公开(公告)号：WO2007113760A1

公开(公告)日：2007-10-11

申请号：PCT/IB2007/051151

申请日：2007-03-30

申请人： INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION ,  DUERIG, Urs, T. ,  GOTSMANN, Bernd, W. ,  KNOLL, Armin, W.

发明人： DUERIG, Urs, T. ,  GOTSMANN, Bernd, W. ,  KNOLL, Armin, W.

IPC分类号： G11B9/00

CPC分类号： G11B3/705 ,  B05D1/286 ,  B29C33/60 ,  B29C43/00 ,  B82Y10/00 ,  C09D165/00 ,  G11B3/72 ,  G11B9/1472 ,  G11B9/149 ,  G11B11/002

摘要： The present invention relates a method of producing a data storage medium comprising the steps of: a) coating a layer (2) comprising a polymer material onto at least a part of a template surface (1 ) thereby to obtain a modified template surface (2'); b) clamping the modified template surface (2') produced in step (a) with a target surface (3) thereby to obtain an assembly; and c) introducing a liquid (4) to an environment of the assembly obtained in step (b) thereby to transfer the layer (2) comprising the polymer material of the modified template surface (2') onto at ieast an adjacent region on the target surface (3).

摘要翻译： 本发明涉及一种生产数据存储介质的方法，包括以下步骤：a）将包含聚合物材料的层（2）涂覆在模板表面（1）的至少一部分上，从而获得改性模板表面（2 “）; b）用目标表面（3）将步骤（a）中制备的改性模板表面（2'）夹紧，从而获得组件; 和c）将液体（4）引入到在步骤（b）中获得的组件的环境中，从而将包含改性模板表面（2'）的聚合物材料的层（2）转移到至少一个相邻区域上 目标表面（3）。

公开(公告)号：WO2011045753A1

公开(公告)日：2011-04-21

申请号：PCT/IB2010/054630

申请日：2010-10-13

申请人： INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION ,  DESPONT, Michel ,  DUERIG, Urs T. ,  GOTSMANN, Bernd W. ,  KNOLL, Armin W. ,  PIRES, David Santos ,  VETTIGER, Peter

发明人： DESPONT, Michel ,  DUERIG, Urs T. ,  GOTSMANN, Bernd W. ,  KNOLL, Armin W. ,  PIRES, David Santos ,  VETTIGER, Peter

IPC分类号： G03F7/00

CPC分类号： G03F7/0002

摘要： The invention is directed to a scanning probe lithography (or SPL) apparatus (100). The apparatus comprises physical probes (10, 20, 30) having different tip shapes (12, 22, 32). The shapes actually differ such as to be able to form different patterns (P10, P20, and P30) in the surface thickness (M20) of a material (M10). Therefore, the diversity of patterns obtainable during a raster scan of the material surface is increased. Typically, the idea is to use tips with specific shape to imprint their (nano)shapes (or characters) in a polymer, whereby a complex structure can be created in one imprint step. Throughput of SPL is accordingly improved. Most advantageously, the probes are independently actuated, e.g. bydedicated circuitry (101, 103), in order to further increase the diversity of patterns. Character probe lithography is thereby instated.

摘要翻译： 本发明涉及扫描探针光刻（或SPL）装置（100）。 该装置包括具有不同尖端形状（12,22,32）的物理探针（10,20,30）。 形状实际上是不同的，以便能够在材料（M10）的表面厚度（M20）中形成不同的图案（P10，P20和P30）。 因此，在材料表面的光栅扫描期间可获得的图案的多样性增加。 通常，这个想法是使用具有特定形状的尖端将它们的（纳米）形状（或字符）印在聚合物中，从而可以在一个压印步骤中创建复杂的结构。 相应地提高了SPL的吞吐量。 最有利的是，探针被独立地致动，例如， 逐行电路（101,103），以进一步增加图案的多样性。 从而确定了字符探针光刻技术。

公开(公告)号：WO2010143163A1

公开(公告)日：2010-12-16

申请号：PCT/IB2010/052618

申请日：2010-06-11

申请人： INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION ,  DUERIG, Urs T ,  FROMMER, Jane Elizabeth ,  GOTSMANN, Bernd W ,  HEDRICK, James Lupton ,  KNOLL, Armin W ,  MILLER, Robert Dennis ,  PIRES, David Santos ,  WADE, Charles Gordon

