公开(公告)号：WO2003014833A2

公开(公告)日：2003-02-20

申请号：PCT/EP2002/008193

申请日：2002-07-23

Applicant: CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG ,  SINGER, Wolfgang ,  EGLE, Wilhelm ,  WEISS, Markus ,  HAINZ, Joachim ,  WIETZORREK, Joachim ,  WANGLER, Johannes ,  MELZER, Frank

Inventor： SINGER, Wolfgang ,  EGLE, Wilhelm ,  WEISS, Markus ,  HAINZ, Joachim ,  WIETZORREK, Joachim ,  WANGLER, Johannes ,  MELZER, Frank

IPC: G03F7/20

CPC classification number: B82Y10/00 ,  G02B5/09 ,  G02B7/182 ,  G02B17/006 ,  G02B19/0023 ,  G02B19/0047 ,  G02B19/0095 ,  G03F7/70158 ,  G03F7/70166 ,  G03F7/70175 ,  G03F7/702 ,  G03F7/70233 ,  G03F7/70358 ,  G03F7/70825 ,  G21K1/06 ,  G21K5/04

Abstract: Die Erfindung betrifft einen Kollektor für eine Projektionsbelichtungsanlage, die in einem Scan-Modus entlang einer Scanrichtung mit einer Wellenlänge ≤ 193 nm, bevorzugt ≤ 126 nm, besonders bevorzugt EUV-Wellenlängen betrieben wird, wobei der Kollektor Licht einer Lichtquelle objektseitig aufnimmt und einen Bereich in einer bildseitigen Ebene, die von einem lokalen Koordinatensystem aufgespannt wird, wobei die y-Richtung des lokalen Koordinatensystems parallel zur Scanrichtung und die x-Richtung senkrecht zur Scanrichtung ist, ausleuchtet, wobei der Kollektor aufweist: eine Vielzahl von rotationssymmetrischen Spiegelschalen, umfassend jeweils wenigstens ein erstes Spiegelsegment, umfassend eine erste optische Fläche, wobei die Spiegelschalen um eine gemeinsame Rotationsachse ineinander angeordnet sind; Befestigungseinrichtungen zum Befestigen der Vielzahl von rotationssymmetrischen Spiegelschalen, und die Befestigungseinrichtungen Stützspeichen aufweisen, die sich in radialer Richtung der rotationssymmetrischen Spiegelschalen erstrecken. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Stützspeichen derart angeordnet sind, dass, wenn sie in die bildseitige auszuleuchtende Ebene projiziert werden, gegenüber der y-Richtung des lokalen Koordinatensystems in der bildseitigen Ebene geneigt sind.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于投射曝光设备的集光器，其以沿着扫描方向以≤193nm，优选地≤126nm的波长的扫描模式操作，特别优选地EUV波长 是，其中，所述收集器从在物体侧的光源和一个区域，其中由本地跨越坐标系统的图像侧平面占用光，局部的y方向的坐标系平行于该扫描方向和垂直于扫描方向的X方向，照亮，其特征在于 所述收集器包括：多个旋转对称的镜壳，每个镜壳包括至少第一镜部分，所述第一镜部分包括第一光学表面，其中所述镜壳围绕共同的旋转轴线彼此布置; 用于固定多个旋转对称镜壳的紧固装置，并且紧固装置具有在旋转对称镜壳的径向方向上延伸的辐条。 本发明的特征在于，辐条被布置成当投影到要被照明的像侧平面中时，它们朝向图像侧平面中的局部坐标系的y方向倾斜