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    Thermal wafer processor
    3.
    发明授权
    Thermal wafer processor 失效
    热晶片处理器

    公开(公告)号：US07371998B2

    公开(公告)日：2008-05-13

    申请号：US11428742

    申请日：2006-07-05

    申请人： Randy A. Harris ,  Gregory J. Wilson ,  Paul R. McHugh

    发明人： Randy A. Harris ,  Gregory J. Wilson ,  Paul R. McHugh

    IPC分类号： F27B5/04 ,  F27B5/14 ,  F27B11/02 ,  F27D3/12 ,  F27D1/12

    CPC分类号： F27B17/0025 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6719

    摘要： A thermal processor may include a cooling jacket positionable around a process chamber within a process vessel or jar. A heater can move into a position substantially between the process chamber vessel and the cooling jacket. A holder having multiple workpiece holding positions is provided for holding a batch or workpieces or wafers. The process chamber vessel is moveable to a position where it substantially encloses the holder, so that wafers in the holder may be processed in a controlled environment. A cooling shroud may be provided to absorb heat from the heater before or after thermal processing. The thermal processor is compact and thermally shielded, and may be used in an automated processing system having other types of processors.

    摘要翻译： 热处理器可以包括可在处理容器或罐内的处理室周围定位的冷却套。 加热器可以进入基本上处理室容器和冷却套之间的位置。 提供具有多个工件保持位置的保持器，用于保持批次或工件或晶片。 处理室容器可移动到其基本上包围保持器的位置，使得保持器中的晶片可以在受控环境中进行处理。 可以提供冷却罩以在热处理之前或之后从加热器吸收热量。 热处理器是紧凑的和热屏蔽的，并且可以用于具有其他类型的处理器的自动处理系统中。

    Microelectromechanical heating apparatus and fluid preconcentrator device utilizing same
    4.
    发明授权
    Microelectromechanical heating apparatus and fluid preconcentrator device utilizing same 失效
    微机电加热装置和利用其的流体预浓缩装置

    公开(公告)号：US06914220B2

    公开(公告)日：2005-07-05

    申请号：US10396929

    申请日：2003-03-25

    申请人： Wei-Cheng Tian ,  Stella W. Pang ,  Edward T. Zellers

    发明人： Wei-Cheng Tian ,  Stella W. Pang ,  Edward T. Zellers

    IPC分类号： F27B17/00 ,  F27D11/00 ,  H05B3/26 ,  F27B11/02

    CPC分类号： F27B17/0025 ,  H05B3/26 ,  H05B2203/003 ,  H05B2203/005 ,  H05B2203/007 ,  H05B2203/013 ,  H05B2203/017

    摘要： A microelectromechanical heating apparatus and fluid preconcentrator device utilizing same wherein heating elements of the apparatus are sized and spaced to substantially uniformly heat a heating chamber within a heater of the apparatus. Tall, thermally-isolated heating elements are fabricated in Si using high aspect ratio etching technology. These tall heating elements have large surface area to provide large adsorbent capacity needed for high efficiency preconcentrators in a micro gas chromatography system (μGC). The tall heating elements are surrounded by air gaps to provide good thermal isolation, which is important for a low power preconcentrator in the μGC system.

    摘要翻译： 一种微机电加热装置和利用其的流体预浓缩器装置，其中装置的加热元件的尺寸和间隔尺寸以基本均匀地加热装置的加热器内的加热室。 使用高纵横比蚀刻技术在Si中制造高，热隔离的加热元件。 这些高加热元件具有较大的表面积，以提供微气相色谱系统（muGC）中高效预浓缩器所需的大的吸附剂能力。 高温加热元件被气隙包围以提供良好的热隔离，这对于muGC系统中的低功率预浓缩器是重要的。