发明人： DUERIG, Urs T ,  FROMMER, Jane Elizabeth ,  GOTSMANN, Bernd W ,  HEDRICK, James Lupton ,  KNOLL, Armin W ,  MILLER, Robert Dennis ,  PIRES, David Santos ,  WADE, Charles Gordon

IPC分类号： G03F7/00 ,  G01Q80/00 ,  C08G2/06 ,  C08G2/14

CPC分类号： C08G2/06 ,  C08G2/14 ,  G01Q80/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/16 ,  G03F7/2049

摘要： The invention concerns a method for patterning a surface of a material. A substrate having a polymer film thereon is provided. The polymer is a selectively reactive polymer (e.g. thermodynamically unstable): it is able to unzip upon suitable stimulation. A probe is used to create patterns on the film. During the patterning, the film is locally stimulated for unzipping polymer chains. Hence, a basic idea is to provide a stimulus to the polymeric material, which in turn spontaneously decomposes e.g. into volatile constituents. For example, the film is thermally stimulated in order to break a single bond in a polymer chain, which is sufficient to trigger the decomposition of the entire polymer chain.

摘要翻译： 本发明涉及用于图案化材料表面的方法。 提供其上具有聚合物膜的基板。 聚合物是选择性反应性聚合物（例如热力学不稳定的）：它能够在合适的刺激下解压缩。 探针用于在电影上创建图案。 在图案化期间，膜被局部刺激用于解链聚合物链。 因此，基本思想是向聚合物材料提供刺激，其又自发分解，例如， 变成挥发性成分。 例如，为了破坏聚合物链中的单键，该膜被热刺激，这足以引发整个聚合物链的分解。

公开(公告)号：WO1998001948A1

公开(公告)日：1998-01-15

申请号：PCT/IB1996000636

申请日：1996-07-03

申请人： INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION ,  BINNIG, Gerd, K. ,  DUERIG, Urs, T. ,  HAEBERLE, Walter

发明人： INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION

IPC分类号： H03H09/50

CPC分类号： H03H9/2463 ,  B06B3/00 ,  G06G7/195 ,  H03H9/2457 ,  H03H9/462 ,  H03H9/485

摘要： The present invention concerns micromechanical signal processing system comprising an oscillating member (40) designed to oscillate at a frequency f3, a micromechanical pump oscillator (42) being driven so as to oscillate at a frequency fp, with fp > f3, and a non-linear coupling element (44) to couple said micromechanical pump oscillator (42) to said oscillating member (40). These elements are arranged such that energy from the micromechanical pump oscillator (42) is transferred via said non-linear coupling element (44) into said oscillating member (40) to compensate for its losses if said oscillating member oscillates at the frequency f3.

摘要翻译： 本发明涉及微机械信号处理系统，其包括被设计为以f3振荡的振荡构件（40），被驱动以便以fp> f3以频率fp振荡的微机械泵振荡器（42） 用于将所述微机械泵振荡器（42）耦合到所述振荡部件（40）的线性耦合元件（44）。 这些元件被布置成使得如果所述振荡元件以频率f3振荡，则来自微机械泵振荡器（42）的能量经由所述非线性耦合元件（44）传递到所述振荡元件（40）中以补偿其损耗。

公开(公告)号：WO2010086773A1

公开(公告)日：2010-08-05

申请号：PCT/IB2010/050293

申请日：2010-01-22

申请人： INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION ,  DUERIG, Urs T ,  GOTSMANN, Bernd W ,  HEDRICK, James L. ,  KNOLL, Armin W ,  PIRES, David

发明人： DUERIG, Urs T ,  GOTSMANN, Bernd W ,  HEDRICK, James L. ,  KNOLL, Armin W ,  PIRES, David

IPC分类号： G03F7/00 ,  G11B9/00 ,  G01Q80/00

CPC分类号： G03F7/0002 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/14 ,  G11B11/007 ,  Y10T428/24355

摘要： Probe-based methods for patterning a surface of a material are described. In particular, high resolution patterning of molecules on a surface of a material, such as nano-scale patterns with feature sizes of less than 30 nanometers, are described. In one aspect, a method for patterning a surface of a material includes providing a material having a polymer film. A heated, nano-scale dimensioned probe is then used to desorb molecules upon interacting with the film. The film includes a network of molecules (such as molecular glasses) which are cross-linked via intermolecular (noncovalent) bonds, such as hydrogen bonds.

