透明基板の端部検出方法及び端部検出装置並びに処理装置
    1.
    发明申请
    透明基板の端部検出方法及び端部検出装置並びに処理装置 审中-公开
    用于检测透明基板边缘的方法,用于检测透明基板边缘的装置和处理装置

    公开(公告)号:WO2009011079A1

    公开(公告)日:2009-01-22

    申请号:PCT/JP2008/000204

    申请日:2008-02-12

    Inventor: 鈴木 正彦

    CPC classification number: G01B11/028 G02F1/1303

    Abstract:  透明基板(10)の端部の裏面側に設けられた光源(12)と、透明基板(10)及び光源(12)の間に設けられ光源(12)からの光を直線偏光に変換するための第1の偏光子(13)と、透明基板(10)の端部の表面側に設けられた受光部(15a)と、透明基板(10)及び受光部(15a)の間に設けられ第1の偏光子(13)の偏光軸(Pa)に対し直交する偏光軸(Pb)を有する第2の偏光子(14)とを備え、受光部(15a)は、第1の偏光子(13)により変換され透明基板(10)の端部を透過する直線偏光、透明基板(10)の外側を通過する直線偏光、及び透明基板(10)の内部を伝搬して透明基板(10)の端部側面から出射される出射光を第2の偏光子(14)を介して観察するように構成されている。

    Abstract translation: 一种用于检测透明基板上的边缘的装置,包括设置在透明基板(10)上的边缘的后侧的光源(12),设置在透明基板(10)和 用于将来自光源(12)的光转换为线偏振光的光源(12),设置在透明基板(10)上的边缘的前侧的光接收部(15a)和第二偏振片 (14),其设置在所述透明基板(10)和所述光接收部(15a)之间,并具有与所述第一偏振片(13)的偏振轴(Pa)垂直的偏振轴(Pb)。 光接收部(15a)经由第二偏振片(14)观察由第一偏振片(13)转换为透过透明基板(10)上的边缘的线偏振光,线偏振光 透过透明基板(10)的外侧的光和透过基板(10)的内部传播的出射光从透明基板(10)的边缘的侧面射出。

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