传感器堆叠的一部分暴露。 传感器从传感器堆叠在轨道宽度方向上定义。 硬偏置层被沉积。 硬偏置层的一部分位于场掩模上。 邻近传感器区域的一部分硬偏压层被密封。 场地面罩被提起。 传感器平坦化。

    Double hard-mask mill back method of fabricating a near field transducer for energy assisted magnetic recording
    3.
    发明授权
    Double hard-mask mill back method of fabricating a near field transducer for energy assisted magnetic recording 有权
    制造用于能量辅助磁记录的近场换能器的双重硬掩模回磨方法

    公开(公告)号：US08343364B1

    公开(公告)日：2013-01-01

    申请号：US12796585

    申请日：2010-06-08

    申请人： Wei Gao ,  Guanxiong Li ,  Zhongyan Wang ,  Yufeng Hu ,  Ge Yi

    发明人： Wei Gao ,  Guanxiong Li ,  Zhongyan Wang ,  Yufeng Hu ,  Ge Yi

    IPC分类号： G11B5/33

    CPC分类号： G11B5/3163 ,  G11B5/314 ,  G11B2005/0021 ,  Y10T29/49032

    摘要： A method of forming a near field transducer (NFT) for energy assisted magnetic recording is disclosed. A structure comprising an NFT metal layer and a first hardmask layer over the NFT metal layer is provided A first patterned hardmask is formed from the first hardmask layer, the first patterned hardmask disposed over a disk section and a pin section of the NFT to be formed. An etch process is performed on the NFT metal layer via the first patterned hardmask, the etch process forming the NFT having the disk section and the pin section.

    摘要翻译： 公开了一种形成用于能量辅助磁记录的近场传感器（NFT）的方法。 提供了包括在NFT金属层上的NFT金属层和第一硬掩模层的结构。第一图案化硬掩模由第一硬掩模层，设置在盘部分上的第一图案化硬掩模和待形成的NFT的销部分形成 。 通过第一图案化硬掩模在NFT金属层上进行蚀刻工艺，形成具有盘部分和销部分的NFT的蚀刻工艺。

    Method of forming a dielectric slope for EAMR and magnetic writer
    4.
    发明授权
    Method of forming a dielectric slope for EAMR and magnetic writer 有权
    形成EAMR和磁性写入器介质斜率的方法

    公开(公告)号：US08491802B1

    公开(公告)日：2013-07-23

    申请号：US13042819

    申请日：2011-03-08

    申请人： Wei Gao ,  Dujiang Wan ,  Zhihong Zhang ,  Lijun Tong

    发明人： Wei Gao ,  Dujiang Wan ,  Zhihong Zhang ,  Lijun Tong

    IPC分类号： B29D11/00 ,  C03C15/00

    CPC分类号： G11B5/6088 ,  G11B5/3133 ,  G11B2005/0021

    摘要： A method of forming an energy assisted magnetic recording (EAMR) writer is disclosed. A structure comprising a bottom cladding layer and a near field transducer (NFT) is provided. A patterned sacrificial layer is formed over the structure. A top cladding layer is deposited over the patterned sacrificial layer and a remaining region of the structure not covered by the patterned sacrificial layer. A patterned resist is formed over the top cladding layer. A first etching operation is performed on the top cladding layer via the patterned resist, whereby a top cladding having a sloped region is formed. The patterned sacrificial layer provides an etch stop for the first etching operation.

    摘要翻译： 公开了一种形成能量辅助磁记录（EAMR）写入器的方法。 提供包括底部包层和近场换能器（NFT）的结构。 在该结构上形成图案化的牺牲层。 顶部覆层沉积在图案化的牺牲层上，并且该结构的剩余区域未被图案化的牺牲层覆盖。 在顶部包层上形成图案化的抗蚀剂。 通过图案化的抗蚀剂在顶部包层上进行第一蚀刻操作，从而形成具有倾斜区域的顶部包层。 图案化的牺牲层为第一蚀刻操作提供蚀刻停止。