摘要翻译： 描述了用于图案化材料表面的基于探针的方法。 特别地，描述了材料表面上的分子的高分辨率图案化，例如特征尺寸小于30纳米的纳米尺度图案。 一方面，用于图案化材料表面的方法包括提供具有聚合物膜的材料。 然后使用加热的纳米级尺寸的探针在与膜相互作用时解吸分子。 该膜包括通过分子间（非共价）键如氢键交联的分子网络（如分子玻璃）。

公开(公告)号：WO2008012734A3

公开(公告)日：2008-04-03

申请号：PCT/IB2007052869

申请日：2007-07-18

申请人： IBM ,  DUERIG URS T ,  GOTSMANN BERND W ,  KNOLL ARMIN W

发明人： DUERIG URS T ,  GOTSMANN BERND W ,  KNOLL ARMIN W

IPC分类号： G11B9/00 ,  G03F7/00

CPC分类号： G11B9/1472 ,  B82Y10/00 ,  G11B9/14 ,  G11B11/007

摘要： The present invention relates to a device for forming topographic features on a surface of a polymer layer comprising: a polymer layer (1 ); a substrate (2) comprising a conductor, a first surface (1 a) of the polymer layer (1 ) being provided on the substrate (2); and at least one electrode (3) which, when the device is in use, interacts with a second surface (1 b) of the polymer layer (1 ), wherein, when in use, the device is operable to apply a first electrical potential (P1 ) to the at least one electrode (3) relative to the substrate (2), thereby to cause a protrusion (4) to be formed on the second surface (1 b) of the polymer layer (1 ).

摘要翻译： 本发明涉及一种用于在聚合物层的表面上形成地形特征的装置，该装置包括：聚合物层（1）;聚合物层 包括导体的衬底（2），所述聚合物层（1）的第一表面（1a）设置在所述衬底（2）上; 和至少一个电极（3），当所述装置在使用中时，所述电极（3）与所述聚合物层（1）的第二表面（1b）相互作用，其中当使用时，所述装置可操作以施加第一电势 （P1）施加到所述至少一个电极（3），从而在所述聚合物层（1）的所述第二表面（1b）上形成突起（4）。

公开(公告)号：WO2011055346A3

公开(公告)日：2011-05-12

申请号：PCT/IB2010/055062

申请日：2010-11-08

申请人： INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION ,  DUERIG, Urs, T. ,  GOTSMANN, Bernd, W. ,  KNOLL, Armin, W. ,  LANTZ, Mark, A.

发明人： DUERIG, Urs, T. ,  GOTSMANN, Bernd, W. ,  KNOLL, Armin, W. ,  LANTZ, Mark, A.

IPC分类号： G01N13/00 ,  G01Q70/08

摘要： The invention concerns a method for scanning a surface (52) of a material (50) with a scanning probe microscope or SPM (10), the SPM having a cantilever sensor (100) configured to exhibit distinct spring behaviors (C, C k ), the method comprising: - operating the SPM in contact mode, whereby the sensor is scanned on the material surface and a first spring behavior (C) of the sensor (e.g. a fundamental mode of flexure thereof) is excited by deflection of the sensor by the material surface; and - exciting with excitation means a second spring behavior (C k ) of the sensor at a resonance frequency thereof (e.g. one or more higher-order resonant modes) of the cantilever sensor to modulate an interaction of the sensor and the material surface and thereby reduce the wearing of the material surface.

公开(公告)号：WO2008012734A2

公开(公告)日：2008-01-31

申请号：PCT/IB2007/052869

申请日：2007-07-18

申请人： INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION ,  DUERIG, Urs T. ,  GOTSMANN, Bernd W. ,  KNOLL, Armin W.

发明人： DUERIG, Urs T. ,  GOTSMANN, Bernd W. ,  KNOLL, Armin W.

CPC分类号： G11B9/1472 ,  B82Y10/00 ,  G11B9/14 ,  G11B11/007

摘要： The present invention relates to a device for forming topographic features on a surface of a polymer layer comprising: a polymer layer (1 ); a substrate (2) comprising a conductor, a first surface (1 a) of the polymer layer (1 ) being provided on the substrate (2); and at least one electrode (3) which, when the device is in use, interacts with a second surface (1 b) of the polymer layer (1 ), wherein, when in use, the device is operable to apply a first electrical potential (P1 ) to the at least one electrode (3) relative to the substrate (2), thereby to cause a protrusion (4) to be formed on the second surface (1 b) of the polymer layer (1 ).

摘要翻译： 本发明涉及一种用于在聚合物层的表面上形成地形特征的装置，包括：聚合物层（1）; 包括导体的基底（2），所述聚合物层（1）的第一表面（1a）设置在所述基底（2）上; 以及至少一个电极（3），当所述器件在使用中时，所述电极（3）与所述聚合物层（1）的第二表面（1b）相互作用，其中当使用时，所述器件可操作以施加第一电位 （P1）相对于所述基板（2）至所述至少一个电极（3），从而在所述聚合物层（1）的所述第二表面（1b）上形成突起（4）。

公开(公告)号：WO1996032623A1

公开(公告)日：1996-10-17

申请号：PCT/IB1995000252

申请日：1995-04-10

申请人： INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION ,  DUERIG, Urs, T. ,  STALDER, Alain ,  STEINAUER, Hansruedi

发明人： INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION

IPC分类号： G01B07/34

CPC分类号： G01Q10/065 ,  G05D19/02 ,  H03B5/32 ,  Y10S977/851

摘要： An improvement to a phase controlled mechanical oscillator (111) consists of a balancing network (150) which generates a feedback signal from two different input signals with adjustable weights. One of these input signals is directly derived from the oscillator signal, the other is derived from a phase tracking loop (140). Using the balancing network, adjustments can be made to adapt the feedback to the mechanical properties, in particular to the Q factor, of the oscillator. In a preferred embodiment, all major components are working at an intermediate frequency level, generated by mixing the oscillator frequency with a reference frequency. As a major advantage of this (heterodyne) mixing, the bandwidth of any applied frequency detector can be narrowed, thus increasing the achievable signal-to-noise ratio.

摘要翻译： 对相位控制的机械振荡器（111）的改进由平衡网络（150）组成，其平衡网络（150）产生来自具有可调重量的两个不同输入信号的反馈信号。 这些输入信号之一直接从振荡器信号导出，另一个来自相位跟踪环（140）。 使用平衡网络，可以进行调整以使反馈适应于振荡器的机械特性，特别是Q因子。 在优选实施例中，所有主要部件工作在通过将振荡器频率与参考频率混合而产生的中间频率电平。 作为这种（外差）混合的主要优点，可以使任何施加的频率检测器的带宽变窄，从而增加可实现的信噪比。

公开(公告)号：WO2011055346A2

公开(公告)日：2011-05-12

申请号：PCT/IB2010055062

申请日：2010-11-08

申请人： IBM ,  DUERIG URS T ,  GOTSMANN BERND W ,  KNOLL ARMIN W ,  LANTZ MARK A

发明人： DUERIG URS T ,  GOTSMANN BERND W ,  KNOLL ARMIN W ,  LANTZ MARK A

CPC分类号： G01Q60/363 ,  G01Q70/10

摘要： The invention concerns a method for scanning a surface (52) of a material (50) with a scanning probe microscope or SPM (10), the SPM having a cantilever sensor (100) configured to exhibit distinct spring behaviors (C, Ck), the method comprising: - operating the SPM in contact mode, whereby the sensor is scanned on the material surface and a first spring behavior (C) of the sensor (e.g. a fundamental mode of flexure thereof) is excited by deflection of the sensor by the material surface; and - exciting with excitation means a second spring behavior (Ck) of the sensor at a resonance frequency thereof (e.g. one or more higher-order resonant modes) of the cantilever sensor to modulate an interaction of the sensor and the material surface and thereby reduce the wearing of the material surface.

摘要翻译： 本发明涉及一种用扫描探针显微镜或SPM（10）扫描材料（50）的表面（52）的方法，SPM具有悬臂传感器（100），其被配置为呈现明显的弹簧行为（C，Ck）， 该方法包括： - 以接​​触模式操作SPM，由此在材料表面上扫描传感器，并且传感器的第一弹性（C）（例如其基本弯曲模式）被传感器的偏转激发 材料表面; 和 - 激发激励意味着传感器在悬臂传感器的共振频率（例如一个或多个高阶谐振模式）下的第二弹簧行为（Ck），以调制传感器和材料表面的相互作用，从而减少 材料表面的磨损。